公开(公告)号：KR1020020057359A

公开(公告)日：2002-07-11

申请号：KR1020010000350

申请日：2001-01-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박철수 ,  김동식

IPC: H01L21/265

Abstract: PURPOSE: A collector cup assembly of a charge exchange oven apparatus is provided to reduce loss time for periodic preventive maintenance and out-gassing time, by separating a body part from a collector cup of the collector cup assembly. CONSTITUTION: The body part(116) is fixed in a chamber(102). A tube-type cup(114) is detachably installed in the body part. An aperture and a liner are installed inside the cup. The cup has a flange-type insert piece extended from an end of the cup. The body part has a slide groove on its surface so that the cup is coupled to the body part while the insert piece of the cup is inserted.

Abstract translation: 目的：提供电荷交换炉装置的收集器杯组件，以通过将主体部分与收集器杯组件的收集杯分离来减少用于周期性预防性维护和排出时间的损失时间。 构成：身体部分（116）固定在腔室（102）中。 管型杯（114）可拆卸地安装在主体部分中。 杯内安装有孔和衬里。 杯子具有从杯的端部延伸的凸缘型插入件。 主体部分在其表面上具有滑动凹槽，使得在插入杯的插入件的同时将杯联接到主体部分。

公开(公告)号：KR1020020037857A

公开(公告)日：2002-05-23

申请号：KR1020000067780

申请日：2000-11-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김은석 ,  박철수

IPC: H01L21/265

Abstract: PURPOSE: A collector cup assembly of a charge exchange oven apparatus is provided to prevent damage to an aperture in a process for separating the aperture, by making the collector cup assembly composed of the aperture, a collector cup and a plate. CONSTITUTION: The collector cup assembly(110) functions as a path of an ion beam, connected to a charge exchange oven cell. The first opening(114a) having a diameter larger than that of the aperture(112) is formed on a surface of the collector cup(114) so that the aperture is inserted into the first opening. The plate(116) overlaps the surface of the collector cup so that the aperture does not pass through the first opening, having the second opening(116a) of a diameter smaller than that of the aperture.

Abstract translation: 目的：提供一种电荷交换炉装置的集电杯组件，用于防止在用于分离孔的过程中对孔径造成的损坏，通过使由孔组成的集电杯组件，集电杯和板。 构成：集电杯组件（110）用作离子束的路径，连接到电荷交换炉单元。 在集电杯（114）的表面上形成直径大于孔（112）的直径的第一开口（114a），使得孔插入第一开口。 板（116）与收集杯的表面重叠，使得孔不穿过第一开口，其中第二开口（116a）的直径小于孔的直径。

公开(公告)号：KR1020010096045A

公开(公告)日：2001-11-07

申请号：KR1020000019950

申请日：2000-04-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정성환 ,  박철수

IPC: H01L21/265

Abstract: PURPOSE: A fence of a wafer lift assembly for ion implantation apparatus is provided to prevent a damage of a wafer by forming a coating layer on a surface of a main body of a fence to restrain abrasion and deformation due to contact with a wafer. CONSTITUTION: A main body(71) is formed with an aluminium with low hardness. A coating layer(73) is formed to enhance surface hardness of the main body(71). A passing hole is formed on a predetermined portion of the main body(71). The passing hole is combined with a part of an outer circumference of a wafer pad. An inner edge portion of a fence(73) is rounded. The abrasion and the deformation of the fence(70) is reduce since the coating layer(73) is formed on the surface of the main body in order to strengthen the surface hardness of the main body(71) with low hardness.

Abstract translation: 目的：提供用于离子注入装置的晶片提升组件的栅栏，以通过在栅栏的主体的表面上形成涂层以防止由于与晶片的接触而产生的磨损和变形来防止晶片损坏。 构成：主体（71）由低硬度的铝形成。 形成涂层（73）以增强主体（71）的表面硬度。 通孔形成在主体（71）的预定部分上。 通孔与晶片垫的外周的一部分组合。 围栏（73）的内边缘部分是圆形的。 为了以较低的硬度加强主体71的表面硬度，由于在主体的表面上形成涂层73，因此栅栏70的磨损和变形减小。

公开(公告)号：KR1020170060843A

公开(公告)日：2017-06-02

申请号：KR1020150165555

申请日：2015-11-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조영철 ,  김석진 ,  박철수 ,  서동관

IPC: G06F9/30 ,  G06F9/38

CPC classification number: G06F9/3802 ,  G06F9/3001 ,  G06F9/30043 ,  G06F9/3016 ,  G06F9/3824 ,  G06F9/3853 ,  G06F15/7839

Abstract: VLIW 인터페이스장치및 제어방법이개시된다. VLIW 인터페이스장치는명령어및 데이터를저장하는메모리, 명령어및 데이터를처리하는프로세서를포함하고, 프로세서는메모리로부터명령어을로드하기위해명령어페치요청을출력하는명령페치모듈, 명령페치모듈에로드된명령어을디코딩하는디코더, 디코딩된명령어가연산명령어인경우연산기능을수행하는산술로직모듈, 명령어페치요청또는산술로직모듈로부터입력되는데이터페치요청을스케쥴링하는메모리인터페이스스케쥴러및 스케쥴링된명령어페치요청또는데이터페치요청에따라메모리접근연산을수행하는메모리연산모듈를포함한다.

