公开(公告)号：CN111326454A

公开(公告)日：2020-06-23

申请号：CN201911280544.7

申请日：2019-12-13

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 宫腰敏畅 ,  须永诚寿郎 ,  进藤修 ,  加藤康生

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L33/48

Abstract: 本发明提供一种即使在以规定的排列并排的元件小的情况下，也能够容易地仅除去特定元件的特定元件的除去方法和能够制造除去了特定元件的元件阵列的元件阵列的制造方法。准备在粘接片(22)的粘接层(22b)的表面以规定的排列并排有元件(23)的粘接片(22)。对以规定的排列并排的元件(23)内的特定的元件(23a)照射激光(L)，将特定的元件(23a)从粘接片(22)的粘接层(22b)除去，并在粘接片(22)的表面保留其它的元件(23)。

公开(公告)号：CN110660692A

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201910573891.2

申请日：2019-06-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 须永诚寿郎 ,  宫腰敏畅 ,  大友龙矩

IPC: H01L21/607 ,  B29C65/08 ,  B06B3/02

Abstract: 本发明提供实现装置的小型化并可进行良好的超声波接合的超声波接合头、超声波接合装置及超声波接合方法。超声波接合头(40)具有：振子单元(50)，在长边轴的前端侧形成有被推到应接合的接合预定部分的按压部(52a)；保持部(60)，以沿着长边轴振子单元的前端成为自由端的方式，沿着振子单元的长边轴以悬臂梁状保持基端侧；加压轴(80)，以振子单元沿着与长边轴大致垂直的垂直轴移动的方式与保持部(62)连结，传递将按压部(52a)压附到接合预定部的力。在保持部(60)具备在处于从保持部保持振子单元的主保持位置沿着长边轴(X)朝向振子单元的自由端的中途的反作用力分散位置上与振子单元抵接的抑制部(90)。

公开(公告)号：CN1286353C

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN200310103457.7

申请日：2003-11-03

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 水野亨 ,  浅仓伴视 ,  伊藤正利 ,  金子正明 ,  宫腰敏畅

IPC: H05K13/04 ,  H05K3/30

Abstract: 本发明提供一种可以处理高密度安装、较窄间距安装、腔体安装等的安装方法。在该安装方法中，获得拾取嘴从晶片上拾取并吸持的芯片相对于参考空间方位的偏差量，并且当将芯片传送到安装嘴以实际将芯片安装到基片上时，考虑偏差量并进行偏差量校正，以使安装嘴以一固定的空间方位吸持芯片。

公开(公告)号：CN117133704A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202310606974.3

申请日：2023-05-26

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐藤洋平 ,  小泉洋 ,  宫腰敏畅 ,  进藤修 ,  须永诚寿郎 ,  牧田光悦 ,  山下诚 ,  加藤康生 ,  进藤谅 ,  松本匡史

IPC: H01L21/687 ,  H01L33/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供可以使施加于加压对象物的载荷均匀的基板处理装置。基板处理装置(10)是利用上夹具板(44)对作为加压对象物的基板(2)进行加压的基板处理装置，具有配置于上夹具板(44)之下的下夹具板(46)、和设置于下夹具板(46)之上且供基板(2)配置的设置基座(47)，设置基座(47)以能够允许设置基座(47)的变形的方式预固定于下夹具板(46)。

公开(公告)号：CN115362539A

公开(公告)日：2022-11-18

申请号：CN202180025439.8

申请日：2021-03-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 须永诚寿郎 ,  山下诚 ,  宫腰敏畅 ,  加藤康生 ,  大友龙矩 ,  牧田光悦 ,  佐藤洋平

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02 ,  H01L21/60 ,  H05K13/04

Abstract: 本发明提供一种搬运头的共用化容易的压模工具、可使压模工具不残留于基板侧而将配置于基板的表面的搬运对象元件，自基板容易地拾起并搬运容易的搬运装置、以及使用它们的元件阵列的制造方法。压模工具(10)具有：压模层(12)，其可装卸自如地粘附作为搬运对象元件的元件(32r)；支撑板(14)，其固定有压模层(12)；以及转接板(16)，其具有可更换自如地安装有支撑板(14)，搬运头(22)装卸自如地安装的安装面(16a)。

公开(公告)号：CN115349168A

公开(公告)日：2022-11-15

申请号：CN202180025430.7

申请日：2021-03-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 须永诚寿郎 ,  山下诚 ,  宫腰敏畅 ,  加藤康生 ,  大友龙矩 ,  牧田光悦 ,  佐藤洋平

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/60 ,  H01L21/683 ,  H05K13/04

Abstract: 本发明提供一种可将冲压工具的冲压面保持为清洁且保持冲压工具的冲压工具保持装置、相对于搬运头的冲压工具的定位容易的冲压工具定位装置、用于使用冲压工具高效地传送元件等搬运对象要素的多要素传送装置、及使用它们的元件阵列的制造方法。一种冲压工具保持装置(80)，具有装卸自如地设置有冲压工具(10)的设置台(82)。设置台(82)具有形成有收纳冲压工具(10)的冲压层(12)的收纳凹部(86)的设置面(84)，在设置面(84)形成有可装卸自如地吸附位于冲压层(12)的周围的冲压工具(10)的一部分的抽吸孔(85)。

公开(公告)号：CN111326469A

公开(公告)日：2020-06-23

申请号：CN201911289265.7

申请日：2019-12-13

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 宫腰敏畅 ,  须永诚寿郎 ,  进藤修 ,  加藤康生

IPC: H01L21/683 ,  H01L33/48 ,  B23K26/00 ,  B23K26/03 ,  B23K26/14 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明提供一种即使在以规定的排列并排的元件小的情况下，也能够容易地仅除去特定元件的特定元件的除去装置和能够制造除去特定的元件的元件阵列的元件阵列的制造装置。元件阵列的制造装置(10)具有设置台(26a)，其将具有将元件(23)以规定的排列并排并附着于表面的粘接层(22b)的基板(22)以粘接层(22b)的表面从水平面倾斜规定角度的状态保持。另外，装置(10)具有：激光照射器具(30)，其朝向附着于粘接层(22b)的元件(23)内的特定的元件(23a)照射激光；回收机构(40)，其设置于基板(22)的下方，接收被激光照射而落下的特定的元件(23a)。