公开(公告)号：KR101581783B1

公开(公告)日：2016-01-04

申请号：KR1020150047053

申请日：2015-04-02

Applicant: 서울대학교산학협력단 ,  재단법인차세대융합기술연구원

Inventor： 박상윤 ,  송윤규 ,  문승현 ,  김상준

IPC: B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  H01L29/06

Abstract: 본개시는나노유체채널을기반으로하는채널구조물에있어서, 기판(substrate); 기판위에형성되며, 복수의나노-크기의섬(a plurality of nano-sized islands); 그리고, 복수의나노-크기의섬들에의해경계지워지는(defined or delimited) 채널;을포함하는것을특징으로하는나노유체채널을기반으로하는채널구조물및 이를제조하는방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种基于纳米流体通道的通道结构及其制造方法，其中基于纳米流体通道的通道结构包括：基底; 形成在所述基板上的多个纳米尺寸的岛; 以及由纳米尺寸岛定义或界定的通道。