用于基于光弹性法获得力的系统和方法

    公开(公告)号:CN106662491A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201580029402.7

    申请日:2015-06-02

    CPC classification number: G01L1/241 B25J13/081

    Abstract: 提供了用于获得力的方法和系统,其中所述系统包括由光弹性材料制成的具有多个表面的块体、以及一个或多个在块体周围配置的偏光器,所述多个表面包括第一表面,在所述第一表面上物体正在向块体施加力,并且其中所述方法包括通过同时地使用三个偏光器来测量光弹性强度并且在时间上顺序地获得每一组光弹性强度以获得一系列测得的光弹性强度、以及基于与测得的和预测的光弹性强度之间的差异相关的量通过使用优化方法获得力。

    光学微腔、力测量装置及方法、模量测量方法及显示面板

    公开(公告)号:CN106124096A

    公开(公告)日:2016-11-16

    申请号:CN201610407392.2

    申请日:2016-06-12

    CPC classification number: G01L1/24 G01L1/241

    Abstract: 本发明的实施例提供光学微腔、力测量装置及方法、模量测量方法及显示面板。光学微腔包括:光致发光层,被配置为产生光。光子晶体层,设置于光致发光层的一侧,被配置为反射光致发光层产生的光,并且透射用于光致发光层的激励光。以及半透半反层,设置于光致发光层的另一侧并且与光子晶体层相对,被配置为部分透射并且部分反射光致发光层产生的光。力测量装置包括:光学微腔以及至少一个光学传感器。根据本发明的实施例,提供了结构简单,易于批量制作的光学微腔、力测量装置以及显示面板,以及易于实现的力测量方法和模量测量方法。

    检查缺陷方法和装置、晶圆、半导体元件

    公开(公告)号:CN102648405B

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201080052086.2

    申请日:2010-11-19

    Abstract: 本发明提供一种检查缺陷方法和装置、晶圆、半导体元件及质量管理方法。通过偏振器对光赋予了偏振光后向被检查体倾斜入射,对散射光使用CCD摄像装置进行拍摄,基于得到的P偏振光分量图像与S偏振光分量图像,求出偏振光分量强度、和作为它们的比的偏振光方向。根据通过在未对被检查体施加应力的状态下与对被检查体施加静荷重而在被检查体的光照射侧的面上施加了作为拉伸应力的静应力的状态下的拍摄而得到的图像,求出偏振光分量强度、偏振光方向,通过与规定阈值进行对比来进行缺陷的检测、分类。能够高精度地检测被检查体缺陷,能够通过确定缺陷的种类对缺陷进行分类,对半导体元件制作用晶圆检查缺陷进行质量管理,使得不良品大幅度地减少。

    使用光学式触觉传感器的力矢量重构法

    公开(公告)号:CN1853094B

    公开(公告)日:2010-05-05

    申请号:CN200480026774.6

    申请日:2004-09-10

    CPC classification number: G01L1/241 G01L1/247 G01L5/226 G01L5/228

    Abstract: 一种力矢量重构法,其缩短用于计算力矢量的计算时间。其是使用了光学式触觉传感器的力矢量重构法。其包括:取得标志图像步骤,其在物体接触到了该弹性体的接触面时对该有色标志的动作进行摄影并取得标志图像;取得信息步骤,其根据该标志图像取得比要求出的力矢量个数多的关于标志动作的信息;以及取得力矢量步骤,其通过把取得的关于标志动作的信息向传递函数中输入而把力矢量作为输出来取得,其仅使用要求出的力矢量位置(P)近旁区域(A1)的关于标志动作的信息来计算力矢量。

