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公开(公告)号：KR101382489B1
公开(公告)日：2014-04-07
申请号：KR1020120055172
申请日：2012-05-24
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 롤금형에 일정한 패턴이 형성되도록 가공하는 선반에 있어서, 한 쌍의 지지대를 포함하여 구성되며 상기 지지대가 소정거리 이격되어 배치되는 몸체, 한 쌍으로 구성되어 서로 대향하도록 배치되어 각각이 서로 동일한 회전축을 가지도록 상기 몸체와 회전 가능하게 결합되며, 적어도 세 개 이상으로 둘레를 따라 소정거리 이격되어 배치되고 회전축과 교차되는 방향으로 슬라이딩하여 상기 롤금형의 회전축 방향에 따른 양측 끝단부를 고정하는 파지수단을 가지는 척킹유닛, 상기 지지대 각각에서 상기 척킹유닛에 인접한 위치에서 형성되는 제 1가이드 및 상기 척킹유닛상에서 상기 제 1가이드에 대응하도록 형성되는 제 2가이드를 포함하며, 상기 제 1가이드를 기준으로 하여 상기 제 2가이드의 위치조절을 통해 각각의 상기 척킹유닛이 회전에 대하여 동일한 기준위치를 가지도록 하는 설정가이드 및 상기 롤금형과 소정거리 이격되어 배치되며 일측이 상기 롤금형 방향으로 돌출되어 표면에 선택적으로 접촉하여 상기 롤금형의 외주면에 패턴을 형성하는 절삭수단을 포함하는 설정가이드를 구비한 선반이 개시된다.
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公开(公告)号：KR1020130131549A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：KR1020120055172
申请日：2012-05-24
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: The present invention relates to a lathe which processes to form consistent patterns on a roll mold. The lathe having a setting guide comprises a body which includes a pair of supports separated from each other at a fixed interval; a pair of chucking units which are placed to face each other, are combined with the body to be able to rotate in order to have the same rotating shaft, and have three or more grasping units that are placed at fixed intervals along the circumference and slide in a crossing direction to the rotating shaft in order fixate both ends in the rotating shaft direction of the roll mold; a setting guide which includes a first guide formed at an adjacent position to the chucking unit on each support and a second guide formed to correspond to the first guide on the chucking unit, and makes each chucking unit have the same reference position for rotation by regulating the position of the second guide based on the first guide; and a cutting unit which is placed by being separated at a fixed interval from the roll mold, and whose one side protrudes toward the roll mold and is in contact with the surface in order to form patterns on the outer circumference of the roll mold.
Abstract translation: 本发明涉及一种在辊模上形成一致图案的车床。 具有设置引导件的车床包括：主体，其包括以固定间隔彼此分离的一对支撑件; 一对彼此相对放置的夹紧单元与本体组合以能够旋转以具有相同的旋转轴，并且具有三个或更多个沿着圆周以固定间隔放置的夹持单元，并且滑动 沿着与所述旋转轴的交叉方向，以使所述辊模的旋转轴方向上的两端固定; 设置引导件，其包括形成在每个支撑件上的夹紧单元的相邻位置处的第一引导件和形成为对应于夹紧单元上的第一引导件的第二引导件，并且使每个夹紧单元具有相同的参考位置以通过调节 基于第一引导件的第二引导件的位置; 以及切割单元，其通过以与辊模具固定的间隔分开放置，并且其一侧朝向辊模具突出并与表面接触，以便在辊模的外周上形成图案。
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公开(公告)号：KR101180833B1
公开(公告)日：2012-09-10
申请号：KR1020100045639
申请日：2010-05-14
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: G01N21/958 , G01N21/3563 , G01N21/88
Abstract: 본 발명은 광원으로서 종래의 할로겐 램프 대신 엘이디를 사용하여 저전력 및 저발열과 균일한 조사를 실현한 엘이디를 이용한 적외선 검사장치에 관한 것으로서, 빛을 발광하는 복수개의 엘이디가 배열된 광원기판, 상기 광원기판이 수용되는 공간을 형성하고, 일면에 상기 광원기판으로부터 방출되는 빛이 통과되는 개구부가 형성되며, 내측면에 상기 개구부를 향하여 경사지지게 이루어져 상기 광원기판으로부터 방출된 빛이 반사되면서 상기 개구부로 집속되어 개구부가 형성된 면에 놓여진 검사 대상물을 균일하게 비추도록 경면처리된 반사면이 형성된 하우징, 상기 광원기판으로부터 방출되어 상기 하우징의 개구부가 형성된 면에 놓여진 검사 대상물을 투과한 적외선 영역의 파장을 촬영하는 카메라를 포함하여 이루어져, 상기 검사 대상물을 통과한 적외선으로서, 검사 대상물 내부의 결함을 검사하는 엘이디를 이용한 적외선 검사장치가 제공되며, 광원으로서 발열량이 큰 할로겐 램프 대신 발열량이 적은 엘이디를 광원으로 적용함으로써 발열량이 줄어들어 작업자가 화상을 입을 위험이 줄어듦과 동시에 검사 대상물이 가열되는 현상이 최소화 되므로 검사 대상물의 열변형 가능성을 최소화 시키며, 검사 대상물을 보다 균일하고 강하게 비출 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR101123631B1
