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公开(公告)号：KR1019970053309A
公开(公告)日：1997-07-31
申请号：KR1019950057137
申请日：1995-12-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 반도체 제품을 피딩하는 장치에 대해 기재되어 있다. 이는, 반도체 제품을 고정하기 위한 상부와 하부 척 및 이들의 각 하부에 장착된 볼베어링들로 구성된 척 캐리어 어셈블리, 상부와 하부 척의 업ㆍ다운을 조절하기 위하여 볼 베어링들 사이에 반도체 제품의 피딩방향과 평행하도록 배치된 캠, 반도체 제품의 피딩방향으로 길게 배치되고 척 캐리어 어셈블리를 전ㆍ후진시키기 위한 캐리어 피딩 스크류 및 척 캐리어 어셈블리의 이동을 조절하기 위해 캐리어 피딩 스크류의 앞단에 설치된 서보 모터를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 보다 안정적으로 스트립을 피딩할 수 있고, 레이저 마킹 작업을 정확하게 행할 수 있다.
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