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    13.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号：FR2917731B1

    公开(公告)日：2009-10-23

    申请号：FR0755992

    申请日：2007-06-25

    Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

    Inventor： ROBERT PHILIPPE

    IPC: B81B3/00 ,  G01C19/56 ,  G01P15/08

    Abstract: The device has an excitation unit i.e. excitation electrode (14), exciting a beam type resonator (10). A detection unit comprises a suspended beam type strain gauge (11) made of piezo-resistive material, where the strain gauge includes a common plane with the resonator. The beam type strain gauge is connected to the resonator at a point that is situated outside of embedded portions (12, 13) to increase the stress observed by the beam type strain gauge. The beam type strain gauge comprises two parallel arms, where the resistive gauge is a silicon nanowire.

    14.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号：DE602004008331T2

    公开(公告)日：2008-05-08

    申请号：DE602004008331

    申请日：2004-12-14

    Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

    Inventor： ROBERT PHILIPPE

    IPC: B81B7/00 ,  G01P1/02 ,  H01L21/54 ,  H01L21/56 ,  H01L23/10

    Abstract: The micro-component has a hermetic micro-cavity (6) delimited by a cover comprising two layers (4, 7). A third layer (9) is disposed between the layers (4, 7). An additional micro-cavity (11) communicating with an opening in the layer (7) is disposed between the layers (4, 7). An additional opening adjacent to the cavity (11) is formed in the layer (9), offcentered with respect to an opening (5) and delimited by the layer (7). An independent claim is also included for a process of fabricating a hermetic micro-cavity of a micro-component.

    ACCELEROMETRE A POUTRE RESONANTE AVEC BRAS DE LEVIER ARTICULE EN ROTATION
    15.
    发明专利
    ACCELEROMETRE A POUTRE RESONANTE AVEC BRAS DE LEVIER ARTICULE EN ROTATION 未知

    公开(公告)号：FR2906038A1

    公开(公告)日：2008-03-21

    申请号：FR0608186

    申请日：2006-09-19

    Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

    Inventor： HENTZ SEBASTIEN ,  NGUYEN VALERIE ,  ROBERT PHILIPPE

    IPC: G01P15/02

    Abstract: L'invention concerne un accéléromètre micro-usiné utilisant une masse sismique mobile (10) suspendue par rapport au substrat par des liaisons élastiques (12, 14) autorisant seulement une translation dans son propre plan selon un axe sensible (Oy); la masse agit sur au moins un résonateur allongé (20), par l'intermédiaire d'une structure d'amplification d'effort associée à ce résonateur ; la structure d'amplification comporte un bras de levier rigide (30) dont une première extrémité (32) est reliée à la masse sismique par une liaison (36) ayant, dans le plan de la masse, une forte raideur dans la direction de l'axe sensible (Oy) et une faible raideur dans le sens perpendiculaire, et une deuxième extrémité é (34) est reliée à un point (A6) d'ancrage sur le substrat. La deuxième extrémité (32) du bras de levier est une pièce de tête rigide entourant le point d'ancrage (A6) et reliée à ce point d'ancrage par une liaison en rotation (38, 40) autour d'un centre de rotation (M) ; le résonateur a une extrémité fixée à la pièce de tête rigide en un point (B) tel que l'axe longitudinal du résonateur passe à une distance h, faible par rapport à la longueur L du bras de levier mais non nulle, du centre de rotation (M) de la liaison en rotation.

    ENCAPSULATION DANS UNE CAVITE HERMETIQUE D'UN COMPOSE MICROELECTRONIQUE, NOTAMMENT D'UN MEMS
    17.
    发明专利
    ENCAPSULATION DANS UNE CAVITE HERMETIQUE D'UN COMPOSE MICROELECTRONIQUE, NOTAMMENT D'UN MEMS 未知

    公开(公告)号：FR2898597A1

    公开(公告)日：2007-09-21

    申请号：FR0650902

    申请日：2006-03-16

    Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

    Inventor： ROBERT PHILIPPE

    IPC: B81B7/00 ,  B81C1/00

    Abstract: Pour réaliser une structure d'un microsystème électromécanique (MEMS) au sein d'une cavité hermétique (38) d'un dispositif microélectronique (50), un capot (30) et un substrat (10) préparés sont scellés par un scellement direct de silicium (SDB). Pour optimiser la préparation des surfaces par un nettoyage humide sans altérer les propriétés du MEMS (22), c'est-à-dire sans occasionner de collage, la structure MEMS (22) n'est pas libérée lors du scellement, mais solidarisée au support (12) par une couche intermédiaire sacrificielle (16). Celle-ci est supprimée une fois le scellement réalisé par injection d'HF vapeur par l'intermédiaire d'un évent (40) débouchant dans la cavité (38).

    19.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号：DE60307136T2

    公开(公告)日：2007-08-23

    申请号：DE60307136

    申请日：2003-11-27

    Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

    Inventor： ROBERT PHILIPPE

    IPC: H01H59/00

    Abstract: The invention relates to an electrostatic microswitch which is intended to connect electrically two strip conductors which are disposed on an insulating support ( 21 ), the two strip conductors are connected electrically by conducting means ( 38 ) which are provided in the central part of deformable means ( 28 ) which can be deformed in relation to the support under the effect of an electrostatic force generated by control electrodes ( 25, 48; 26, 58 ). The control electrodes are distributed facing one another on the deformable means and the support, such as to form capacitive means around the aforementioned conducting means. The control electrodes are associated with insulating stop elements ( 35, 36 ) which are provided in order to prevent a short circuit between electrodes of the capacitive means during the deformation of the deformable means. The distance between the deformable means and the ends of the strip conductors is less than or equal to the distance between the insulating stop elements associated with the control electrodes and the control electrodes located opposite.

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