Abstract translation: 公开了一种VLIW接口设备和控制方法。 VLIW接口装置包括处理存储器的指令和数据用于存储指令和数据的处理器，并且被加载到指令处理器提取模块，指令提取模块，其输出解码myeongryeongeoeul取指令请求，以便从存储器加载myeongryeongeoeul 一个解码器，根据该译码的指令是操作命令的情况下，操作算术逻辑模块，用于执行一个功能时，取指令请求或算术逻辑用于调度取指令从模块，存储器接口的调度器接收到的请求的数据，并调度所述指令获取请求或数据取得请求 以及用于执行存储器访问操作的存储器操作模块。

公开(公告)号：KR100631915B1

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：KR1020000019950

申请日：2000-04-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정성환 ,  박철수

IPC: H01L21/265

Abstract: 본 발명은 이온주입기용 웨이퍼 리프트어셈블리의 펜스를 개시한다. 이에 의하면, 표면 마모나 변형을 줄이기 위해 본체의 표면에 경도 강화용 코팅층이 형성되고 코팅층이 빛반사가 낮은 적갈색으로 이루어지고 본체의 내측 에지부가 라운딩처리된다.

따라서, 본 발명은 이온주입 때에 웨이퍼 패드 상의 웨이퍼가 고속 회전하면서 펜스에 계속적으로 접촉하더라도 펜스에 마모나 변형이 이루어지기가 어려우므로 이온주입 완료한 웨이퍼를 리프트핀으로 들어올릴 때 웨이퍼가 스크래치와 같은 마모가 발생하거나 웨이퍼의 가장자리가 펜스의 홈에 끼어져 파손되거나 웨이퍼의 떨어짐과 같은 사고가 발생하는 것이 방지된다. 더욱이 코팅층이 빛반사가 적으므로 육안으로 펜스의 마모를 용이하게 파악할 수 있고 펜스를 적기에 교체할 수 있다. 내측 에지부가 라운딩처리되어 웨이퍼의 부정확한 로딩에도 불구하고 웨이퍼의 손상이 쉽게 발생하지 않는다. 그 결과 본 발명은 웨이퍼의 마모나 파손을 방지하여 경제적 손실을 줄일 수가 있다.

公开(公告)号：KR100482011B1

公开(公告)日：2005-04-14

申请号：KR1020020085202

申请日：2002-12-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 기종일 ,  정재현 ,  박철수 ,  전병환

IPC: G11B7/22

Abstract: 본 발명은, 디스크드라이브에 장착되어 디스크의 데이터를 읽을 수 있는 픽업의 성능을 검사하는 픽업 검사장치에 관한 것으로서, 베이스부재와; 상기 베이스부재에 지지되며, 복수의 디스크를 각각 지지하여 회전시키는 복수의 디스크구동유닛과; 상기 베이스부재에 지지되며, 상기 복수의 디스크구동유닛에 지지된 각 디스크에 대응하는 상기 복수의 픽업을 각각 지지하는 복수의 픽업지지유닛과; 상기 복수의 픽업지지유닛에 지지된 각각의 상기 픽업이 상기 복수의 디스크구동유닛에 지지된 각 디스크를 읽을 수 있게 상기 복수의 디스크구동유닛을 전후방으로 이송시키는 하나의 피드모터를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 픽업의 성능검사를 위한 시간 및 인력소모를 줄일 수 있으며, 픽업 검사장치의 수를 줄일 수 있을 뿐만 아니라 설치공간 및 설치비를 줄일 수 있다.

公开(公告)号：KR1020040059531A

公开(公告)日：2004-07-06

申请号：KR1020020085202

申请日：2002-12-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 기종일 ,  정재현 ,  박철수 ,  전병환

IPC: G11B7/22

Abstract: PURPOSE: A device for inspecting pickups is provided to comprise plural disk driving units, one feed motor for transferring the disk driving units, and plural pickup support units for supporting plural pickups, and to simultaneously inspect performance of the plural pickups, thereby reducing time for inspecting pickup performance. CONSTITUTION: Plural disk driving units(30) support plural disks, in which predetermined data is inputted, and rotate the supported disks. Plural pickup support units(20) support plural pickups(10) relative to each disk, respectively. One feed motor(27) transfers the plural disk driving units(30) in front/rear directions, so that each pickup(10) supported in the plural pickup support units(20) can read each disk supported in the plural disk driving units(30).

