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公开(公告)号:KR101726042B1
公开(公告)日:2017-04-27
申请号:KR1020150058294
申请日:2015-04-24
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H01L29/786
Abstract: 박막의제조방법이제공된다. 기판을준비하는단계, 상기기판상에인듐(In) 및주석(Sn)의산화물을포함하는박막을형성하는단계, 및UV 조사및 오존(O) 처리를하는동시에열처리를수행하는것을포함하는후처리공정을, 상기박막에수행하여, 상기박막의이동도를증가시키는단계를포함한다.
Abstract translation: 提供了一种制造薄膜的方法。 包括以下工序:准备基板的工序;在上述基板上形成含有铟(In)和锡(Sn)的氧化物的薄膜的工序;在进行紫外线照射和臭氧(O)的同时进行热处理的工序; 并且对薄膜执行处理过程以增加薄膜的移动性。
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公开(公告)号:KR1020160118396A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:KR1020150045866
申请日:2015-04-01
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H01L29/786 , H01L21/314 , H01L21/02
Abstract: 아연산질화물을포함하는박막의제조방법이설명된다. 상기박막의제조방법은, 챔버내에기판, 및아연을포함하는소스를준비하는단계, 및상기챔버내에, 산소가스및 질소가스를제공하여, 상기기판상에아연산질화물(Zinc oxynitride)을포함하는박막을형성하는단계를포함하되, 상기산소가스및 상기질소가스의합에대한상기산소가스의비율은, 0.0147보다크고, 0.0566보다작을수 있다.
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公开(公告)号:KR1020160039919A
公开(公告)日:2016-04-12
申请号:KR1020140133229
申请日:2014-10-02
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H02N2/18
CPC classification number: H02N2/18 , E01F11/00 , H01L41/113 , H01L41/193
Abstract: 일실시예에따른도로용압전에너지하베스팅시스템은, 도로상에배치된프레임및 일단이상기프레임상에부착되어, 도로위 바람에너지에의해변형될수 있는압전소자를포함하고, 상기압전소자로부터전기에너지를수확할수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例,一种用于道路的压电能量收集系统包括:布置在道路上的框架; 以及一个压电元件,其一端安装在框架上,以便由道路上的风能改变,从而从压电元件收获电能。
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公开(公告)号:KR1020160004887A
公开(公告)日:2016-01-13
申请号:KR1020140172161
申请日:2014-12-03
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H02N2/18
Abstract: 본발명의실시예에따른진동이용압전하베스팅시스템은, 이동수단의진동발생부분에고정되어외부로부터가해지는진동에의해전기에너지를생성하는압전소자; 압전소자에연결되어전기에너지를저장하는정류부; 및정류부에저장된전기에너지를휴대용기기또는이동수단에구비되는전기사용장치의전력으로공급하는전력공급부;를포함할수 있다. 본발명의실시예에따르면, 열차와같은이동수단의진동발생부분에고정되는압전소자가이동수단의운행에의해진동되어전기에너지를발생시킬수 있으며, 발생된전기에너지를통해휴대용기기와같은전기사용기기를실시간으로사용하거나충전시킬수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用振动的压电收集系统。 根据本发明的实施例,压电收集系统包括:压电装置,其通过固定到运输单元的振动产生部分,利用从外部施加的振动来产生电能; 整流单元,连接到压电装置并存储电能; 以及供电单元,其将存储在整流单元中的电能提供给安装在便携式设备或运输单元中的使用电的设备。 根据本发明的实施例,压电收集系统可以产生电能,因为固定到诸如列车的运输单元的振动产生部分的压电装置通过运输单元的操作而振动。 此外,压电收集系统可以使用诸如具有产生的电能的便携式装置的电力对装置进行充电。
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公开(公告)号:KR101565655B1
公开(公告)日:2015-11-04
申请号:KR1020130135819
申请日:2013-11-08
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H02N2/18
Abstract: 본발명의실시예에따른압전발전장치는, 공기의흐름에의한외력에노출되고진동할수 있는공기저항부; 및공기저항부와터널벽 및각종고정기반요소사이를연결해줄수 있으며, 자체적인탄성력을가지고있는공기저항부고정부; 및용도에따라저장장치, 정류장치, 부하장치등을단독혹은혼합하여구성할수 있는적용부;를포함할수 있다
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公开(公告)号:KR102214773B1
公开(公告)日:2021-02-10
申请号:KR1020190056382
申请日:2019-05-14
Applicant: 한양대학교 산학협력단
Abstract: 지문센서가제공된다. 상기지문센서는기판상에배치되는게이트, 상기게이트를덮는게이트절연막, 상기게이트절연막상에배치되는활성막, 상기게이트절연막상에배치되고, 상기활성막의일측과접촉되는소스전극(Source electrode), 및상기활성막의타측과접촉되는드레인전극(Drain electrode), 상기활성막, 상기소스전극, 및상기드레인전극을덮는보호막, 상기보호막상에배치되는센싱전극, 및상기보호막을관통하는컨택홀을채우고, 상기센싱전극및 상기소스전극을연결하는컨택플러그를포함할수 있다.
