기판반송장치 및 그를 이용한 방법
    11.
    发明授权
    기판반송장치 및 그를 이용한 방법 失效
    基板传送装置及使用其的方法

    公开(公告)号:KR100704177B1

    公开(公告)日:2007-04-06

    申请号:KR1020050005765

    申请日:2005-01-21

    Inventor: 공재연 천풍환

    Abstract: 본 발명은 이동 가능하게 설치되는 핸들러에 의해 기판(105)을 반송하여, 카세트(101) 내측 벽면과 기판(105)의 간격을 보정하여 안착하기 위하여 기판(105)을 패턴이 형성된 면이나 그 뒷면에 접근하여 그 기판(105)을 원하는 방향으로 이동시키기 위한 기판반송장치에 있어서, 상기 기판(105)은 로보트 핸드(115) 위에서 기판(105)의 중심부에 작용하는 무게중심과 복수개의 베르누이척군(300)의 전체 부압 형성 영역의 중심과 중첩되도록 구성하게 위하여 기판(105)면과 수직이 아닌 일정한 각도를 가진 기판(105) 홀딩암을 포함하는 것을 특징으로 한다.
    기판반송, 기판

    Abstract translation: 通过可移动安装的处理器输送基板105以校正盒101的内侧壁表面和基板105之间的距离并将基板105安装在图案化表面上, 其中基板105具有作用在机械手115上的基板105的中心的重心和多个伯努利卡盘 (105)保持不与衬底(105)的表面垂直的臂,以便与衬底(105)的整个负压形成区域的中心重叠。

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