公开(公告)号：JP2020152937A

公开(公告)日：2020-09-24

申请号：JP2019049900

申请日：2019-03-18

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 高田 直毅 ,  竹内 慎 ,  荒木 宏祐 ,  東 大助 ,  森山 和男 ,  清水 裕貴

IPC: C23C16/458 ,  B23P15/28 ,  C23C14/50

Abstract: 【課題】複数種類のワークにも対応することができるワーク保持部及びワーク保持部回転ユニットを提供する。 【解決手段】シャンク部W1と、前記シャンク部W1よりも外径が小さい刃部W2と、を具備する棒状のワークWを保持するワーク保持部60であって、前記シャンク部W1を挿入可能な第一の孔部63c、及び前記第一の孔部63cと連続するように形成され、前記シャンク部W1を挿入不能かつ前記刃部W2を挿入可能な第二の孔部63dを具備する貫通孔63aが形成されたアダプタ63と、前記アダプタ63が挿入された状態で前記アダプタ63を保持可能な回転支持部61と、を具備した。 【選択図】図7

公开(公告)号：JP2020132906A

公开(公告)日：2020-08-31

申请号：JP2019024033

申请日：2019-02-14

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 竹内 慎 ,  浅田 武男 ,  荒木 宏祐 ,  東 大助 ,  岸本 智子 ,  保田 琢磨 ,  森山 和男 ,  清水 裕貴

IPC: C23C14/06 ,  B23B27/14 ,  B23C5/16 ,  C23C14/50

Abstract: 【課題】ワークに形成される薄膜のムラの発生を抑制することができる成膜品の製造方法を提供する。 【解決手段】第一回転軸(回転軸20)を中心として公転可能、かつターゲット6(スパッタリングターゲット)に対して傾斜した第二回転軸(ワーク保持部60)を中心として自転可能となるようにワークWを保持するワーク保持工程と、前記第一回転軸を中心とする公転、及び前記第二回転軸を中心とする自転を行いながら、前記ターゲット6を用いて、前記ワークWに対して成膜を行う成膜工程と、を含む。 【選択図】図4

公开(公告)号：JP6462454B2

公开(公告)日：2019-01-30

申请号：JP2015069468

申请日：2015-03-30

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 藤原 邦彦 ,  東 大助 ,  岸本 智子

IPC: B29C33/38

公开(公告)号：JP6366348B2

公开(公告)日：2018-08-01

申请号：JP2014097793

申请日：2014-05-09

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 坂東 和彦 ,  藤原 邦彦 ,  東 大助 ,  岸本 智子 ,  野口 欣紀 ,  白井 健士郎

IPC: B29C33/38

公开(公告)号：JP2017189812A

公开(公告)日：2017-10-19

申请号：JP2016081926

申请日：2016-04-15

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 緒方 健二 ,  東 大助

IPC: C23C14/08 ,  B30B11/02

CPC classification number: A61J3/10 ,  B30B11/02 ,  C23C14/08

Abstract: 【課題】粉末材料の打錠後に打錠杵又は臼に付着する粉末材料の量を低減する。 【解決手段】打錠杵(14,16)又は臼(13)は、基材(10)と、基材(10)上の打錠表面層(20)とを備えている。打錠表面層(20)は、窒素と4A族元素とを含有する結晶質の酸化イットリウムを含む。 【選択図】図1