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公开(公告)号:KR1020090047141A
公开(公告)日:2009-05-12
申请号:KR1020070113164
申请日:2007-11-07
IPC: G01T1/20 , H01L27/14 , H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G01T1/2006 , G01T1/2002 , G03F7/2022 , H01L21/0274 , H01L27/14
Abstract: 본 발명은 엑스레이 디텍터의 신틸레이터 제조방법에 관한 것으로서, 기판상에 신틸레이터(scintillator)를 증착하는 단계와, 상기 신틸레이터 위에 보호막을 증착하는 단계와, 상기 보호막 위에 포토레지스트(photoresist)를 도포하는 단계와, 소정 패턴이 형성된 마스크를 이용하여 상기 포토레지스트를 노광하고 현상액을 통한 화학처리로 상기 포토레지스트에 패턴을 형성하는 단계와, 상기 패턴이 형성된 포토레지스트를 식각 마스크로 한 플라즈마 에칭(plasma etching)을 통해 상기 신틸레이터를 상기 보호막과 함께 식각하여 픽셀화시키는 단계, 및 상기 보호막 위에 남아있는 포토레지스트를 제거하는 단계를 포함하며, 신틸레이터의 형성소재로 사용되는 CsI의 리소그라피 공정에 있어서의 현상액에 대한 취약성의 문제를 해소하고, 플라즈마 에칭을 이용� ��여 요구되는 작은 크기 및 선명한 측벽을 갖는 픽셀화된 신틸레이터를 통해 높은 검출효율을 유지하면서 고해상도의 영상을 얻을 수 있도록 하는 엑스레이 디텍터의 신틸레이터 제조방법을 제공한다.
비파괴 검사, 인체영상획득, 엑스레이 디텍터, 신틸레이터-
公开(公告)号:KR1020110050849A
公开(公告)日:2011-05-17
申请号:KR1020090107398
申请日:2009-11-09
CPC classification number: B66C23/82 , B66C23/16 , B66C23/66 , B66C23/823 , B66C2700/03
Abstract: PURPOSE: A wire supporting apparatus of a crane is provided to smoothly transfer the spreader of a boom without shaking by employing a lifting wire composed of four strings. CONSTITUTION: A wire supporting apparatus of a crane comprises a boom(110) which is moved with a spreader to transport an object, a control chamber(120) which is installed on a side of the bottom to control the movement of the boom, and a portal part(130) which is installed under the control chamber to support the load. The boom comprises a roughing wire(140) which is installed from the top of the control chamber to the end of the bottom to regulate the up-and-down angle of the bottom and a wire support portion(150) which is installed under the end of the boom. A lifting wire(170) is connected to the spreader through the wire support portion to control the movement of the spreader, thereby ensuring stable transport.
Abstract translation: 目的:提供一种起重机的电线支撑装置,通过采用由四根线组成的起重线,平稳地转动吊杆的吊架而不发生晃动。 构成:起重机的线支撑装置包括:吊架(110),其利用吊架移动以运送物体;控制室(120),其安装在底部的一侧以控制吊杆的运动;以及 入口部分(130),其安装在所述控制室下方以支撑所述负载。 起重臂包括从控制室的顶部到底部的端部安装的粗线(140),以调节底部的上下角度和安装在底部下方的线支撑部分(150) 繁荣的尽头。 起吊线(170)通过线支撑部连接到吊具,以控制吊具的运动,从而确保稳定的运输。
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公开(公告)号:KR101112128B1
公开(公告)日:2012-03-13
申请号:KR1020090107398
申请日:2009-11-09
Abstract: 본 발명은 크레인의 와이어 지지장치에 관한 것으로서, 스프레더에 의하여 중량물을 이동시키도록 회동되는 붐(boom)과, 붐의 일측에 설치되어 붐의 회동을 조정하는 조정실과, 조정실의 하부에 설치되어 하중을 지지하게 되는 포탈부를 포함하며, 붐의 상하 유동 각도를 조절하도록 조정실의 상단부로부터 붐의 단부측에 설치되는 러핑와이어와, 붐의 단부측 하방에 설치되는 와이어지지부와, 스프레더의 유동을 조절하여 이동이 안정적으로 이루어지도록 조정실로부터 와이어지지부를 관통하여 스프레더에 연결되는 권상와이어를 포함한다. 따라서 본 발명에 의하면 붐의 전 영역 움직임이 가능하여 생산성을 향상시킬 수 있으며, 한 쌍씩의 4줄로 이루어지는 권상와이어와 기둥부재 및 지지플레이트의 와이어지지부를 구성함으로써, 권상와이어를 통하여 스프레더가 바람의 영향에도 흔들림 없이 승하강 이동이 원활히 이루어질 수 있는 효과를 가진다.
크레인, 스프레더, 와이어, 붐, 안정
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