BEOBACHTUNGSEINRICHTUNG FÜR EINE VAKUUMVORRICHTUNG
    13.
    发明申请
    BEOBACHTUNGSEINRICHTUNG FÜR EINE VAKUUMVORRICHTUNG 审中-公开
    监测装置的真空装置

    公开(公告)号:WO2014026818A1

    公开(公告)日:2014-02-20

    申请号:PCT/EP2013/065064

    申请日:2013-07-17

    Inventor: MARGRAF, Jörg

    CPC classification number: B01J3/004 G02B7/007

    Abstract: Es wird eine Beobachtungseinrichtung (10) für eine Vakuumvorrichtung (117), beispielsweise eine Beschichtungsvorrichtung, bereitgestellt, bei welchem ein Fensterelement (17) durch Bewegen eines beweglichen Elements (14) auf einfache Weise getauscht werden kann, ohne eine Vakuum in der Vakuumvorrichtung (117) wesentlich zu stören.

    Abstract translation: 它是一个真空装置(117)的观察装置(10),例如,一个涂布装置被提供,其中,窗元件(17)通过移动可动元件(14)可以以简单的方式进行交换,而无需真空(在真空装置117 令人不安的)是必不可少的。

    STABILISIERTES ZIRKONIUMOXID FÜR SICHTFENSTER
    14.
    发明申请
    STABILISIERTES ZIRKONIUMOXID FÜR SICHTFENSTER 审中-公开
    稳定ZrO2 FOR WINDOW

    公开(公告)号:WO2002081073A1

    公开(公告)日:2002-10-17

    申请号:PCT/CH2002/000170

    申请日:2002-03-21

    CPC classification number: G21C17/08 B01J3/004 C30B15/00 C30B29/16 Y10T428/2913

    Abstract: Für die Herstellung eines Sichtfensters (7) in Reaktionsgefässen, Autoklaven, Boilern, Nuklearreaktoren und dergleichen wird die Verwendung von kubisch stabilisiertem Zirkoniumoxid-Monokristall vorgeschlagen. Vorzugsweise wird Kalzium, Magnesium, Yttrium oder ein anderes transparentes Element der schweren Lanthanoiden zur Stabilisierung von Zirkoniumoxid verwendet. Aufgrund der hervorragenden Transparenz derartiger mittels kubisch stabilisiertem Zirkoniumoxid-Monokristall hergestellter Sichtfenster (7) sind diese insbesondere geeignet für die In-Situ-Prozessüberwachung in geschlossenen Gefässen, wie den oben erwähnten Reaktionsgefässen und dergleichen, wobei die Überwachung entweder optisch mittels fotografischen Geräten oder Videogeräten (1) oder mittels spektroskopischen Methoden erfolgen kann.

    Abstract translation: (7)在反应容器,高压釜,锅炉,核反应堆用于生产观察窗和使用立方稳定氧化锆单晶等的建议。 优选地,钙,镁,钇,或在重镧系用于稳定氧化锆另一个透明元件被使用。 由于由立方稳定的氧化锆单晶窗口制造这样的优异的透明性(7),这些都是特别适合于在原位在封闭容器的过程监控,如反应容器和上述像,其中,所述监控通过视觉(通过照相设备或视频设备的装置 1)或通过光谱方法可以手段。

    DISPOSITIF DE SUPPORT D'UN SYSTEME D'ECLAIRAGE AMOVIBLE ET AUTOPORTE POUR HUBLOT
    15.
    发明申请
    DISPOSITIF DE SUPPORT D'UN SYSTEME D'ECLAIRAGE AMOVIBLE ET AUTOPORTE POUR HUBLOT 审中-公开
    用于承载可拆卸自支撑照明系统的装置

    公开(公告)号:WO2010010255A1

    公开(公告)日:2010-01-28

    申请号:PCT/FR2009/000912

    申请日:2009-07-22

    Abstract: L'invention se rapporte à un système d'éclairage homogène, amovible et autoporté, pour éclairer une enceinte à travers un hublot (4). La présente invention vise à proposer un système d'éclairage d'une enceinte protégée par hublot (4) qui soit sécurisé, facilement amovible et bon marché tout en procurant un éclairage sensiblement homogène. À ce titre, l'invention concerne un dispositif de support d'un système d'éclairage à travers un hublot (4) doté d'une bordure périphérique (4a) définissant une zone d'observation (4b), caractérisé en ce qu'il comporte un élément de guidage (12a, 12d) apte à recevoir un ruban de diodes électroluminescentes (10) ainsi que des moyens de maintien (12, 14, 18, 20) aptes à maintenir de façon amovible ledit élément de guidage (12a, 12d) vis-à-vis du hublot (4) de sorte à positionner le ruban de diodes électroluminescentes (10) en pourtour de la zone d'observation (4b) du hublot (4).

