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公开(公告)号：KR1019970012961A
公开(公告)日：1997-03-29
申请号：KR1019950025841
申请日：1995-08-22
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치의 콘택홀을 통하여 구동 기판상의 패드와 도전층을 배선시키기 위한 방법에 관한 것으로서, 패드가 형성된 구동 기판상에 제1절연층 , 제1도전층 및 제2절연층을 순차적으로 형성시는 제1단계와 상기 제2절연층, 제1도전층 및 제1절연층을 순차적으로 식각시켜 콘택홀을 형성시켜서 상기 패드를 노출시키는 제2단계와, 상기 제2절연층상에 도전체를 적층시켜서 제2도전층을 형성시킨 후 상기 제2도전층의 일부를 절단시키는 제3단계로 이루어지며 이에 의해서 도전층간의 전기적 쇼트 현상을 방지시키고 평탄한 표면을 제공하므로 광로 조절 장치의 성능을 향상 시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019970003449B1
公开(公告)日：1997-03-18
申请号：KR1019930013844
申请日：1993-07-21
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: The method for manufacturing a mirror for use of a projection video displaying device comprises the processing steps of covering an upper surface of a substrate with a separation layer; forming a metal layer on a constant portion of the separation layer; forming a polymer layer provided as a thickness of the mirror on top of the metal layer, and fixing an actuator array onto an upper part of the polymer layer; and removing the separation layer so as to isolate the mirror substrate therefrom, whereby resulting in an effect of a simple manufacturing process by using one metal layer which is used as a reflection face through a control of the mirror thickness based on a usage of the polymer layer, and also effect in a driving characteristic by utilizing light matter.
Abstract translation: 用于制造用于投影视频显示装置的反射镜的方法包括用分离层覆盖基板的上表面的处理步骤; 在分离层的恒定部分上形成金属层; 在所述金属层的顶部形成作为所述反射镜的厚度的聚合物层，并将所述致动器阵列固定在所述聚合物层的上部; 并且去除分离层以便将镜子基板隔离，从而通过使用通过基于聚合物的使用来控制反射镜厚度而使用一个用作反射面的金属层，从而产生简单的制造工艺的效果 并且还通过利用光物质影响驾驶特性。
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公开(公告)号：KR1019960039453A
公开(公告)日：1996-11-25
申请号：KR1019950009398
申请日：1995-04-21
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치의 제조방법에 관한 것으로서, 멤브레인, 하부전극, 변형부, 상부전극 및 보호막을 순차적으로 형성한 후 각각의 식각 마스크를 사용하여 액츄에이터를 분리하는 공정과, 동시에 각각의 식각 마스크에 소정의 형태(예를 들면, '〕')를 형성하여 희생막을 제거한 후 세척공정에서 발생되는 표면장력을 최소화 하여 표면장력으로 인한 액츄에이터가 기울어져 구동기판과, 접촉되는 스티킹(sticking)을 방지한다. 따라서, 본 발명은 희생막의 제거후 세척공정시 표면장력으로 인한 액츄에이터가 기울어져 구동기판과, 접촉되는 스티킹(sticking)을 방지하여 픽셀(pixel)의 불량율을 감소시켜 대량생산을 할 수 있다
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公开(公告)号：KR1019950024553A
公开(公告)日：1995-08-21
申请号：KR1019940000801
申请日：1994-01-18
Applicant: 대우전자주식회사
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 변위 증폭을 위한 화상표시장치의 광로조절장치 및 제조방법에 관한 것으로, 특히, 거울(110)면에 소정의 픽셀패턴을 형성함으로써 구동시 2중 변위를 유도하여 더 큰 각도를 구현한다. 따라서, 광효율을 더욱 높일 수 있고, 양산성을 겸비한 양질의 대화면을 구성하는 개선된 광로조절장치 및 제조방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1019950016309A
公开(公告)日：1995-06-17
申请号：KR1019930025878
申请日：1993-11-30
