公开(公告)号：KR102110186B1

公开(公告)日：2020-05-13

申请号：KR1020170165749

申请日：2017-12-05

Applicant: 재단법인 오송첨단의료산업진흥재단

Inventor： 정하철 ,  권다혜 ,  문진희 ,  김영진 ,  안진우 ,  최원정 ,  이승아 ,  김아희 ,  박하나

IPC: H01L21/02 ,  H01B13/00 ,  H01B13/32 ,  H01L21/28

公开(公告)号：KR102013283B1

公开(公告)日：2019-08-22

申请号：KR1020170165750

申请日：2017-12-05

Applicant: 재단법인 오송첨단의료산업진흥재단

Inventor： 정하철 ,  권다혜 ,  문진희 ,  김영진 ,  안진우 ,  최원정 ,  이승아 ,  김아희 ,  박하나

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/768 ,  H01L21/324