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公开(公告)号：CN104600002A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410601831.4
申请日：2014-10-31
Applicant: 细美事有限公司
CPC classification number: F04B49/20 , F04B49/06 , F04B49/103 , F04B2201/0201 , F04B2201/0202 , H01L21/67259 , H01L21/67742
Abstract: 本发明涉及基板处理装置、驱动组件以及驱动部件控制方法。本发明的一实施例所涉及的基板处理装置包括：搬运基板的移送腔室；与上述移送腔室相邻地设置，且对上述基板执行处理工序的工序腔室；以及提供上述移送腔室或者上述工序腔室的构成要素进行动作的动力的驱动组件，上述驱动组件包括：连接于配管的气缸；以在上述气缸的内部移动的方式设置，通过驱动轴而连接于上述构成要素的活塞；以及自动调节上述活塞的移动速度的配管控制单元。
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公开(公告)号：CN103547805A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201280023574.X
申请日：2012-03-15
Applicant: 惠而浦股份公司
IPC: F04B35/04
CPC classification number: F04B49/06 , F04B35/04 , F04B35/045 , F04B49/00 , F04B49/106 , F04B53/14 , F04B2201/0201 , F04B2201/0202 , F04B2203/0401 , F04B2203/0402
Abstract: 本发明涉及用于共振式线性压缩机(50)的促动系统，所述共振式线性压缩机(50)被应用于冷却系统，后者被特别地设计成在所述压缩机(50)的机电频率下运行，使得在所述冷却系统的过载的状态下，该系统将能够提升由线性促动器供应的最大功率。另外，本发明涉及用于共振式线性压缩机(50)的促动方法，该促动方法的操作步骤使得人们能够在机电共振频率下促动设备，又能够在过载状态下控制该设备的促动。
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公开(公告)号：CN1580554A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN200410039728.1
申请日：2004-03-16
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 李光云
CPC classification number: F04B35/045 , F04B49/065 , F04B2201/0202 , F04B2203/0401 , F04B2203/0402
Abstract: 一种线性压缩机以及控制该线性压缩机的装置，可使施加到驱动电机的驱动电流的频率实时地与根据负载的波动情况而变化的谐振频率同步，从而获得线性压缩机的最大效率。该线性压缩机包括：驱动电机；利用该驱动电机往复运动的活塞；以及控制单元，该控制单元产生与活塞的位移波形具有90度相位差和等于活塞的位移波形的频率的基准电流，并通过将驱动电流与基准电流同步而控制提供到驱动电机的驱动电流与活塞的谐振频率同步。
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公开(公告)号：CN109505767A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201811067157.0
申请日：2018-09-13
Applicant: 米顿罗有限责任公司
IPC: F04B49/06
CPC classification number: F04B49/03 , F04B13/00 , F04B17/04 , F04B35/045 , F04B43/0081 , F04B43/04 , F04B45/047 , F04B49/065 , F04B2201/0202 , F04B2201/0206 , F04B2203/0402 , F04B2203/0405 , F04B2203/0409 , F04B2205/03
Abstract: 螺线管驱动液体泵的性能可能非常依赖于输入电压的大小和稳定性，不理想的输入功率导致泵的效率损失和潜在损坏。提供给泵的驱动信号的脉冲宽度可以被以持续时间调整以便补偿不理想的输入电压，该驱动信号使螺线管交替地通电以使液体通过泵。泵的驱动控制模块收集电压信息，基于该电压信息确定改进的脉冲宽度，然后基于改进的脉冲宽度提供驱动信号。以这种方式操作，尽管输入电压和非正弦输入电压都存在显著差异，但泵可以以峰值效率或接近峰值效率运行，并且不需要定制的部件或适配器。
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公开(公告)号：CN100567736C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200710167126.8
申请日：2003-06-10
Applicant: 杰克科技有限公司 , 1123050艾伯塔有限公司
CPC classification number: F04B47/022 , F04B49/065 , F04B2201/0202 , F04B2201/1201 , F04B2203/0204 , F04B2203/0207 , F04B2203/0209