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 구동기판표면의 소정부분에 지지부들을, 나머지 부분에 희생막을 형성하고 지지부들과 희생막의 상부에 탄성부를 형성한 후 접속단자들의 상부가 노출되도록 홈들을 형성하고 플러그를 형성한다. 그리고, 상술한 구조의 전표면에 신호전극, 변형부, 바이어스 전극 및 거울면을 박막 공정으로 형성한 후 희생막들이 노출되도록 거울면부터 탄성부까지 제거하여 액츄에이터들을 분리하고 희생막을 제거한다. 따라서, 변형부를 구동기판의 상부에 별도의 정렬없이 손상되지 않고 박막 공정으로 쉽게 형성할 수 있으며, 또한 변형부를 압전세라믹으로 형성하여도 박막을 이루므로 분극 공정을 하지 않아도 되고, 액츄에이터들을 분리하므로 상호 간섭을 방지할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019950016293A
公开(公告)日：1995-06-17
申请号：KR1019930024396
申请日：1993-11-16
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 제조 공정을 용이하게 하며 광 효율을 높게 하기에 적합한 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 제조방법에 관한 것으로, 종래에는 세라믹 웨이퍼를 얇게 폴리싱하기가 어려우며, 구동 기판을 신호 전극 하부에 접속하기가 어려우며, 웨이퍼와 지지부가 접촉하는 부분의 가공이 곤란하며, 구동시, 거울이 곡면을 형성하면서 경사지므로써 광 효율이 저하하는 등 제조 공정이 어렵고 광 효율이 저하하는 결점이 있었으나, 본 발명에서 제조 공정을 구동 기판(20) 위에 차례로 실시하며, 특히, 신호 전극(22) 패터닝시, 그 신호 전극(22)의 일측이 구동 기판(20)에 접촉하는 동시에 에어 갭을 헝성하므로써 제조 공정이 간단해지며, 구동시, 거울(28)은 표면에 곡면을 만들지 않고 해당 방향으로 경사지므로써 광 효율이 높아지므로 상기 결점을 개선 킬 수 있는 것이다.
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公开(公告)号：KR1019950013232A
公开(公告)日：1995-05-17
申请号：KR1019930021831
申请日：1993-10-20
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: 상술한 바와 같이 본 발명은 투사형화상표시장치에 이용되는 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 바이어스 전극들의 표면에 비전도성 접착제를 덮도록 포토레지스트층과 유전체나 폴리머등의 투명막을 순차적으로 도포한 후 포토레지스터층을 사진 공정하여 비전도성 접착제의 상부에 지지부들을 형성하며 투명막을 포토리쏘그래피방법 또는 레이저에 의한 절단방법에 의해 거울의 몸체들을 형성하고, 이 거울의 몸체들에 금속을 도포하여 반사면들을 형성한다. 따라서, 거울의 몸체들을 홈들에 끼우지 않고 지지부품들의 상부에 형성하므로 제조가 간단하고 표면의 평탄도를 향상시킬 수 있고, 또한, 거울의 몸체들을 유전체로 형성하면 시간의 흐름에 다른 동작특성의 열화를 방지할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100220585B1
公开(公告)日：1999-09-15
申请号：KR1019960018392
申请日：1996-05-29
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 변형부에 발생되는 크랙에 의해서 하부 전극과 상부 전극에 쇼트가 유발되어 광로 조절 장치가 손상되는 문제점을 해소하기 위해서, 변형부의 형성 이후에 비아홀 및 비아컨택을 형성하되, 종래의 변형부에 의해서 절연되던 비아 컨택과 상부 전극사이에는 절연층을 더 형성하도록 이루어진 광로 조절 장치의 제조 방법을 제공함으로써, 상부 전극과 하부 전극간의 쇼트 발생을 방지하여 광로 조절 장치의 신뢰성을 증진시키는 발명이다.
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公开(公告)号：KR100209404B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019940004524
申请日：1994-03-09
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로조절장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 광로조절장치는 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 각각의 트랜지스터에 전기적으로 연결된 접속단자를 2개씩 갖는 구동기판과, 상기 구동기판에 상기 접속단자를 각각 에워싸도록 분리되어 형성된 지지부와, 상기 지지부에 일단이 부착되고 타단이 상기 구동기판과 소정 간격 이격된 제1멤브레인과, 상기 제1멤브레인의 상부에 형성된 신호전극과, 상기 지지부와 제1멤브레인을 관통하여 상기 접속단자와 상기 신호전극을 전기적으로 연결하는 플러그와, 상기 신호전극의 상부중에서 상기 지지부의 상측에 형성된 신호전극의 상부에 형성된 변형부와, 상기 신호전극의 상부중에서 상기 변형부가 형성된 나머지 신호전극의 상부에 형성된 제2멤브레인과, 상기 신호전극의 상부에 � ��성된 바이어스 전극과, 상기 제2멤브레인의 상부에 형성된 반사막으로 이루어진 액츄에이터를 구비한다. 따라서, 액츄에이터가 구동될 때 액츄에이터의 자유단부가 펄럭이는 것이 방지되므로 화상신호에 따라 반사막의 기울기를 정확하게 조절할 수 있어 광특성을 향상시킬 수 있다.
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