-
公开(公告)号:CN100507003C
公开(公告)日:2009-07-01
申请号:CN02807911.6
申请日:2002-02-06
Applicant: 麻省理工学院
Inventor: 詹姆斯·道格拉斯·哈佩尔 , 理查德·哈特·马修斯 , 贝尔纳黛特·约翰逊 , 马莎·苏珊·彼得罗维克 , 安·朗德尔 , 弗朗西丝·艾伦·纳吉 , 蒂莫西·斯蒂芬斯 , 琳达·玛丽·门登霍尔 , 马克·亚历山大·霍利斯 , 阿尔贝特·M·扬 , 托德·哈里森·赖德 , 埃里克·戴维·施沃贝尔 , 特里纳·雷·维安
IPC: C12Q1/68 , G01N27/26 , G01N33/53 , G01N33/543 , G01N33/552 , G01N33/554 , H01L21/203 , H01L29/00
CPC classification number: G01N33/554 , G01N15/0205 , G01N21/07 , G01N21/64 , G01N21/6428 , G01N21/75 , G01N21/76 , G01N33/54373 , G01N33/54393 , G01N33/56983 , G01N33/582 , G01N2021/6439 , G01N2201/025 , G01N2201/061 , Y10S435/808 , Y10S436/805
Abstract: 本发明涉及探测一或多种靶颗粒的光电子系统。该系统包括一个反应室,一个样品收集器,一个光学探测器,和一个含有细胞的容器,每个所述细胞都具有受体,所述受体存在于每个细胞的表面上并且对待测靶颗粒具有特异性,其中所述靶颗粒与所述受体的结合将直接或间接地激活一个报告分子,由此产生一个可测量的光学信号。
-
公开(公告)号:CN104681465B
公开(公告)日:2018-07-17
申请号:CN201410705549.0
申请日:2014-11-27
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC classification number: H01L21/30604 , G01B11/0641 , G01N2201/025 , G01N2201/061 , H01L21/67253 , H01L22/12 , H01L22/20
Abstract: 本发明公开了一种集成系统操作方法,该方法包括以下步骤:通过计量装置测量衬底的膜以获得膜信息。将衬底从计量装置移至邻近转移装置的工艺装置。将膜信息发送至工艺装置。根据膜信息对衬底施加膜处理。本发明还涉及集成系统以及膜处理方法。
-
公开(公告)号:CN104620371B
公开(公告)日:2017-10-31
申请号:CN201380045370.0
申请日:2013-09-02
Applicant: 联达科技设备私人有限公司
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/681 , B25J11/0095 , B25J15/0616 , B25J15/0658 , B25J15/0666 , G01B11/27 , G01N21/9501 , G01N2201/025 , H01L21/67144 , H01L21/67706 , H01L21/6838 , H01L21/68757 , Y10T29/49826
Abstract: 一种晶圆台结构,其提供了适合于操持晶圆和膜片架的单个晶圆台表面,该晶圆台结构包括具有借助于形成在内基底托盘表面上或中的一组脊状物而形成在其中的一组隔室;布置在一组基底托盘隔室内的可硬化流体可渗透隔室材料;以及形成在基底托盘内表面中的一组开口,硬化隔室材料可通过该组开口暴露于负压或正压。基底托盘包括第一陶瓷材料(例如,瓷件),并且可硬化隔室材料包括第二陶瓷材料。借助于标准加工处理同时加工基底托盘和隔室材料,从而使得以基本上相同的速率对基底托盘和隔室材料的暴露的外表面进行平面化,以形成具有高或超高平面性的晶圆台表面。
-
公开(公告)号:CN104718607B
公开(公告)日:2017-10-03
申请号:CN201380045373.4
申请日:2013-09-02
Applicant: 联达科技设备私人有限公司
Inventor: 林靖
IPC: H01L21/68 , H01L21/677 , H01L21/683
CPC classification number: H01L21/681 , B25J11/0095 , B25J15/0616 , B25J15/0658 , B25J15/0666 , G01B11/27 , G01N21/9501 , G01N2201/025 , H01L21/67144 , H01L21/67706 , H01L21/6838 , H01L21/68757 , Y10T29/49826
Abstract: 自动地校正未适当地安装在膜片架上的晶圆的旋转错位包括在检查系统开始晶圆检查过程之前,使用图像捕获装置捕获晶圆的多个部分的图像;数字地确定晶圆相对于膜片架和/或图像捕获装置的视野的一组参考轴的旋转错位角度和旋转错位方向;以及借助于与检查系统分离的膜片架操持设备校正晶圆的旋转错位,所述晶圆操持设备被构造为在与旋转错位方向相反的方向上将膜片架旋转旋转错位角度。能够在没有减少膜片架操持吞吐量或检查处理吞吐量的情况下,在将膜片架放置在晶圆台上之前进行这样的膜片架旋转。
-
公开(公告)号:CN106990074A
公开(公告)日:2017-07-28
申请号:CN201710273684.6
申请日:2017-04-25
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
CPC classification number: G01N21/61 , G01N2201/0231 , G01N2201/025
Abstract: 本发明公开了一种近红外多个激光波段整层大气透过率和水汽总量的测量仪,可见到近红外多个激光波段整层大气透过率和水汽总量测量仪,工作时太阳跟踪测量探头和二维旋转转台正面朝南水平放置,工控机发命令给采集控制电路板,通过光电开关零位检测找到水平和俯仰零位后控制二维旋转转台回到正南和水平初始位置,根据天文视日轨迹粗跟踪方法使太阳跟踪测量探头指向太阳,并启动四象限精跟踪,使探头的测量光筒对准太阳,太阳平行光经光筒内透镜聚焦后,可见到近红外光经滤光片分光后到达探测器,形成电信号送入采集控制电路板,通过滤光片旋转,可将11个波段和背景信号存入采集控制电路板,再传送到工控机存储和显示。