Abstract: 一种泵传动装置速度控制系统，包括一个用户接口、一个控制器和一个变速驱动器。该用户接口包括该泵传动装置几何形状的数学表示，其允许把杆速度分布转换成曲臂速度分布。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100422555C
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN03801646.X
申请日：2003-06-10
Applicant: 杰克科技有限公司 , 1123050艾伯塔有限公司
CPC classification number: F04B47/022 , F04B49/065 , F04B2201/0202 , F04B2201/1201 , F04B2203/0204 , F04B2203/0207 , F04B2203/0209
Abstract: 一种泵传动装置速度控制系统，包括一个用户接口、一个控制器和一个变速驱动器。该用户接口包括该泵传动装置几何形状的数学表示，其允许把杆速度分布转换成曲臂速度分布。
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公开(公告)号：CN101220808A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200710167126.8
申请日：2003-06-10
Applicant: 杰克科技有限公司 , 1123050艾伯塔有限公司
CPC classification number: F04B47/022 , F04B49/065 , F04B2201/0202 , F04B2201/1201 , F04B2203/0204 , F04B2203/0207 , F04B2203/0209
Abstract: 一种泵传动装置速度控制系统，包括一个用户接口、一个控制器和一个变速驱动器。该用户接口包括该泵传动装置几何形状的数学表示，其允许把杆速度分布转换成曲臂速度分布。
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公开(公告)号：CN1596342A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN03801646.X
申请日：2003-06-10
Applicant: 多相工程控制公司
CPC classification number: F04B47/022 , F04B49/065 , F04B2201/0202 , F04B2201/1201 , F04B2203/0204 , F04B2203/0207 , F04B2203/0209
Abstract: 一种泵传动装置速度控制系统，包括一个用户接口、一个控制器和一个变速驱动器。该用户接口包括该泵传动装置几何形状的数学表示，其允许把杆速度分布转换成曲臂速度分布。
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公开(公告)号：CN103547805B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201280023574.X
申请日：2012-03-15
Applicant: 惠而浦股份公司
IPC: F04B35/04
CPC classification number: F04B49/06 , F04B35/04 , F04B35/045 , F04B49/00 , F04B49/106 , F04B53/14 , F04B2201/0201 , F04B2201/0202 , F04B2203/0401 , F04B2203/0402
Abstract: 本发明涉及用于共振式线性压缩机(50)的促动系统，所述共振式线性压缩机(50)被应用于冷却系统，后者被特别地设计成在所述压缩机(50)的机电频率下运行，使得在所述冷却系统的过载的状态下，该系统将能够提升由线性促动器供应的最大功率。另外，本发明涉及用于共振式线性压缩机(50)的促动方法，该促动方法的操作步骤使得人们能够在机电共振频率下促动设备，又能够在过载状态下控制该设备的促动。
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公开(公告)号：CN102292548B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201080005347.5
申请日：2010-01-25
Applicant: 沃伦鲁普公司
Inventor： 马克·D·麦考特 , 朱海虹 , 迈克尔·布拉斯·奥恩多夫 , 约瓦恩·塞巴斯蒂安·罗伯茨 , 查尔斯·伦道夫·阿博特
IPC: F04B43/00 , F04B43/073
CPC classification number: F04B43/0736 , F04B43/0081 , F04B43/02 , F04B43/073 , F04B2201/0201 , F04B2201/0202
Abstract: 一种用于提高泵中压缩空气效率的方法，其利用空气效率装置来优化泵中的压缩空气量。当泵在第一和第二隔膜位置之间移动时，空气效率装置可允许通过减小提供到泵的压缩空气流来控制气动隔膜泵的运行。传感器可用于监测隔膜组件的速度。进而，全部位置反馈是可能的，以使泵自身调节来确定隔膜组件的优化的或接近优化的调小点。这样，通过最小化所需压缩空气量实现了空气的节约。
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