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公开(公告)号:JP2018074093A
公开(公告)日:2018-05-10
申请号:JP2016215799
申请日:2016-11-04
Applicant: TOWA株式会社
CPC classification number: H01L21/56 , H01L21/683
Abstract: 【課題】変形した対象物であっても対象物の変形を矯正し安定してテーブルに保持する。 【解決手段】保持装置1は、対象物11が載置されるテーブル2と、テーブル2に設けられ対象物11を吸引する複数の吸引孔3と、テーブル2に設けられ複数の吸引孔3の周囲を取り囲むシール材10と、シール材10が配置された位置において、対象物11の周囲をテーブル2に押圧する押圧部材7と、複数の吸引孔3に接続される減圧機構6とを備える。 【選択図】図2
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公开(公告)号:JP5774538B2
公开(公告)日:2015-09-09
申请号:JP2012090202
申请日:2012-04-11
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/56
CPC classification number: H01L21/565 , B29C45/14655 , B29C2045/14877 , H01L2924/0002
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