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公开(公告)号：KR1019980028941A
公开(公告)日：1998-07-15
申请号：KR1019960048136
申请日：1996-10-24
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 허재호
IPC: H01L29/786
Abstract: 다결정실리콘-TFT의 제조방법을 개시한다. 이 제조방법은, 유리기판상에 소정두께의 질화막 및 제1두께의 제1 반도체층을 연속적으로 형성하는 단계와, 상기 제1두께의 제1 반도체층위에 버퍼층 패턴 및 스토리지 캐패시터의 하부전극을 형성하는 단계와, 결과물 전면에 대하여 제2두께의 제1 반도체층을 형성한 후, 상기 제2두께의 제1 반도체층을 패터닝하는 단계와, 결과물 전면에 대하여 결정화 공정을 실시하는 단계와, 결과물 전면에 게이트절연막을 형성한 후, 게이트전극을 형성하는 단계를 구비하여 이루어진 것을 그 특징으로 한다. 이에 따라 유리기판상에 질화막과 제1반도체층, 즉 비정질실리콘층이 연속적으로 증착되어, 종래 발생되던 스트레스에 의한 결함을 제거할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019980026856A
公开(公告)日：1998-07-15
申请号：KR1019960045422
申请日：1996-10-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C30B30/00
Abstract: 단결정 실리콘층의 형성방법을 개시한다. 본 발명은 기판 상에 아몰포스 실리콘층을 증착하는 단계와, 상기 아몰포스 실리콘층에 레이저를 조사에 의해 단결정 실리콘용 씨드층을 형성하는 단계와, 상기 씨드층을 이용하여 상기 아몰포스 실리콘층의 일측에서부터 횡방향으로 타측까지 레이저를 조사하면서 이동하여 횡방향의 제1 단결정 실리콘층을 형성하는 단계와, 상기 기판을 90도 회전시켜 상기 제1 단결정 실리콘층의 최상영역을 씨드로 상기 레이저 조사 및 이동 단계를 종방향으로 실시하여 종방향의 제2 단결정 실리콘층을 형성하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 단결정 실리콘층의 형성방법을 제공한다. 본 발명은 순차적 횡방향 응고법에 의해 형성된 측면방향의 제1 단결정 실리콘층을 씨드로 하여 종방향으로 다시 순차적 횡방향 응고법을 행함으로써 원하는 면적에 제2 단결정실리콘층을 형성할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019960003535A
公开(公告)日：1996-01-26
申请号：KR1019940015238
申请日：1994-06-29
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 허재호
IPC: H05K13/08
Abstract: 전자부품의 형상에 대응하는 흡착노즐을 선택하여 사용할 수 있도록 레이저 센서를 이용한 흡착노즐 오차검출방법을 개시한다. 이 검출방법은 레이저 광을 방출하는 발광부와 이 광을 수광하는 수광부 사이로 상기 파지한 흡착노즐을 위치시키고, 흡착노즐에 의해서 차단되는 광량을 수광부에서 검출하고 상기 전자부품의 크기와 검출된 흡착노즐의 광량을 비교하여서 그 오차를 검출한다. 오차가 제로일때 흡착노즐로 전자부품을 흡착하도록 하고, 오차가 발생하였을때 다른 흡착노즐을 파지하도록 한다. 이는 전자부품의 형상에 대응하는 흡착노즐을 사용함으로써 전자부품을 안정하게 장착할 수 있게 한다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR100516067B1
公开(公告)日：2005-11-25
申请号：KR1019980031503
申请日：1998-08-03
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 허재호
IPC: G02F1/1345 , G02F1/1333
Abstract: 본 발명에 따른 COG 방식의 액정 표시 장치용 패널은 공통 전극이 형성되어 있는 컬러 필터 기판과 박막 트랜지스터 기판이 마주하고 있으며, 표시 영역에는 다수의 게이트선과 다수의 데이터선이 가로 방향과 세로 방향으로 각각 형성되어 있다. 또한, 두 기판이 마주하는 기판의 가장자리에서 외부에 노출되어 있는 게이트선 및 데이터선의 끝단은 공통 전극과 동일한 물질로 이루어진 ITO막을 통하여 화소영역의 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있다. 이러한 구조에서는 두 기판이 마주하는 가장자리에 수분이 침투하여 게이트선 및 데이터선의 끝 부분이 컬러필터기판의 공통 전극과 전위차에 의하여 부식이 발생되어 표시 영역 쪽으로 진행하더라도 ITO막이 있는 부분에서는 더 이상 부식이 진행하지 않는다. 이때, ITO막은 표시 영역의 둘레에 형성되어 있는 봉인재와 중첩하도록 형성하는 것이 바람직하다.