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于通过舷窗(4)照明外壳的均匀可移动和自支撑的照明系统。 本发明提供了一种用于照亮由舷窗(4)保护的外壳的系统,其在分布基本均匀的照明的同时是安全的,容易地可拆卸的和便宜的。 为此,本发明涉及一种用于通过设置有限定观察区域(4b)的周边边缘(4a)的孔眼(4)进行照明的系统的轴承装置,其特征在于,所述装置包括导向构件(12a, 12d),其适于接纳LED条(10)以及维持能够相对于所述舷窗(4)可移除地保持所述引导构件(12a,12d)的装置(12,14,18,20),以便将 LED条(10)围绕舷窗(4)的观察区域(4a)。

    MULTI-PORT ILLUMINATING AND VIEWING UNIT
    17.
    发明申请
    MULTI-PORT ILLUMINATING AND VIEWING UNIT 失效
    多端口照明和查看单元

    公开(公告)号:US20020067622A1

    公开(公告)日:2002-06-06

    申请号:US09727649

    申请日:2000-12-01

    Applicant: J M CANTY, INC

    Abstract: An illuminating and viewing unit for illuminating the interior of a vessel with source radiation and observing the vessel interior comprises a housing including a front wall facing the vessel interior. The front wall is of a material that does not transmit the source radiation, and includes one or more illumination ports individually fused into the front wall that transmit the source radiation to the vessel interior. A detection port is also individually fused into the front wall for transmitting detectable radiation along a detection path from the vessel interior to a radiation detector mounted in the housing. The optical isolation of the illumination and detection ports in the front wall prevents unwanted internal reflection of source radiation into the detection path, and allows for independent selection of port materials and configurations, while maintaining a hermetic seal between the housing and the internal contents of the vessel.

    Abstract translation: 用于用源辐射照射容器内部并观察容器内部的照明和观察单元包括壳体,其包括面向容器内部的前壁。 前壁是不透射源辐射的材料,并且包括单独融合到前壁中的一个或多个照明端口,其将源辐射传输到容器内部。 检测端口也单独地融合到前壁中,用于沿着从容器内部到安装在壳体中的辐射探测器的检测路径传输可检测的辐射。 前壁中的照明和检测端口的光学隔离防止源辐射不期望地内部反射到检测路径中,并且允许独立选择端口材料和构造,同时保持壳体与内部内容物之间的气密封 船只。

    View port of a chemical vapor deposition device for manufacturing semiconductor devices

    公开(公告)号:US20020014203A1

    公开(公告)日:2002-02-07

    申请号:US09800894

    申请日:2001-03-08

    CPC classification number: B01J3/004 C23C16/488 G02B7/007

    Abstract: A view port of chemical vapor deposition apparatus for manufacturing semiconductor devices prevents heat loss in a chamber during a plasma deposition process. The view port includes a bracket protruding at the circumference of an opening in an electrode serving as a wall of a chamber of the apparatus, a transparent window pressed by the bracket against the wall via an O-ring, a pivoting cap for capping an opening in the bracket aligned with the window, and heat-insulative material and/or a heating element integral with the cap so as to be positioned close to the window when the cap is closed. The heating element can be a resistive heating wire or a warm air duct formed by a hose or the like. During the deposition process, the temperature of the window is maintained, thereby minimizing the tendency of polymer to adhere to the window.

    Apparatus for the observation of processes
    19.
    发明授权
    Apparatus for the observation of processes 失效
    用于观察过程的装置

    公开(公告)号:US5270856A

    公开(公告)日:1993-12-14

    申请号:US864514

    申请日:1992-04-07

    CPC classification number: G02B7/007 B01J3/004 C23C14/52

    Abstract: A tubular stroboscope is interposed in the line of sight between a viewing glass and a process to be viewed in a chamber. The stroboscope is rotated about a central axis transverse to the line of sight and has a pair of diametrically opposed slots parallel to said axis, one slot being substantially wider than the opposite slot. The stroboscope is preferably driven by a jet of inert gas acting on a drive wheel inside the chamber, aspiration means being provided for dust removal.

    Abstract translation: 在观察玻璃和在室中观察的过程之间的视线中插入管状频闪仪。 频闪仪围绕横向于视线的中心轴线旋转并且具有平行于所述轴线的一对直径相对的狭槽,一个狭槽基本上比相对的狭槽更宽。 频闪仪优选由作用在腔室内的驱动轮上的惰性气体射流驱动,抽吸装置用于除尘。

    Light pipe for illuminating the interior of a pressure vessel
    20.
    发明授权
    Light pipe for illuminating the interior of a pressure vessel 失效
    用于照亮压力容器内部的光管

    公开(公告)号:US4746178A

    公开(公告)日:1988-05-24

    申请号:US31254

    申请日:1987-03-26

    Inventor: Thomas M. Canty

    Abstract: A light pipe unit for supplying illumination to the interior of a vessel that has an attachment means for connection to the vessel. The light pipe unit is constructed of a metallic housing having an elongated fiber optic rod contained therein. At the bottom portions of the rod and housing, that is the portions extending into the vessel, is a glass laminate. The glass laminate covering forms a substantially corrosion-proof seal across the entire distal or lower portion of the unit.

    Abstract translation: 一种用于向容器内部提供照明的光管单元,其具有用于连接到容器的附接装置。 光管单元由金属壳体构成,其中容纳有细长的光纤棒。 在杆和壳体的底部,即延伸进入容器的部分,是玻璃层压板。 玻璃层压板在整个单元的远端或下部形成基本上防腐蚀的密封。

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