-
-
公开(公告)号:JP2017200712A
公开(公告)日:2017-11-09
申请号:JP2016092632
申请日:2016-05-02
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/07 , B25J15/06
Abstract: 【課題】湾曲した板状部材を安定して保持する。 【解決手段】吸着ユニット(1)は、本体部(10)と、本体部(10)の内部の中空の流路(5)と、本体部の吸着面側の吸着部(110)とを備えている。吸着部(110)には貫通孔(45)が設けられており、貫通孔(45)と流路(5)とは連通している。吸着部(110)は板状部材の湾曲に追従可能であるように構成されている。 【選択図】図1
-
公开(公告)号:JP2017143232A
公开(公告)日:2017-08-17
申请号:JP2016025379
申请日:2016-02-13
Applicant: TOWA株式会社
CPC classification number: B29C43/18 , B29C43/34 , B29C43/36 , H01L21/56 , H01L2224/97 , H01L2924/181
Abstract: 【課題】成形型の型面にフィルムを密着させ、そのフィルムに基板を密着させる。 【解決手段】樹脂封止装置において、上型8の型面に静電チャック15を設ける。静電チャック15を使用して、離型フィルム16とチップ17が装着された基板18とを、静電気に起因する引力によって順次に又は同時に引き付ける。このことにより、基板18と離型フィルム16とを密着させた状態で、上型8の型面に密着させて保持する。上型8と下型11とを型閉めすることにより、基板18と基板18に装着されたチップ17とを、キャビティ13内に満たされた溶融樹脂20に浸ける。平面視した場合に基板18がキャビティ13に含まれるので、基板18とチップ17とが溶融樹脂20に完全に浸かる。したがって、樹脂封止が終了した時点において、基板18及びチップ17の上面と側面とが硬化樹脂21によって覆われる。 【選択図】図3
-
14.
公开(公告)号:JP2016190393A
公开(公告)日:2016-11-10
申请号:JP2015071472
申请日:2015-03-31
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】樹脂材料をキャビティ内に均等に供給することができる圧縮成形装置の樹脂材料供給方法及び供給装置を提供する。 【解決手段】樹脂保持トレイ21の、スリット状の樹脂保持部33を有する上スリット板31と、スリット状の開口部34と非開口部35を有する下スリット板とを重ねて、下スリット板32の非開口部35が上スリット板31の樹脂保持部33を覆うように配置し、その樹脂保持部33に顆粒状樹脂を供給する。その樹脂保持トレイ21を圧縮成形装置のキャビティ121上に配置し、下スリット板32をキャビティ121に対して、スリット状の樹脂保持部33の長手方向に垂直な方向に移動させる。下スリット板32の開口部34がキャビティ121に対して移動するため、樹脂保持部33の顆粒状樹脂はキャビティ121内に均等に供給される。 【選択図】図4
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种能够将压缩成型设备的树脂材料进给的方法和装置,其能够将树脂材料均等地供给到空腔中。解决方案:一种用于供给压缩成型设备的树脂材料的方法包括:叠加 具有狭缝状树脂保持部33的树脂保持托盘21的上部狭缝板31和具有狭缝状开口部34和非开口部35的下部狭缝板; 将下狭缝板32的非开口部35配置成覆盖上部狭缝板31的树脂保持部33; 将颗粒状树脂供给到树脂保持部33; 将树脂保持托盘21布置在压缩模制设备的空腔121上; 并且在与狭缝状树脂保持部33的长度方向垂直的方向上将低亮板32移动到空腔121.由于下狭缝板32的开口部34向空腔121移动,因此, 树脂保持部分33被均等地馈送到空腔121中。图示:图4
-
公开(公告)号:JP5985402B2
公开(公告)日:2016-09-06
申请号:JP2013001303
申请日:2013-01-08
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/56
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2924/00014
-
公开(公告)号:JP5774538B2
公开(公告)日:2015-09-09
申请号:JP2012090202
申请日:2012-04-11
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/56
CPC classification number: H01L21/565 , B29C45/14655 , B29C2045/14877 , H01L2924/0002
-
公开(公告)号:JP2020152937A
公开(公告)日:2020-09-24
申请号:JP2019049900
申请日:2019-03-18
Applicant: TOWA株式会社
IPC: C23C16/458 , B23P15/28 , C23C14/50
Abstract: 【課題】複数種類のワークにも対応することができるワーク保持部及びワーク保持部回転ユニットを提供する。 【解決手段】シャンク部W1と、前記シャンク部W1よりも外径が小さい刃部W2と、を具備する棒状のワークWを保持するワーク保持部60であって、前記シャンク部W1を挿入可能な第一の孔部63c、及び前記第一の孔部63cと連続するように形成され、前記シャンク部W1を挿入不能かつ前記刃部W2を挿入可能な第二の孔部63dを具備する貫通孔63aが形成されたアダプタ63と、前記アダプタ63が挿入された状態で前記アダプタ63を保持可能な回転支持部61と、を具備した。 【選択図】図7
-
公开(公告)号:JP2019125661A
公开(公告)日:2019-07-25
申请号:JP2018004553
申请日:2018-01-15
Applicant: TOWA株式会社
Abstract: 【課題】樹脂成形品の生産効率の向上を図ることができる樹脂成形装置を提供する。 【解決手段】樹脂成形装置10は、互いに対向する第1型(上型151)及び第2型(下型152)の少なくとも一方にキャビティが設けられた成形型を用いて、前記第1型に成形対象物Sを保持して樹脂成形を行う装置であって、前記成形型の外に設けられ、離型フィルムFUに孔部Hを形成する孔部形成部18と、孔部Hが形成された離型フィルムFUを前記第1型と前記第2型との間に搬送する搬送部17と、離型フィルムFUの孔部Hを介して、前記第1型に設けられた吸引口162から気体を吸引することにより成形対象物Sを保持する保持部16とを備える。 【選択図】図1
-
-
-
-
-
-
-
-