公开(公告)号：KR101264880B1

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：KR1020127027886

申请日：2012-04-20

Applicant: 재단법인대구경북과학기술원

Inventor： 백성호 ,  김재현 ,  김성빈

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/02168 ,  H01L31/02363 ,  H01L31/035281 ,  Y02E10/50

Abstract: 상기의기술적과제를이루기위한본 출원의일 측면에따른실리콘태양전지의제조방법이개시된다. 상기실리콘태양전지의제조방법에있어서, 먼저, 제1 도전형으로도핑된실리콘기판을준비한다. 상기실리콘기판상에상기제1 도전형과반대도전형인제2 도전형의에미터층을형성한다. 상기에미터층을가공하여상기에미터층의광흡수표면적을증가시킨다. 상기가공된에미터층상에산화아연시드층을수열합성법에의하여형성한다. 상기산화아연시드층으로부터나노막대형태의산화아연반사방지층을수열합성법에의하여성장시킨다.