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公开(公告)号：JP2018032146A
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：JP2016162821
申请日：2016-08-23
Applicant: TOWA株式会社
IPC: G05B19/418
Abstract: 【課題】従来は、好ましくないものと考えられていた非正規品を提供する第三者を活用して、半導体製造装置の顧客に対して新たな価値を提供できる新規なスキームを実現するための新規な構成を提供することである。 【解決手段】管理システムは、1または複数の識別情報を発行するとともに、発行した各識別情報の状態を示す状態情報を管理する管理装置と、半導体製造装置で使用するための、管理装置を管理する第1の主体から提供された設計情報に従って作製された可換部材に対して、発行された識別情報を付加する付加手段と、可換部材に付加されている識別情報を読み取るとともに、管理装置からの状態情報を参照することで取得される、当該読み取った識別情報の状態に基づいて、可換部材の半導体製造装置での使用許否を決定する認証手段とを含む。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017183443A
公开(公告)日：2017-10-05
申请号：JP2016067078
申请日：2016-03-30
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/56
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2924/181
Abstract: 【課題】フィルムにしわやたわみの発生を低減して樹脂成形する。 【解決手段】互いに対向して配置される第1型8及び第2型9の少なくとも一方にキャビティ17が設けられた成形型を用い、成形型を型締めして樹脂成形を行う樹脂成形装置であって、第1型8と第2型9との間にフィルム12を送り出す送り出し機構13と、第1型8と第2型9との間からフィルム12を巻き取る巻き取り機構14と、送り出し機構側に設けられた第1ローラ15と、巻き取り機構側に設けられた第2ローラ16と、第1ローラ15の回転軸19と第2ローラ16の回転軸19とのうち少なくとも1つの対象軸19の一端部と他端部とのそれぞれに複数取り付けられた主筒状部材20とを備え、複数の主筒状部材20のうち、外側の主筒状部材20cの外径が内側の主筒状部材20aの外径よりも大きく、複数の主筒状部材20が前記対象軸19に対して着脱可能である。 【選択図】図2
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP2017212419A
公开(公告)日：2017-11-30
申请号：JP2016106821
申请日：2016-05-27
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】大きな体積の封止体で封止することができ、複雑な形状を有するものであっても各部に樹脂材料をばらつきの少ない密度で行き亘らせて欠陥の無い封止体を作製することができる樹脂封止品製造方法を提供する。 【解決手段】電子部品EPが実装された基板Sの面である実装面MSを樹脂から成る封止体で封止することにより樹脂封止品を製造する方法であって、封止体の形状の少なくとも一部に対応する形状の樹脂材料21を準備する樹脂材料準備工程と、底部161及び該底部161に対して相対的に上下にスライド可能な周壁部162とで構成される下型キャビティ16C並びに底部161又は周壁部162を上下方向に付勢する弾性部材(コイルスプリング)163を有する下型16と、上型18とを備える成形型の下型キャビティ16C内に樹脂材料21を供給する樹脂材料供給工程と、基板Sを下型16と上型18の間に配置する基板配置工程と、成形型を型締めし、前記樹脂材料21を用いて樹脂成形を行う樹脂成形工程とを有する。 【選択図】図8
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公开(公告)号：JP2017100285A
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：JP2015232720
申请日：2015-11-30
Applicant: TOWA株式会社
CPC classification number: B29C31/04 , B29C43/18 , B29C43/34 , B29C43/58 , B29C45/02 , B29C45/77 , H01L21/56
Abstract: 【課題】ディスペンサを簡単な構成で小型化し、かつ、液状樹脂を安定して吐出する。 【解決手段】ディスペンサ19を、送出機構27とシリンジ28とノズル29とによって一体的に構成する。送出機構27に設けられたサーボモータ31を回転させることによって、ボールねじ32、スライダ33、ロッド34を介してプランジャ35をシリンジ28内において進退させる。シリンジ28内の液状樹脂30の樹脂圧力をサーボモータ31に加わる負荷トルクの値(トルク値)として検出する。液状樹脂30による負荷トルクがプランジャ35に加わった状態においても、プランジャ35の移動速度、又は、サーボモータ31の回転速度が一定になるようにサーボモータ31の回転トルクを制御する。このことによって、液状樹脂30の粘度変化があった場合においても、所定量の液状樹脂30を送出できる。加えて、サックバックすることにより液状樹脂30の液切れを改善する。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2015157438A
公开(公告)日：2015-09-03
申请号：JP2014034027
申请日：2014-02-25
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】樹脂成形装置において、液状樹脂が流動する構成部材の内部を洗浄剤によって自動的に洗浄する。 【解決手段】液状樹脂保管機構1に、混合液状樹脂2を貯蔵する液状樹脂用のカートリッジ3と、液状の洗浄剤4を貯蔵する洗浄剤用のカートリッジ5とを備える。液状樹脂用のカートリッジ3を、樹脂チューブ8A、開閉弁12、接続部10、樹脂チューブ8Zを介して、ディスペンサ9の貯留部16に接続する。洗浄剤用のカートリッジ5を、開閉弁14、樹脂チューブ11を介して接続部10に接続する。コンプレッサ20を使用して、洗浄剤用のカートリッジ5に貯蔵された洗浄剤4を、液状樹脂用のカートリッジ3又はディスペンサ9の貯留部16に移送する。移送された洗浄剤4によって、カートリッジ3又はディスペンサ9の構成部材の内部を自動的に洗浄する。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：通过树脂成型设备中的洗涤剂自动清洗液体树脂流过的部件的内部。液体树脂存储机构1包括用于液体树脂的储存器3，用于储存混合液体 树脂2和用于存储液体洗涤剂4的洗涤剂的盒5.用于液体树脂的盒3通过树脂管8A，开关阀12，连接部分连接到分配器9的存储部分16 10，树脂管8Z。 用于洗涤剂的盒5通过开/关阀14和树脂管11连接到连接部分10.存储在用于洗涤剂的盒5中的洗涤剂4被转移到用于液体树脂的盒3或存储 使用压缩机20的分配器9的第16部分。盒3或分配器9的部件内部被转移的洗涤剂4自动洗涤。
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