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公开(公告)号:KR100248026B1
公开(公告)日:2000-03-15
申请号:KR1019960040674
申请日:1996-09-18
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 고희권
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명은 N
2 (질소)를 혼입하는 리액티브 스퍼터링법으로 Al 재질 위에 내마모성이 우수한 티타늄 나이트라이드(TiN; titanium nitride)를 증착하는 스퍼터링법을 이용한 티타늄 나이트라이드 증착 방법에 관한 것으로, Ti 타겟 및 기판이 설치된 진공 챔버 내에서 수행되는 스퍼터링법을 이용한 티타늄 나이트라이드 증착법에 있어서, 상기 진공 챔버 내에 Ar 개스 및 N
2 개스를 혼입하는 단계; 및 상기 Ar 및 N
2 개스를 리액티브 플라즈마 상태로 만들어 상기 기판 상에 TiN 박막을 증착시키는 단계;를 포함한다. 이 방법은 화학적 물리적으로 안정하여 내마모성이 우수한 TiN 박막을 증착할 수 있으며, 하부 접착층(Ti)을 입힘으로써 접착력이 충분히 우수하다. 또한, 증착 온도가 200℃ 이내 이므로 증착하고자 하는 기판의 재질을 다양하게 응용하여 사용할 수가 있으며, 2차원 평면 구조물이 아니더라도 간단한 지그를 제작하여 3차원 입체물에 대해서도 박막의 두께를 균일하게 증착할 수 있는 장점이 있다.-
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公开(公告)号:KR100200853B1
公开(公告)日:1999-06-15
申请号:KR1019950026708
申请日:1995-08-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 고희권
IPC: G11B5/127
Abstract: 자기기록 재생용 자기헤드 및 그 제조방법이 개시되어 있다.
이 개시된 자기헤드는 자성막과 절연막이 순차로 적층되어 트랙을 이루는 다층자성층과, 이 다층자성층의 양측에 접착되어 이를 지지하는 비자성기판을 마련하고, 그 선단면에 갭이 형성되도록 상호 접착된 한쌍의 코어반체와, 기록신호를 인가하기 위한 코일을 구비하며,
한쌍의 코어반체 하단면에 코일권선홈을 가지는 페라이트부재가 더 구비되고, 이 페라이트부재의 코일권선홈에 상기 코일을 권선한 것을 특징으로 한다.
또한, 코어반체에 언급한 페라이트부재를 접착하고, 슬라이싱하여 자기헤드를 제조할 수 있는 방법을 제공하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号:KR1019980069426A
公开(公告)日:1998-10-26
申请号:KR1019970006487
申请日:1997-02-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 고희권
IPC: G11B21/02
Abstract: 본 발명은 컴퓨터의 하드디스크드라이버(Hard Disc Driver) 또는 레이저 스캐너 장치(Laser Scanner Unit)의 기소(Machinary Element)로서 결합되는 반구형 알루미늄 공기 축받이결합체(Gas Dynamic Bearing Assembly) 및 그 제작방법에 관한 것이다. 본 발명은 저온공정에서 제작가능할 뿐만아니라 기계가공성 또한 양호한 알루미늄을 모재로 사용하여 제작한다. 따라서, 제작가공시에 기계가공성이 양호해질 뿐만아니라, 질화티타늄을 증착시킨 후에도 2차 치수보정을 위한 치수연마공정이 필요없게 되는 장점이 있으며, 증착막코팅공정도 150℃내외의 저온에서 이루어지므로, 종래의 반구형 공기 축받이와 축받이통을 제작할 때 필요한 공정수를 줄일수 있게 되므로 제작이 용이해지는 장점을 갖는다.
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公开(公告)号:KR1019960005443A
公开(公告)日:1996-02-23
申请号:KR1019940018268
申请日:1994-07-27
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 고희권
IPC: G11B5/147
Abstract: 본 발명은 자기헤드 및 그 제조방법에 관하여 개시한 것이다.
