公开(公告)号：KR102153380B1

公开(公告)日：2020-09-08

申请号：KR1020180046642

申请日：2018-04-23

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 나정효 ,  신성호

IPC: B01D39/16

公开(公告)号：KR1020170013626A

公开(公告)日：2017-02-07

申请号：KR1020150106531

申请日：2015-07-28

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 나정효 ,  이민형 ,  신성호 ,  권양혁 ,  김영환

IPC: H02N1/04

Abstract: 본발명은마찰발전소자제조방법및 마찰발전소자에관한것으로, 마찰발전소자제조방법은, 기판을제공하는단계, 및상기기판표면의대전성질변화를유도하는단계를포함하며, 상기대전성질변화를유도하는단계는, 상기기판의표면상에상기기판표면의물질과서로다른대전성질을갖는대전유도물질을형성하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101607578B1

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：KR1020150010430

申请日：2015-01-22

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 나정효 ,  신성호 ,  이상규

IPC: H01L21/033 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/0332 ,  G03F7/2063 ,  H01L21/0274

Abstract: 본발명은노광장치및 마스크얼라이너에관한것으로, 노광장치는기판을지지하기위한스테이지; 노광패턴을갖는마스크를지지하기위한마스크지지부; 및기판에대해노광처리를하기위한광을발생하는광원을구비한광원부를포함하며, 광원부는마스크지지부상에직결된다.

Abstract translation: 本发明涉及曝光装置和掩模对准器。 更具体地说，本发明的目的是提供一种小而价格低的曝光装置和掩模对准器。 本发明的曝光装置包括：用于支撑基板的台; 支持具有曝光图案的面罩的面罩支撑部; 以及光源部，其包括产生用于曝光所述基板的光并直接耦合到所述掩模支撑部的光源。

公开(公告)号：KR102116377B1

公开(公告)日：2020-05-28

申请号：KR1020180046647

申请日：2018-04-23

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 나정효 ,  박대훈

IPC: B01D39/16

公开(公告)号：KR102092199B1

公开(公告)日：2020-03-23

申请号：KR1020180046635

申请日：2018-04-23

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 나정효 ,  이민형 ,  이솔

IPC: B01D39/16

公开(公告)号：KR101759861B1

公开(公告)日：2017-07-20

申请号：KR1020160021823

申请日：2016-02-24

Applicant: 충남대학교산학협력단

Inventor： 나정효 ,  신성호

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/27 ,  H01L41/187 ,  H01L41/193 ,  H01L41/317 ,  H01L41/113

Abstract: 본발명은베이스기판(100)을준비하는제1단계; 바나듐이도핑된산화아연(Vanadium-doped ZNO)으로이루어지는나노시트와폴리머용액을서로혼합한나노코팅액(20)을베이스기판(100)의일면에스핀코팅하여나노코팅층(200)을형성하는제2단계; 상기베이스기판(100)의나노코팅층(200)과다른베이스기판(100)의나노코팅층(200)을서로접합하여적층체를생성하는제3단계; 및상기적층체를가열하여압전소자를제조하는제4단계;를포함하는것을특징으로하는압전소자의제조방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明提供了一种制造半导体器件的方法，包括：准备基础衬底（100）的第一步骤; 图2是旋涂在钒彼此混合，纳米片和uiil侧基座衬底100上的掺杂的氧化锌（钒掺杂ZnO）纳米涂层（20）构成的聚合物溶液中以形成纳米涂层（200） 步骤; 接合到彼此的第三步骤产生的纳米涂料层200的层叠体中，纳米涂层（200）在基底基板100的不同基板100; 以及加热层压体以制造压电器件的第四步骤。