公开(公告)号：JP2020152937A

公开(公告)日：2020-09-24

申请号：JP2019049900

申请日：2019-03-18

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 高田 直毅 ,  竹内 慎 ,  荒木 宏祐 ,  東 大助 ,  森山 和男 ,  清水 裕貴

IPC: C23C16/458 ,  B23P15/28 ,  C23C14/50

Abstract: 【課題】複数種類のワークにも対応することができるワーク保持部及びワーク保持部回転ユニットを提供する。 【解決手段】シャンク部W1と、前記シャンク部W1よりも外径が小さい刃部W2と、を具備する棒状のワークWを保持するワーク保持部60であって、前記シャンク部W1を挿入可能な第一の孔部63c、及び前記第一の孔部63cと連続するように形成され、前記シャンク部W1を挿入不能かつ前記刃部W2を挿入可能な第二の孔部63dを具備する貫通孔63aが形成されたアダプタ63と、前記アダプタ63が挿入された状態で前記アダプタ63を保持可能な回転支持部61と、を具備した。 【選択図】図7

公开(公告)号：JP2020132906A

公开(公告)日：2020-08-31

申请号：JP2019024033

申请日：2019-02-14

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 竹内 慎 ,  浅田 武男 ,  荒木 宏祐 ,  東 大助 ,  岸本 智子 ,  保田 琢磨 ,  森山 和男 ,  清水 裕貴

IPC: C23C14/06 ,  B23B27/14 ,  B23C5/16 ,  C23C14/50

Abstract: 【課題】ワークに形成される薄膜のムラの発生を抑制することができる成膜品の製造方法を提供する。 【解決手段】第一回転軸(回転軸20)を中心として公転可能、かつターゲット6(スパッタリングターゲット)に対して傾斜した第二回転軸(ワーク保持部60)を中心として自転可能となるようにワークWを保持するワーク保持工程と、前記第一回転軸を中心とする公転、及び前記第二回転軸を中心とする自転を行いながら、前記ターゲット6を用いて、前記ワークWに対して成膜を行う成膜工程と、を含む。 【選択図】図4

公开(公告)号：JP2020082509A

公开(公告)日：2020-06-04

申请号：JP2018220061

申请日：2018-11-26

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 高 丈明 ,  荒木 宏祐

IPC: B29C33/68 ,  B29C43/18 ,  B29C43/34 ,  H01L21/56 ,  B29C43/36

Abstract: 【課題】離型フィルムのたるみ、シワ等を抑制又は防止可能な成形型を提供する。 【解決手段】一方の型100と他方の型200とを含み、一方の型100は、型面にキャビティ100Aが形成されているとともに、前記型面に離型フィルム40が吸着される型であり、一方の型100は、一方の型フィルム押さえ部材103を含み、一方の型フィルム押さえ部材103は、成形型開閉方向に移動可能であり、他方の型200は、他方の型フィルム押さえ部材203を含み、他方の型フィルム押さえ部材203は、成形型開閉方向に移動可能であり、一方の型フィルム押さえ部材103と他方の型フィルム押さえ部材203とで離型フィルム40を挟んで保持し、離型フィルム40に張力を加えることが可能であることを特徴とする成形型1000。 【選択図】図8

公开(公告)号：JP2019081294A

公开(公告)日：2019-05-30

申请号：JP2017209714

申请日：2017-10-30

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 奥西 祥人 ,  荒木 宏祐 ,  林 子春 ,  小河 冬彦

IPC: B29C45/02 ,  B29C45/14 ,  B29C33/12

Abstract: 【課題】成形型の型キャビティの深さを変更可能な樹脂成形装置の提供。 【解決手段】成形型と一方の型楔形機構1310と一方の型キャビティブロック駆動機構1301とを含み、成形型は、一方の型1100と他方の型1200とを含み、一方の型が型キャビティブロック1101と、型キャビティ枠部材1102とを含み、型キャビティ枠部材は、摺動孔を有し、型キャビティブロックが摺動孔内を成形型の型開閉方向に移動可能で、型キャビティブロックの他方の型との対向面と一方の型キャビティ枠部材の内側面とで一方の型キャビティ1106を形成可能で、一方の型キャビティブロック駆動機構で、型キャビティブロックの型開閉方向に移動が可能であり、一方の型楔形機構を用いて型開閉方向の型キャビティブロックの位置の固定により、一方の型キャビティの深さを変更可能である樹脂成形装置1000。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2019081293A

公开(公告)日：2019-05-30

申请号：JP2017209713

申请日：2017-10-30

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 荒木 宏祐 ,  林 子春 ,  小河 冬彦 ,  奥西 祥人

IPC: B29C45/02 ,  B29C45/14 ,  B29C33/12

Abstract: 【課題】被成形品の厚みにばらつきがあっても成形不具合を抑制又は防止できる樹脂成形装置の提供。 【解決手段】成形型と、一方の型楔形機構1310と、一方の型キャビティブロック駆動機構1301とを含み、成形型は、一方の型1100と他方の型1200とを含み、一方の型は、一方の型キャビティブロック1101と一方の型キャビティ枠部材1102を含み、一方の型キャビティ枠部材は、摺動孔1105を含み、一方の型キャビティブロックは、摺動孔内を成形型の型開閉方向に移動可能で、一方の型キャビティブロックの他方の型との対向面と一方の型キャビティ枠部材の内側面で一方の型キャビティ1106を形成可能で、一方の型キャビティブロック駆動機構を用いて、一方の型キャビティブロックの型開閉方向に移動が可能で、一方の型楔形機構1310を用いて、型開閉方向における一方の型キャビティブロックの位置を固定可能な樹脂成形装置1000。 【選択図】図1