Abstract translation: 目的：提供一种用于检查拾取器的装置，包括多个盘驱动单元，用于传送盘驱动单元的一个进给马达和用于支撑多个拾取器的多个拾取器支撑单元，并且同时检测多个拾取器的性能，由此减少 检查皮卡性能。 构成：多个盘驱动单元（30）支撑多个盘，其中输入预定数据，并旋转支撑的盘。 多个拾取器支撑单元（20）分别相对于每个盘支撑多个拾取器（10）。 一个进给马达（27）在前后方向上传送多个盘驱动单元（30），使得支撑在多个拾取器支撑单元（20）中的每个拾取器（10）能够读取支撑在多个盘驱动单元 30）。

公开(公告)号：KR100344221B1

公开(公告)日：2002-07-20

申请号：KR1020000055649

申请日：2000-09-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김동식 ,  박철수

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 탄성부재의 텐션(tension)에 의한 가압력에 의하여 웨이퍼의 원주면을 지정된 위치에 고정시키는 웨이퍼 클램프의 텐션을 정밀하게 측정하여 웨이퍼 클램프의 텐션을 정밀하게 조정할 수 있도록 함으로써, 클램핑된 상태의 웨이퍼가 공정 중 움직임 또는 이탈되지 않도록 한 웨이퍼 클램프 텐션 측정 장치에 관한 것으로, 본 발명에 의하면 웨이퍼를 클램핑하데 필요한 가압력을 제공하는 핑거의 텐션을 작업자에 관계없이 매우 간단한 조작으로 핑거의 텐션을 반복적으로 정밀하게 측정할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020020043379A

公开(公告)日：2002-06-10

申请号：KR1020000073032

申请日：2000-12-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박철수 ,  김동식

IPC: H01L21/26

Abstract: PURPOSE: A collector assembly of a charge exchange oven apparatus is provided to separate an aperture and a liner from a collector by improving a structure of the collector assembly. CONSTITUTION: A collection cup assembly is formed with an aperture(112), a collector(114), a body part(116), and a liner(118). The body part(116) is fixed to a side of a chamber. One end portion of the collector(114) is fixed to a charge exchange oven cell. The collector(114) has an insertion section(114a) of a flange type. A slide groove(116a) is formed in one side of the body part(116). The collector(114) is combined with the body part(116). The aperture(112) and the liner(118) are inserted into an inside of the collector(114). The body part(116) is installed on a wall side of the chamber. An opening(116b) is formed in the body part(116).

Abstract translation: 目的：提供电荷交换炉装置的收集器组件，以通过改进收集器组件的结构将孔和衬套与收集器分开。 构成：收集杯组件形成有孔（112），收集器（114），主体部分（116）和衬套（118）。 主体部分（116）固定在腔室的一侧。 集电器（114）的一个端部固定在电荷交换炉电池上。 集电体（114）具有凸缘型的插入部（114a）。 滑动槽（116a）形成在主体部（116）的一侧。 收集器（114）与主体部分（116）组合。 孔112和衬套118插入收集器114的内部。 主体部分（116）安装在室的壁侧。 开口（116b）形成在主体部分（116）中。

公开(公告)号：KR1020020023008A

公开(公告)日：2002-03-28

申请号：KR1020000055649

申请日：2000-09-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김동식 ,  박철수

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01L21/6835 ,  H01L21/687

Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring tension of a wafer clamp is provided to uniformly maintain tension of a finger which supplies pressure necessary for clamping a wafer regardless of an operator, and to measure the tension of the finger by a simple manipulation. CONSTITUTION: At least one guide groove which extends in the same direction as the first direction is formed in a reference block. The reference block guarantees a reference position for measuring the tension, fixed in a portion separated from an elastic unit by a predetermined distance. A tension measuring unit pressures the elastic unit to measure the tension while sliding along the guide groove in the second direction opposite to the first direction. A displacement limiting unit(550) limits the displacement of the tension measuring unit so that the distance pressuring the elastic unit is always the same while the tension measuring unit is in contact with the elastic unit, installed in the reference block.

Abstract translation: 目的：提供一种用于测量晶片夹的张力的装置，以均匀地保持手指的张力，其提供夹紧晶片所需的压力，而不管操作者如何，并且通过简单的操作来测量手指的张力。 构成：在参考块中形成有沿与第一方向相同的方向延伸的至少一个引导槽。 参考块保证用于测量张力的参考位置，固定在与弹性单元分离预定距离的部分中。 张力测量单元对弹性单元进行压力，以在与第一方向相反的第二方向沿导向槽滑动时测量张力。 位移限制单元（550）限制张力测量单元的位移，使得当张力测量单元与安装在参考块中的弹性单元接触时，压缩弹性单元的距离总是相同的。