公开(公告)号：JP5897686B1

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：JP2014217101

申请日：2014-10-24

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 渡辺 創 ,  天川 剛 ,  傳藤 勝則

IPC: B28D1/22 ,  B26D7/02 ,  H01L21/683 ,  B24B41/06 ,  B23Q3/08

Abstract: 【課題】平板状ワークの形状変形に応じてワーク吸着板を変形させて密着させて堅牢に保持する。 【解決手段】記吸着面部32を、面方向内側の内域32aと面方向外側の外域32bに分け、内域32aの硬度を外域32bの硬度より低くする。 【選択図】図15

Abstract translation: 公开由工件吸附板刚性地按照板状工件的形状的变形的变形保持紧密接触。 该A符号吸附表面部分32，分为内部区域32a和向内的面方向外表面，所述内区32a比外侧区域32b的硬度低的硬度的外部区域32b上。 .The 15