公开(公告)号：JP2018074093A

公开(公告)日：2018-05-10

申请号：JP2016215799

申请日：2016-11-04

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 尾張 弘樹 ,  高田 直毅 ,  白澤 賢典 ,  中尾 聡 ,  高田 準子

IPC: H05K13/04 ,  H05K13/08 ,  H01L21/56

CPC classification number: H01L21/56 ,  H01L21/683

Abstract: 【課題】変形した対象物であっても対象物の変形を矯正し安定してテーブルに保持する。 【解決手段】保持装置1は、対象物11が載置されるテーブル2と、テーブル2に設けられ対象物11を吸引する複数の吸引孔3と、テーブル2に設けられ複数の吸引孔3の周囲を取り囲むシール材10と、シール材10が配置された位置において、対象物11の周囲をテーブル2に押圧する押圧部材7と、複数の吸引孔3に接続される減圧機構6とを備える。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP6257737B2

公开(公告)日：2018-01-10

申请号：JP2016224948

申请日：2016-11-18

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 尾張 弘樹 ,  高田 直毅 ,  白澤 賢典

IPC: B29C43/18 ,  B29C31/04 ,  B29C43/34

公开(公告)号：JP5774538B2

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：JP2012090202

申请日：2012-04-11

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 浦谷 隆文 ,  川口 恒男 ,  白澤 賢典 ,  竹内 慎 ,  尾張 弘樹 ,  高田 直毅

IPC: H01L21/56

CPC classification number: H01L21/565 ,  B29C45/14655 ,  B29C2045/14877 ,  H01L2924/0002