    用于船体局部强度测量的光纤光栅应力传感器及应用

    公开(公告)号:CN109682515A

    公开(公告)日:2019-04-26

    申请号:CN201910124630.2

    申请日:2019-02-20

    CPC classification number: G01L1/241 G01L1/246

    Abstract: 本发明公开了一种应用于测量船体局部强度的光纤光栅应力传感器。主要包括:传感器底座固定板、传感器应变部分、应力传感敏感器件、固定螺丝孔、传感器连接部分、光纤防水航插装置、温度补偿光栅以及密封装置;作为应力传感器敏感器件的光纤光栅粘在两侧的传感器底座固定板上,船体局部强度变化将以光纤光栅的波长变化形式在解调端显示出来。针对海洋恶劣的条件,本发明提高了传感器的水密性及防破坏能力,同时采取了参考光栅法来进行温度补偿,将温补光栅粘贴在一侧的底座固定板内,从而消除温度对于测量船体局部强度的影响。本发明为船体局部结构的应力实时监测提供一种稳定可靠的光纤光栅传感器,提高了在船舶上使用此类传感器的可靠性和耐久性。

    一种基于动态光弹性法的电推进领域微推力瞬态测量系统

    公开(公告)号:CN107328504A

    公开(公告)日:2017-11-07

    申请号:CN201710637716.6

    申请日:2017-07-31

    CPC classification number: G01L1/241 G01L5/0038

    Abstract: 本发明涉及一种基于动态光弹性法的电推进领域微推力瞬态测量系统。本发明根据电推进的推力特点,基于动态光弹性法,以光学弹性元件为核心构建光路系统,通过测定其受力时光学条纹图像的实时变化,从而显示瞬时受力的大小与变化情况。本系统包括激光器,光学弹性元件,高速瞬态图像采集器以及必要的图像处理技术,主要用于采集脉冲式推进系统产生的随时间不断变化的瞬态推力。本系统基于应力-光学定律,运用光弹性特殊材料以及高速摄影装置将推力器产生的推力可视化,尤其记录推力的变化过程,以研究电推进推力器推力的变化机理。

    基于法珀腔的碳化硅基高温压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN106441657A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610834555.5

    申请日:2016-09-20

    CPC classification number: G01L1/241 G01L7/086

    Abstract: 本发明公开了一种基于法珀腔的碳化硅基高温压力传感器及其制备方法,属于微机电系统(MEMS)领域。该传感器主要包括碳化硅基底1,碳化硅敏感薄膜3及碳化硅光纤4;所述碳化硅基底1上有一置于中心位置的非贯通空腔,碳化硅基底1上有碳化硅敏感薄膜3,使得碳化硅基底1上的非贯通空腔形成一密闭真空腔,即法珀腔2;在碳化硅基底1下方中心,有位置与法珀腔2中心位置相应的光纤4,用传导信息。本发明提出的传感器能够在0-650℃环境温度下工作。采用碳化硅-碳化硅高温直接键合,避免了不同材料键合产生的测量误差,大大提高了测量精度和稳定性。

    一种铌酸盐红色高亮度弹性应力发光材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN105542765A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201510880449.6

    申请日:2015-11-30

    Applicant: 青岛大学

    CPC classification number: C09K11/673 G01L1/241

    Abstract: 本发明涉及一种铌酸盐红色高亮度弹性应力发光材料及其制备方法,该材料以Ca2Nb2O7为基体,以Pr3+为激活剂,其化学表达式为[(Ca1-xMx)1-z]2Nb2O7:(Pr1-yRy)z(0≤x≤0.25,0≤y≤0.45,0<z≤0.15),其中M表示Ca位替代元素,选自Mg、Sr、Ba中的一种或多种;R表示共掺杂的稀土或过渡金属元素,选自La、Nd、Sm、Eu、Gd、Yb、Lu、Cr、Mn、Ag、Cd中的一种或多种;x、y、z表示摩尔百分含量。材料采用高温固相法在空气中合成。本发明的优点在于:(1)材料制备方法简单、易操作、设备要求低;(2)制备的材料具有强的弹性应力发光,在黑暗环境下用肉眼可观测到明亮的红光发射,并具有较好的耐热性和耐水性,可加工性好,应用范围广;(3)材料的基体原料均为地球上的富含元素,属于环境友好型材料。

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