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17.아연 및 질소의 화합물을 포함하는 박막, 그 제조 방법, 및 이를 포함하는 박막 트랜지스터 审中-实审
Title translation: 包含锌和氮的化合物的薄膜,其制造方法以及包含其的薄膜晶体管公开(公告)号:KR1020170126809A
公开(公告)日:2017-11-20
申请号:KR1020170058052
申请日:2017-05-10
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H01L21/02 , H01L21/324 , H01L29/786
Abstract: 아연(Zn) 및질소(N)의화합물을포함하는베이스박막(base thin film)을준비하는단계, 및상기베이스박막상에 UV 조사및 오존(O) 처리를하는동시에열처리를수행하는것을포함하는후처리공정을수행하여상기베이스박막의전도성(conductivity)을감소시키는단계를포함하는박막의제조방법이제공될수 있다.
Abstract translation: 制备包含锌(Zn)和氮(N)的化合物的基底薄膜,并且在基底薄膜上同时进行UV照射和臭氧(O)处理的热处理 并且执行后处理过程以降低基础薄膜的导电性。
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公开(公告)号:KR101727411B1
公开(公告)日:2017-04-26
申请号:KR1020150166905
申请日:2015-11-27
Applicant: 한양대학교 산학협력단
Abstract: 압전소자를이용하는하베스팅장치및 이를포함하는무선스위치가개시된다. 개시된에너지하베스팅장치는제1압전소자를포함하는제1플레이트; 일측이상기제1플레이트의일측과연결되며, 제2압전소자를포함하는제2플레이트; 및상기제1플레이트의제1면및 상기제1면과마주보는상기제2플레이트의제2면에연결되는탄성체를포함한다.
Abstract translation: 公开了使用压电元件的悬停装置和包括悬停装置的无线开关。 所公开的能量收集设备包括:第一板,其包括第一压电元件; 连接到一个或多个基板1的一侧并包括第二压电元件的第二板; 并且弹性体连接到第一板的第一表面和第二板的第二表面,面向第一表面。
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公开(公告)号:KR101722326B1
公开(公告)日:2017-03-31
申请号:KR1020150130773
申请日:2015-09-16
Applicant: 한양대학교 산학협력단
Abstract: 일실시예에따른단위모듈형압전에너지하베스터는, 챔버, 상기챔버의일면에구비되고가해지는외력에의해회전될수 있는변환부재, 상기변환부재하단에구비되어상기변환부재와함께회전하는타격부재, 상기일면을기준으로상기챔버내의측면에구비되어일단이상기측면에고정되고타단은상기타격부재에의해타격될수 있는변형플레이트및 상기변형플레이트의적어도일면에부착되어진동에너지를전기에너지를변환시킬수 있는압전소자를포함할수 있다.
Abstract translation: 单元模块型的压电能量采集了根据一个实施方式中,在腔室中被提供,其可以被设置在所述腔室的一个表面上的转换,通过成为外力构件转动,并且转换构件撞击部件与所述偏转构件一起旋转下, 基于被设置在所述腔室一旦固定到侧表面和另一端上的移相器的一侧的表面被附接到一个变形板和变形板,其可以通过敲击部件压电在sikilsu被击中的至少一个表面将电能转换的振动能量 它可以包含的元素。
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公开(公告)号:KR101636146B1
公开(公告)日:2016-07-07
申请号:KR1020140122957
申请日:2014-09-16
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H01L29/786 , H01L21/336
CPC classification number: H01L29/78606 , H01L29/66969 , H01L29/7869 , H01L29/78696
Abstract: 박막트랜지스터가제공된다. 상기박막트랜지스터는, 기판, 상기기판상에배치되고, 질화물(nitride)을포함하는활성패턴(active pattern), 상기활성패턴상에배치되고, 비질화물(non nitride)을포함하는보호패턴, 상기활성패턴과중첩된게이트전극, 및상기게이트전극및 상기활성패턴사이의게이트절연막을포함한다.
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