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：KR1020100045670
申请日：2010-05-14
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: H01J37/067
Abstract: 본 전자빔의 팁과 렌즈의 정렬 및 렌즈와 렌즈의 정렬을 보다 용이하고 정확하게 이룰 수 있는 전자빔 방출장치의 전자빔 팁과 렌즈 또는 렌즈와 렌즈간의 정렬구조 및 정렬방법에 관한 것으로서, 전자빔을 방출하는 전자빔 팁 및 복수개의 집속렌즈군으로 이루어지는 전자빔 방출장치에서, 전자빔 팁 또는 각 집속렌즈군으로부터 외측으로 수평 연장되며 끝단에 정렬도트가 형성된 연장부와 상기 전자빔 팁 또는 집속렌즈군의 연직 상부에 위치되어 상기 전자빔 팁과 집속렌즈군의 연장부 또는 집속렌즈군과 집속렌즈군의 연장부를 촬영하는 비젼 카메라 및 상기 비젼 카메라에서 촬영한 영상을 바탕으로 상기 전자빔과 집속렌즈군 또는 집속렌즈군과 집속렌즈군의 서로 대응되는 연장부의 정렬 도트의 벡터량을 측정하여 상호 정렬위치로부터 이격된 수평 변위량을 계산하는 제어부를 포함하여 이루어지는 전자빔 방출장치와 전자빔 팁과 렌즈 또는 렌즈와 렌즈간의 정렬구조가 제공된다.
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公开(公告)号：KR101048341B1
公开(公告)日：2011-07-14
申请号：KR1020100045642
申请日：2010-05-14
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: PURPOSE: A lens for an electron beam and a manufacturing method thereof are provided to minimize aberration reduction by freely controlling the thickness of a lens electrode unit. CONSTITUTION: Electrode units(100) made of second materials with conductivity are bonded by adding boron to one side of an insulation unit made of first materials. The outer surfaces of the electrode units and the outer surfaces of an insulation unit(200) except for the center are masked. The center of the insulation unit is etched from the non-masked part of the insulation layer to the junction area of the electrode unit.
Abstract translation: 目的：提供一种用于电子束的透镜及其制造方法，以通过自由地控制透镜电极单元的厚度来最小化像差减小。 构成：由具有导电性的第二材料制成的电极单元（100）通过将硼添加到由第一材料制成的绝缘单元的一侧而结合。 除了中心之外，电极单元的外表面和绝缘单元（200）的外表面被掩蔽。 绝缘单元的中心从绝缘层的非掩模部分蚀刻到电极单元的接合区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020080083723A
公开(公告)日：2008-09-19
申请号：KR1020060132204
申请日：2006-12-21
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: G06Q10/101 , G06Q50/04
Abstract: A system and a method for collaborating online production are provided to manage the restricted resources for a mold manufacturing process efficiently by supporting an e-manufacturing process through combination of IT(Information Technology)-based online and offline collaborative business models, and progress development and quality quickly by reducing burden owing to an error of the mold manufacturing process. A user layer(12) forms mold manufacturing collaboration information for manufacturing and processing companies, and an application layer(14) manages a collaboration project and a mold manufacturing process of the user layer. A database layer(16) includes information related to the collaboration project. A network layer(18) performs mold manufacturing collaboration by organizing a collaboration network. The database layer includes user authentication and project key values, and various kinds of result generated during the collaboration project, applies the results to other projects, and stores the information for selecting the manufacturing and processing companies related to the collaboration project.
