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公开(公告)号:KR101232838B1
公开(公告)日:2013-02-13
申请号:KR1020100114513
申请日:2010-11-17
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명의 일 측면은, 롤 방식의 초소형 구조물의 대량 성형기술에 적용되어 초소형 구조물을 연속적으로 성형하는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 제조하는 제조 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법은, 노광 공정으로 초소형 모구조물을 제작하는 제1 단계, 금속 전기도금 공정으로 상기 모구조물의 표면에 초소형 구조물을 형성하여 마이크로 몰드 형성용 모듈을 제작하는 제2 단계, 및 상기 모듈을 조합 및 결합하여 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 형성하는 제3 단계를 포함한다.
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12.
公开(公告)号:KR1020110083090A
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:KR1020100003124
申请日:2010-01-13
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: B29C45/263 , B29C45/2602 , B29C45/372 , B29C2045/0094 , B81C1/00015
Abstract: PURPOSE: A micro mold system and a manufacturing method thereof and a micro precision part manufacturing method using the same are provided to form a complex molding surface of a micro mold system by assembling two or more base molds in singular or plural numbers. CONSTITUTION: A micro mold system(100) comprises at least two types of base molds(21,22,23). The base molds comprises molding surfaces(30,11,12,13) having fine uneven portions, where the height from the bottom to the molding surfaces are different. In the molding surfaces, a first scale of stepped structure and a second scale of uneven structure are combined.
Abstract translation: 目的:提供一种微型模具及其制造方法以及使用该微型模具系统的微型精密零件制造方法,通过组合两个以上的单个或多个基础模具来形成微型模具系统的复杂成型面。 构成:微型模具系统(100)包括至少两种类型的基础模具(21,22,23)。 基底模具包括具有细小凹凸部分的模制表面(30,11,12,13),其中从底部到模制表面的高度不同。 在模制表面中,组合了阶梯状结构的第一刻度和不平坦结构的第二刻度。
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公开(公告)号:KR1020100051418A
公开(公告)日:2010-05-17
申请号:KR1020080110582
申请日:2008-11-07
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/2039 , B81C99/009 , G03F7/00 , G03F7/0017
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a micro structure with an X-ray exposure process is provided to increase the length of a micro pattern of molds using a side exposure mode and a mold module. CONSTITUTION: A photosensitive material is exposed by radiating X-ray with a side exposure mode(S101). The exposed photosensitive material is etched(S102). A metal fills the etched photosensitive material in order to form a mold in which a micro pattern is formed(S103). A plurality of molds is combined to form a mold module(S104). A micro structure is formed with the mold module(S105).
Abstract translation: 目的:提供一种用于制造具有X射线曝光工艺的微结构的方法,以使用侧曝模式和模具模块来增加模具的微图案的长度。 构成:通过以侧曝模式照射X射线来曝光感光材料(S101)。 曝光的感光材料被蚀刻(S102)。 金属填充蚀刻的感光材料以形成其中形成微图案的模具(S103)。 多个模具组合形成模具模块(S104)。 用模具模块形成微结构(S105)。
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14.
公开(公告)号:KR101132748B1
公开(公告)日:2012-04-06
申请号:KR1020100003124
申请日:2010-01-13
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 다중 스케일의 성형면을 가지는 초소형 정밀 부품을 제조하기 위한 마이크로 몰드 시스템과 이의 제조 방법 및 이를 이용한 초소형 정밀 부품의 제조 방법을 제공한다. 마이크로 몰드 시스템은 초소형 정밀 부품을 사출 성형 방식으로 제작하기 위한 것으로서, 미세 요철이 형성된 성형면을 구비하면서 바닥에서 성형면까지의 높이가 서로 다른 적어도 두 종류의 베이스 몰드를 포함하며, 다단 구조의 제1 스케일과 미세 요철 구조의 제2 스케일이 조합된 다중 스케일의 성형면을 제공한다.
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公开(公告)号:KR100988931B1
公开(公告)日:2010-10-20
申请号:KR1020080030592
申请日:2008-04-02
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: B81B1/00 , B81B7/00 , H01L21/00 , G01N33/543
Abstract: 본 발명은 미세 유체(microfluidic)용 마이크로 채널이 형성된 미세 유체 칩에 관한 것이며, 더욱 상세하게는 이런 미세 유체 칩을 제조하기 위한 초소형 사출성형 몰드에 관한 것이다. 본 발명의 미세 유체 칩은 유체의 이동 및 혼합을 유도하도록 유로가 형성되고, 유체 입출구와 튜브 연결부를 구비한 특징이 있다. 유체입출구는 유로의 일부이면서 외부와 소통되게 형성되어, 유체가 유입 또는 배출된다. 튜브 연결부는 유체 입출구에 연통되는 내부 유로를 형성하면서 외측 방향으로 돌출되어 유체를 공급하거나 배출시키는 튜브와 끼워맞춤 결합된다. 이와 같은 구성으로 인해 본 발명의 미세 유체 칩은 별도의 연결 구성요소를 필요로 하지 않고도 튜브와 견고하게 연결되어, 종래에 비해 미세 유체 공정이 간소화될 뿐만 아니라, 비용도 절감되는 장점이 있다.
미세 유체, 칩(chip), 튜브(tube), 사출 성형, 몰드(mold), 코어
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