Abstract:
본 발명은 분리막 모듈 및 이를 포함하는 불화가스 분리장치에 관한 것으로, 상세하게는 투과구 및 배출구를 포함하는 중공사막(hollow fiber membrane) 분리막 모듈에 있어서, 다공성 격막을 내부에 포함하여 상기 격막에 의해 분리막 모듈 내부가 복수개의 구획으로 구분되되, 구분된 복수개의 구획들은 격막의 기공에 의해 동일한 압력을 나타내고, 상기 다공성 격막의 기공으로부터 나온 투과기체가 모듈의 투과구를 통하여 배출되도록 구성된 것을 특징으로 하는 분리막 모듈을 제공한다. 본 발명에 따른 분리막 모듈 및 이를 포함하는 불화가스 분리장치는 감압에 의해 분리가 수행될 기체를 분리막 모듈로 유입시키는 경우, 분리막 모듈 내부의 압력을 고르게 유지하여 분리막 모듈 내부에서 발생할 수 있는 압력차이를 최소화할 수 있다. 이에 따라, 감압에 의해 불화가스를 분리 시 높은 효율로 불화가스를 분리할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 불화가스 분리 및 회수장치, 및 이를 이용한 불화가스 분리 및 회수방법에 관한 것으로, 상세하게는 불화가스 분리장치 및 불화가스 회수장치를 포함하는 불화가스 분리 및 회수장치에 있어서, 상기 불화가스 분리장치는 상기 불화가스를 포함하는 혼합가스가 공급되는 가스공급부; 상기 가스공급부로부터 혼합가스가 주입되는 주입구, 불화가스가 분리되는 분리막, 상기 분리막에서 불화가스가 분리된 비불화가스가 배출되는 투과구 및 상기 분리막에서 분리된 불화가스가 배출되는 배출구를 구비하여 혼합가스로부터 불화가스를 분리하는 분리막 모듈이 하나 또는 그 이상 구비된 분리부; 상기 분리막 모듈의 배출구와 연결되되, 상기 분리막 모듈로부터 배출되는 불화가스의 유량을 제어하는 배출량 제어부; 및 상기 분리막 모듈의 투과구와 연결되되, 상기 분리막 모듈로부터 비불화가스가 투과되는 구동력을 제공하는 감압펌프를 포함하고, 상기 불화가스 회수장치는 상기 분리장치의 투과구로부터 배출되는 혼합가스를 공급하는 공급부; 상기 가스공급부로부터 혼합가스가 주입되어 불화가스가 흡착되는 불화가스 흡착칼럼이 하나 또는 그 이상 병렬 연결된 흡착부; 상기 흡착부와 연결되어 흡착된 불화가스를 회수하는 감압펌프를 포함하는 불화가스 분리 및 회수장치를 제공한다.
Abstract:
The present invention relates to an apparatus for separating and enriching fluorinated gas and a method for separating and enriching fluorinated gas using the same and more particularly, to an apparatus for separating and enriching fluorinated gas, including an apparatus for recovering fluorinated gas and an apparatus for separating fluorinated gas, wherein the apparatus for recovering fluorinated gas comprises a gas supply part for supplying mixed gas including fluorinated gas; an adsorption part having one or more fluorinated gas adsorption columns connected in parallel to adsorb fluorinated gas as the mixed gas is injected from the gas supply part; a vacuum pump connected to the adsorption part to recover the adsorbed fluorinated gas; and a storage tank for storing the fluorinated gas recovered by the vacuum pump, and wherein the apparatus for separating fluorinated gas comprises a raw material supply part including the storage tank of the apparatus for recovering fluorinated gas; a separation part including one or more separation modules including an inlet for injecting the mixed gas from the raw material supply part, a separation membrane for separating the fluorinated gas, a transmission hole for discharging non-fluorinated gas separated from the fluorinated gas by the separation membrane, and an outlet for discharging the fluorinated gas separated by the separation membrane so as to separate fluorinated gas from the mixed gas; and a discharge quantity control part connected to the outlet of the separation part and controlling the flow rate of the fluorinated gas being discharged from the separation part. The apparatus for separating and enriching fluorinated gas according to the present invention can separate low-pressure fluorinated gas being discharged as process waste gas without using a pressurizing device more efficiently than an existing pressurizing method. [Reference numerals] (AA) Mass flow controller
Abstract:
본발명은하우징; 상기하우징내에장착된중공사분리막; 및상기중공사분리막을구성하는중공사분리막외측과상기하우징내측에의해정의되는흡수제충진공간;을포함하는흡수모듈; 상기흡수모듈의흡수제충진공간으로흡수제를공급하기위한흡수제공급부; 상기흡수모듈의중공사분리막의중공사내부로바이오가스를공급하기위한바이오가스공급부; 및상기흡수모듈후단에장착되어흡수모듈을통과한바이오가스가공급되며, 기체분리막을포함하는분리막모듈;을포함하는바이오가스정제장치를제공한다. 본발명에따른바이오가스로정제장치는제습을하기위한추가적인장치없이고순도의메탄을생산할수 있으며, 특히기체분리막을포함하는분리막모듈을통하여불순물인이산화탄소가제거되고, 높은수준으로수분을제거할수 있는효과를동시에얻을수 있다. 또한, 본발명에따른정제장치및 정제방법은추가적인제습이필요하지않기때문에, 별도로흡착제또는냉각기로제습을수행하는종래기술보다에너지효율이높아운영비를절감시킬수 있다.
Abstract:
A purpose of the present invention is to provide a device for enriching and recovering the fluorinated gas using a separating membrane, and a method to enrich and recover fluorinated gas using the device. The device for enriching the fluorinated gas comprises a gas supplying unit which supplies mixed gas including fluorinated gas; an enriching unit which has one or more separating membrane modules separating the fluorinated gas from the mixed gas by having an inlet through which mixed gas is injected from the supplying unit, the separating membrane separating the fluorinated gas, a penetration hole through which non-fluorinated gas separated from the fluorinated gas by the separating membrane is discharged, and an outlet through which the fluorinated gas is discharged; a decompression pump providing driving power which penetrates the non-fluorinated gas from the separating membrane module, but the pump is connected with the penetration hole of the separating membrane module; and a discharging flux control unit connected with the outlet of the separating membrane module and controlling the flux of the fluorinated gas discharged from the separating membrane module. The device for recovering the fluorinated gas comprises a separating membrane module in the same structure as that of the device for enriching the fluorinated gas. According to the present invention, the fluorinated gas can be enriched and recovered efficiently by recovering lost fluorinated gas through the recovering device. [Reference numerals] (200) Enriching section; (400) Recovering section; (AA) Mass flow controller; (BB) Vacuum pump