Abstract translation: 提供了一种用于协作在线制作的系统和方法，通过结合基于IT（信息技术）的在线和离线协作业务模型以及进度开发和支持电子制造流程，有效地管理模具制造过程的有限资源 由于模具制造过程的错误，减轻了负担，从而迅速地实现质量。 用户层（12）形成用于制造和处理公司的模具制造协作信息，以及应用层（14）管理用户层的协作项目和模具制造过程。 数据库层（16）包括与协作项目相关的信息。 网络层（18）通过组织协作网络来执行模具制造协作。 数据库层包括用户认证和项目关键值，以及在协作项目中生成的各种结果，将结果应用于其他项目，并存储用于选择与协作项目相关的制造和加工公司的信息。
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公开(公告)号：KR100769846B1
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：KR1020060090366
申请日：2006-09-19
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: G11B7/26
Abstract: A method for reducing the size of burr generated when processing FIB(focused ion beam) of a master disk for a mold for manufacturing an optical disk is provided to increase capacitance of the optical disk by removing the burr and a metallic thin film layer through a developing process. A master disk(20) is manufactured by using FIB(focused ion beam). A coating layer(11) is formed by spin-coating a photoresist on a silicon wafer(10). A metallic thin film layer(12) is formed on the coating layer through a sputtering process. The FIB is irradiated on the silicon wafer at an inclined angle to form each pattern. After processing the pattern, the burr and the metallic thin film layer are removed through a developing process. The metallic thin film layer is made of one of Ni, Cu, and Cr. The FIB uses Ga+ as a source.
Abstract translation: 提供一种用于减少在制造光盘的模具的母盘处理FIB（聚焦离子束）时产生的毛刺大小的方法，以通过除去毛刺和金属薄膜层来增加光盘的电容 开发过程。 通过使用FIB（聚焦离子束）制造母盘（20）。 通过在硅晶片（10）上旋涂光致抗蚀剂来形成涂层（11）。 通过溅射工艺在涂层上形成金属薄膜层（12）。 FIB以倾斜角度照射在硅晶片上以形成每个图案。 在处理图案之后，通过显影过程除去毛刺和金属薄膜层。 金属薄膜层由Ni，Cu和Cr中的一种制成。 FIB使用Ga +作为源。
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公开(公告)号：KR100663939B1
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：KR1020060017861
申请日：2006-02-23
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: B82B3/0028 , B82B3/0076 , B82Y99/00
Abstract: A nano-stage having a wide range of displacement for processing ultrafine or high precision optical parts is provided to accurately determine position of microfine displacement on all area of the stage and to embody higher resolution of precision or optical products using FIB(focused ion beam) by using a motion controller for feed-back control of a driving motor and a piezo-actuator of the nano-stage. The nano-stage generally includes: a platform(100) to fix a subject to be processed or measured thereon; X-axis driving part(200) that has X-axis piezo-actuator fixed to X-axis slider given on X-axis ball screw driven by X-axis driving motor; Y-axis driving part(300) that has Y-axis piezo-actuator fixed to Y-axis slider given on Y-axis ball screw driven by Y-axis driving motor; position detection parts that are formed on the X-axis driving part and the Y-axis driving part, respectively, in order to detect displacement amount of the platform to each of the X-axis and Y-axis; and a motion controller that feedback controls all of the X-axis driving motor, the X-axis piezo-actuator, the Y-axis driving motor and the Y-axis piezo-actuator based on the detected displacement amount.
Abstract translation: 提供用于处理超细或高精度光学部件的宽范围位移的纳米级，以准确确定舞台所有区域的微细位移位置，并使用FIB（聚焦离子束）实现更高分辨率的精度或光学产品， 通过使用用于驱动电机和纳米级的压电致动器的反馈控制的运动控制器。 纳米级通常包括：平台（100），用于固定待处理或测量的对象; 具有由X轴驱动电机驱动的X轴滚珠丝杠上的X轴滑块固定于X轴滑块的X轴驱动部（200） 具有由Y轴驱动电动机驱动的Y轴滚珠丝杠上的Y轴滑块固定的Y轴压电致动器的Y轴驱动部（300） 分别形成在X轴驱动部和Y轴驱动部上的位置检测部，以便检测平台对X轴和Y轴各自的位移量; 以及运动控制器，其基于检测到的位移量反馈控制所有X轴驱动电动机，X轴压电致动器，Y轴驱动电动机和Y轴压电致动器。
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公开(公告)号：KR1020160132271A
公开(公告)日：2016-11-17
申请号：KR1020150064654
申请日：2015-05-08
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본발명의일측면에따르면, 전자빔을방출하는캐소드, 상기캐소드로부터타측으로이격되어위치되며, 상기캐소드로부터방출된전자빔를가속하는애노드, 대기압보다낮고일정한압력이인가되며가스가내부에투입되어플라즈마환경이형성되고, 상기캐소드와상기애노드가내부에구비되어전자빔이가속되는공간을형성하는저압하우징, 상기저압하우징과연통되고상기저압하우징에인가된압력보다높고일정한압력이인가되며, 전자빔이대기로방출되는방출구가형성된고압하우징및 상기저압하우징및 상기고압하우징이일측에장착되고이동가능한이동모듈을포함하며, 상기이동모듈에의해상기저압하우징및 상기고압하우징이이동함에따라, 방출되는전자빔이피처리물의외면을표면처리하는대기용전자빔표면처리장치가개시된다.
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