公开(公告)号：KR101183967B1

公开(公告)日：2012-09-18

申请号：KR1020100100054

申请日：2010-10-13

Applicant: 조선대학교산학협력단

Inventor： 오용택 ,  신동찬

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  H05B33/14 ,  H05B33/22

Abstract: 본 발명은 경사기능 투명전도성 산화막, 유기발광다이오드용 양극 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 투명전도성 산화막은 산화아연(ZnO)을 기반으로하며, 여기에 두께 방향으로의 농도구배를 갖는 갈륨산화물(Ga
2 O
3 )이 증착되어, 바람직하게는 유기발광다이오드(OLED)의 양극에 적용될 수 있다.
본 발명에 따르면, 종래의 투명전도성 산화막(TCO)으로 사용되고 있는 ITO에 비하여 재료비가 저렴하며, 불순물 도핑된 ZnO계 TCO에 비하여 공정을 단순화시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면 OLED 등의 평판 디스플레이 및 태양전지, 바람직하게는 OLED 소자의 양극에 포함되는 전극으로 사용할 경우, 높은 광투과율과 낮은 저항, 높은 일함수 값 등으로 인하여 양극과 정공이송층(hole transport layer) 간의 주입장벽을 낮추어, 소자의 효율향상과 수명연장이 달성된다.