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公开(公告)号:KR102075627B1
公开(公告)日:2020-02-11
申请号:KR1020180071203
申请日:2018-06-21
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: B01D69/10 , B01D71/02 , B01D53/22 , C01B3/50 , H01M8/0668 , H01M8/0662 , H01M8/1018
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公开(公告)号:KR1020160116191A
公开(公告)日:2016-10-07
申请号:KR1020150042628
申请日:2015-03-26
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L21/02
Abstract: 본발명은하나의반응기에서과불화화합물의가수분해반응및 HF 흡착제에의한 HF 제거반응이함께수행되는과불화화합물처리용장치및 방법에관한것이다. 본발명에따른과불화화합물(Perfluoro compounds : PFCs) 처리용반응기및 방법은, 과불화화합물의가수분해반응과, 상기가수분해반응으로부터형성되는 HF로부터불화칼슘(CaF)을형성시키는반응을하나의반응기내에서수행함으로써, 반응기내에서불화칼슘(CaF)을형성시키는반응을통해 HF가소비됨에따라르샤틀리에법칙에의해, 상기가수분해의정반응이우세하게되어과불화화합물의가수분해반응효율이향상되면서자원으로서유용한불화칼슘을형성할수 있다.
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