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公开(公告)号：KR1019990017662A
公开(公告)日：1999-03-15
申请号：KR1019970040657
申请日：1997-08-25
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 허재호
IPC: G02F1/1343 , G02F1/136
Abstract: 박막 트랜지스터 기판의 게이트선과 화소 전극 사이 또는 게이트선 사이에 금속 또는 실리콘으로 실제 화면을 표시하는 화소의 표시부를 제외한 나머지의 공간을 가리는 광차단막을 형성한다. 그러면, 후면 광원으로부터 들어와 컬러 필터 기판에 반사되어 박막 트랜지스터로 입사되는 빛을 줄일 수 있다. 이 광차단막은 별도의 공정이 필요없이 박막 트랜지스터 기판을 형성하는 과정 중 소스/드레인 및 데이터선을 형성하는 공정에서 소스/드레인과 같은 금속층을 사용하여 형성할 수도 있고, 실리콘층을 형성하는 공정에서 같이 형성할 수도 있다.
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公开(公告)号：KR1019980035192A
公开(公告)日：1998-08-05
申请号：KR1019960053469
申请日：1996-11-12
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 허재호
IPC: G06F15/18
Abstract: 본 발명은 하드 디스크 서보 라이트 검사 장치 및 그 제어 방법에 관한 것으로서 특히, 하드 디스크 어셈블리에 프로그램을 라이트하고 또한 상기의 라이트된 프로그램을 검사하는 하드 디스크 서보 라이트 검사 장치가 상기의 하드 디스크 어셈블리의 바코드를 읽어들이는데 소요되는 시간을 줄임으로써 하드 디스크 어셈블리의 생산성을 향상시킬 수 있는 하드 디스크 서보 라이트 검사 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
본 발명의 하드 디스크 어셈블리의 서보 라이트 검사 장치는 작업자가 동작 신호를 입력하는 오퍼레이팅 패널과, HDA에 프로그램을 라이트하는 서보 라이트 수단과, 상기 HDA에 라이트된 프로그램을 검사하는 HDA 프로그램 검사 수단과, 검사용 HDA의 바코드를 리드하는 바코드 리드기와, 상기의 바코드 리드기가 센터링 지그에 장착되는 센터링 디바이스와, HDA를 상기의 서보 라이트 수단과 상기의 HDA 프로그램 검사 수단에 투입하기 위하여 일시적으로 위치시키는 버퍼와 체인지 버퍼, PLC 및 상기의 PLC에서 인가되는 신호에 의해 로봇의 동작을 제어하는 로봇제어기를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1019970024303A
公开(公告)日：1997-05-30
申请号：KR1019950035200
申请日：1995-10-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L29/786
Abstract: 본 발명은 액티브층의 소스/드레인 영역에 불순물 이온 주입시 주입시키는 불순물이 게이트 전극에 도달하는 것을 억제할 수 있으며. 소스/드레인 영역의 주입된 이온을 활성화할 때 레이저 빔을 투과시킬 수 있어 게이트 전극의 손상을 방지하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 그 구조는 기판 위에 형성되어 있는 다결정 실리콘막, 다결정 실리콘막 위에 형성되어 있는 게이트 절연막, 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 게이트 전극, 게이트 전극 위에 형성되어 있는 게이트 전극의 손상을 방지하는 절연막을 포함하고 있다. 이와 같이, 게이트 전극 위에 밴드 갭이 큰 절연 물질을 형성하므로써 액티브층에 주입된 이온을 어닐닝하기 위한 레이저 빔 조사시 게이트 전극이 손상되는 것을 방지한다.
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