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    화학적 기상 증착 공정의 오염물질 제거 장치
    11.
    发明公开
    화학적 기상 증착 공정의 오염물질 제거 장치 有权
    用于去除化学蒸气沉积的污染物的装置

    公开(公告)号：KR1020160148746A

    公开(公告)日：2016-12-27

    申请号：KR1020150084873

    申请日：2015-06-16

    Applicant: 한국기계연구원

    Inventor： 김용진 ,  김학준 ,  한방우 ,  우창규

    IPC: C23C16/44 ,  C23C16/56 ,  B03C3/02 ,  C23C16/50 ,  C23C16/511 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  C23C16/24

    Abstract: 본발명은배기가스처리장치에관한것으로서, 화학적기상증착공정시발생하여하전되는오염물질의제거장치에있어서, 화학적기상증착공정이수행되며일영역에제1관통공이형성되는챔버; 및상기제1관통공을통하여상기챔버내부로삽입되며, 전압을인가시상기오염물질이집진되는집진봉;을포함하는것을특징으로한다. 이를통해, 전기적집진을통하여화학적기상증착공정중 하전되는오염물질을제거할수 있는화학적기상증착공정의오염물질제거장치를제공함에있다.

    나노 입자 성장장치 및 나노 입자 성장방법
    12.
    发明授权
    나노 입자 성장장치 및 나노 입자 성장방법 有权
    用于生长纳米颗粒和用于生长纳米颗粒的装置的规定

    公开(公告)号：KR101605252B1

    公开(公告)日：2016-03-22

    申请号：KR1020140094977

    申请日：2014-07-25

    Applicant: 한국기계연구원

    Inventor： 한방우 ,  김학준 ,  우창규 ,  김용진 ,  김한석

    IPC: B82B3/00 ,  B01J8/42

    Abstract: 본발명은나노입자를고효율로성장시킬수 있는나노입자성장장치및 나노입자성장방법에관한것으로, 나노입자를제공받으며, 내부에서상기나노입자와증기화된용매를혼합시켜입자-용매혼합물을형성하는용매혼합부; 상기용매혼합부로부터입자-용매혼합물을제공받으며, 상기입자-용매혼합물을냉각시켜응축시키는냉각부; 상기냉각부로부터상기응축된입자-용매혼합물의일부를제공받아양극또는음극중 어느하나의극성으로대전시키는제1 대전부; 상기냉각부로부터상기제1 대전부측으로제공되지않은상기응축된입자-용매혼합물을제공받아양극또는음극중 다른하나의극성으로대전시키는제2 대전부; 상기제1 대전부및 상기제2 대전부로부터각각상기양극또는음극으로대전된입자-용매혼합물을제공받으며, 상기양극또는음극으로대전된입자-용매혼합물을전기적인력에의해결합시켜성장시키는혼합부;를포함하는나노입자성장장치가제공된다.

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