본 발명 자기헤드 및 제조방법은 적층형 자기헤드의 자성막을 FeRuGaSi와 FeIrGaSi 및 FeTaN 등과 같은 자화열처리 효과가 뛰어난 재료로 형성하고, 자장열처리를 통해 자화시켜 상기 I-코어의 자성막은 길이방향으로 자기이방서을 가지며, 상기 C-코어의 자성막은 폭방향으로 자기이방성을 가지도록 함으로써, 자기헤드 내의 자속흐름이 개선되어 디지탈방식의 고밀도 기록재생 등에 적합하도록 자기헤드의 기록재생 효율을 향상시킬 수 있게 한 것이다.-
公开(公告)号:KR1019950006717A
公开(公告)日:1995-03-21
申请号:KR1019930017537
申请日:1993-08-31
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 고희권
IPC: G11B5/84
Abstract: 본 발명은 자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 자기갭부위의 포화로 인해 기록효율이 떨어지는 것을 극소화 시킬 수 있는 자기헤드를 제공한다. 본 발명은, 일측 코어반체에 형성된 자기갭 및 코일권선홈의 내면과, 이와 대응되는 타측 코어반체의 접착면에, 이들의 접착시 내부 폐자로를 구성하여 자기갭 부위의 포화를 완화시키는 고포화자속밀도를 가지는 금속막이 각각 형성된 자기헤드 및 이러한 자기헤드를 제조하기에 적합한 제조방법을 제공함에 그 특징이 있다. 따라서 자기갭 부위에서의 포화를 완화시킬 수 있어 기록효율이 향상되게 된다.
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公开(公告)号:KR101485847B1
公开(公告)日:2015-01-23
申请号:KR1020070065423
申请日:2007-06-29
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명은 감각정보 재현 장치 및 시스템에 관한 것으로, 적어도 두 개의 감각정보가 구조화된 환경정보를 분석하여 각 감각정보를 추출하고, 추출된 각 감각정보를 분석하여 각 감각정보별 제어명령을 생성하고, 이 생성된 각 감각정보별 제어명령에 따라 복수의 감각정보를 각각 재현하도록 구현함으로써 홈오토메이션 환경 등에서 자연친화적인 사용자 환경을 제공할 수 있도록 한 것이다.
감각정보, 시각, 청각, 후각, 촉각, 환경정보, 감각정보 재현-
公开(公告)号:KR100200804B1
公开(公告)日:1999-06-15
申请号:KR1019920018176
申请日:1992-10-05
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 고희권
IPC: G11B5/147
Abstract: 본 발명은 자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은, 자기헤드의 자기갭 내부의 적어도 일측면에 재생시 자기기록매체로부터 누설되는 자속을 집속하는 보조자성막이 형성된 자기헤드 및 이러한 자기헤드를 제조하기에 적합한 제조방법을 제공함에 그 특징이 있다. 따라서 재생시의 헤드효율이 향상되게 된다.
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公开(公告)号:KR100189880B1
公开(公告)日:1999-06-01
申请号:KR1019930017537
申请日:1993-08-31
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 고희권
IPC: G11B5/84
Abstract: 본 발명은 자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 자기갭 부위의 포화로 인해 기록효율이 떨어지는 것을 극소화 시킬 수 있는 자기헤드를 제공한다. 본 발명은, 일측 코어반체에 형성된 자기갭 및 코일권선홈의 내면과, 이와 대응되는 타측 코어반체의 접착면에, 이들의 접착시 내부 폐자로를 구성하여 자기갭 부위의 포화를 완화시키는 고포화자속밀도를 가지는 금속막이 각각 형성된 자기헤드 및 이러한 자기헤드를 제조하기에 적합한 제조방법을 제공함에 그 특징이 있다.
따라서 자기갭 부위에서의 포화를 완화시킬 수 있어 기록효율이 향상되게 된다.-
公开(公告)号:KR1019970030273A
公开(公告)日:1997-06-26
申请号:KR1019950042204
申请日:1995-11-20
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 고희권
IPC: H01L21/203
Abstract: 본 발명은 스퍼터(sputter)장치에 관한 것으로, 특히 3차원 형상물위에 코팅(coating)하거나 마스크(mask)를 이용하여 에칭(etching)을 할 때 코팅두께 등의 균일도를 향상시킬 수 있는 스퍼터장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 기판홀더가 소정 각도 기울어진 상태에서 소정 경로를 다라 공전하면서 자전할 수 있도록 해준다.
이에 따라 증착면과 타게트면과의 평행상태가 조정되어 균일한 두께의 박막이 형성되게 한다.
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