公开(公告)号：EP2726849A4

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：EP12806995

申请日：2012-06-12

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： KRISHNAN SHANKAR ,  WANG HAIMING

IPC: G01B11/06 ,  G01B11/30 ,  G01J3/02 ,  G01J3/42 ,  G01N21/21 ,  G01N21/55 ,  G03F7/20

CPC classification number: G01N21/55 ,  G01B11/065 ,  G01B2210/56 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/42 ,  G01N21/00 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/213 ,  G01N2021/214 ,  G01N2201/0675