公开(公告)号：JP6218686B2

公开(公告)日：2017-10-25

申请号：JP2014146729

申请日：2014-07-17

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 石橋 幹司 ,  山本 雅之

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/301

公开(公告)号：JP5985298B2

公开(公告)日：2016-09-06

申请号：JP2012175209

申请日：2012-08-07

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 山本 雅之 ,  天川 剛

IPC: H01L21/50 ,  H05K13/02 ,  B65D85/86 ,  B65B5/00 ,  H01L21/56

公开(公告)号：JP5918197B2

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：JP2013242692

申请日：2013-11-25

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 東 秀和 ,  山本 雅之 ,  新田 一法

IPC: F16J3/04 ,  B23Q11/08

公开(公告)号：JP2016025140A

公开(公告)日：2016-02-08

申请号：JP2014146729

申请日：2014-07-17

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 石橋 幹司 ,  山本 雅之

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/301

Abstract: 【課題】成形済基板から切り分けたブロック域において発生する切り分け前後の位置ずれを補正する。 【解決手段】成形済基板1のブロック域1cに予め第2のアライメントマーク1fを設定したうえで、設定した第2のアライメントマーク1fの位置を、ブロック域切り分け工程前後で検出して比較し、比較結果に基づいてブロック域1cの位置を補正する。 【選択図】図9

Abstract translation: 要解决的问题：校正在从模制基材切割的块区域中切割前后的位置偏差。解决方案：将第二对准标记1f预先设置在模制基板1的块区域1c中，然后 在块区域切割步骤之前和之后检测并比较所设置的第二对准标记1f的位置，并且基于比较结果来校正块区域1c的位置。图9

公开(公告)号：JP2015100875A

公开(公告)日：2015-06-04

申请号：JP2013242692

申请日：2013-11-25

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 東 秀和 ,  山本 雅之 ,  新田 一法

IPC: H01L21/301 ,  B23Q11/08

Abstract: 【課題】繰り返しの伸縮に対する耐久性に優れた蛇腹機構を提供する。 【解決手段】第1山折り線R1と、第1山折り線R1に屈折点aを介して一直線状に連なる第2山折り線R2と、隣接する屈折点同士を繋ぐ第3山折り線R3と、第1山折り線R1の間に平行に形成されて第3山折り線R3の中点cに接続される第1谷折り線V1と、第2山折り線R2の間に平行に形成される第2谷折り線V2と、第2谷折り線V2の内方端bと第3山折り線R3の中点cとに亘って形成される第4山折り線R4と、屈折点aと第2谷折り線V2の内方端bとに亘って形成される第3谷折り線V3とを備え、第3、第4山折り線R3、R4、及び、第3谷折り線V3によって囲まれた折込み部12が、蛇腹圧縮に伴って第2面蛇腹部10Sの内部に畳み込まれ、第4山折り線R4の長さを第3山折り線R3の長さより大きく設定してある。 【選択図】図3A

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种优异的往复伸缩运动的耐久性的波纹管机构。解决方案：波纹管机构包括第一山折线R1，与第一山折线R1连接的第二山折线R2，经由拐点a 连接相邻拐点的第三山折线R3，与第一山折线R1平行形成并与第三山折线R3的中点c连接的第一谷折线V1， 与第二山折线R2平行形成的第二谷折线V2，从第二谷折线V2的内端b到第三山折线R3的中点c形成的第四山折线R4，以及 从拐点a到第二谷折线V2的内端b形成的第三谷折线V3。 由第三和第四山折线R3和R4包围的折叠部分12和第三谷折线V3根据波纹管压缩在第二面波纹部分10S内折叠，从而将第四山折线R4的长度 长于第三山折线R3的长度。