-
公开(公告)号:CN104681465A
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:CN201410705549.0
申请日:2014-11-27
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC classification number: H01L21/30604 , G01B11/0641 , G01N2201/025 , G01N2201/061 , H01L21/67253 , H01L22/12 , H01L22/20
Abstract: 本发明公开了一种集成系统操作方法,该方法包括以下步骤:通过计量装置测量衬底的膜以获得膜信息。将衬底从计量装置移至邻近转移装置的工艺装置。将膜信息发送至工艺装置。根据膜信息对衬底施加膜处理。本发明还涉及集成系统以及膜处理方法。
-
公开(公告)号:CN104007070A
公开(公告)日:2014-08-27
申请号:CN201410275785.3
申请日:2014-06-19
Applicant: 中国石油大学(华东)
CPC classification number: G01N21/4133 , G01N21/87 , G01N33/38 , G01N2201/025
Abstract: 本发明属于实验检测领域,具体地,涉及一种用于矿物样品检测的自动观测装置。用于矿物样品检测的自动观测装置,包括:底座、支撑臂架、样品固定器、步进电机、高清摄像头、控制系统;折射仪固定于底座上;支撑臂架顶端设有竖向通孔,升降杆穿过竖向通孔并与竖向通孔形状配合;支撑臂架的顶端开有空腔,空腔内安装有齿轮,齿轮与升降杆的齿条啮合;样品固定器为顶端封闭的正六棱柱壳体,样品固定器的竖直孔内装有弹簧,弹簧下端设有样品定位头安装器,样品定位头固定器下端为盲孔,样品定位头与样品定位头固定器下端盲孔相配合。本发明固定样品方便高效,排除了杂光干扰,实现了对矿物样品的不同角度的旋转观察,提高矿物样品检测准确度。
-
公开(公告)号:CN101551337A
公开(公告)日:2009-10-07
申请号:CN200910137895.2
申请日:2002-02-06
Applicant: 麻省理工学院
Inventor: 詹姆斯·道格拉斯·哈佩尔 , 理查德·哈特·马修斯 , 贝尔纳黛特·约翰逊 , 马莎·苏珊·彼得罗维克 , 安·朗德尔 , 弗朗西丝·艾伦·纳吉 , 蒂莫西·斯蒂芬斯 , 琳达·玛丽·门登霍尔 , 马克·亚历山大·霍利斯 , 阿尔贝特·M·扬 , 托德·哈里森·赖德 , 埃里克·戴维·施沃贝尔 , 特里纳·雷·维安
IPC: G01N21/76 , G01N33/569 , G01N33/554 , G01N33/58
CPC classification number: G01N33/554 , G01N15/0205 , G01N21/07 , G01N21/64 , G01N21/6428 , G01N21/75 , G01N21/76 , G01N33/54373 , G01N33/54393 , G01N33/56983 , G01N33/582 , G01N2021/6439 , G01N2201/025 , G01N2201/061 , Y10S435/808 , Y10S436/805
Abstract: 本发明涉及探测一或多种靶颗粒的光电子系统。该系统包括一个反应室,一个样品收集器,一个光学探测器,和一个含有细胞的容器,每个所述细胞都具有受体,所述受体存在于每个细胞的表面上并且对待测靶颗粒具有特异性,其中所述靶颗粒与所述受体的结合将直接或间接地激活一个报告分子,由此产生一个可测量的光学信号。
-
公开(公告)号:CN109475874A
公开(公告)日:2019-03-15
申请号:CN201780045077.2
申请日:2017-07-19
Applicant: 西门子医疗保健诊断公司
IPC: B01L3/02 , B65G29/00 , B01L3/14 , A61B5/04 , A61B5/0408 , A61B5/0432
CPC classification number: G01N35/00663 , A61B5/14557 , B01L9/06 , B01L2200/028 , B01L2300/0803 , G01N21/13 , G01N21/253 , G01N35/025 , G01N2035/0444 , G01N2201/025 , G01N2201/0415
Abstract: 用于执行光度计比色皿映射的计算机实现的方法包括在反应环的完全旋转期间检测与反应环中的多个器皿之间的多个间隙相关联的边缘。根据边缘检测过程来确定每个间隙,所述边缘检测过程包括:响应于检测到低于阈值的第一预定数目的光度计设备控制管理器(DCM)测量来识别器皿内部;响应于检测到高于阈值的第二预定数目的光度计DCM测量来识别上升边缘;并且响应于检测到低于阈值的第三预定数目的光度计DCM测量来识别下降边缘。边缘检测过程还包括将上升边缘和下降边缘记录为指示多个间隙中的一个。
-
公开(公告)号:CN105388304B
公开(公告)日:2018-06-19
申请号:CN201510526025.X
申请日:2015-08-25
Applicant: 希森美康株式会社
IPC: G01N35/00
CPC classification number: G01N35/00732 , G01N21/78 , G01N35/00 , G01N35/00871 , G01N35/02 , G01N35/026 , G01N35/04 , G01N2021/7759 , G01N2035/00326 , G01N2035/00831 , G01N2035/00851 , G01N2035/00881 , G01N2035/0465 , G01N2035/0491 , G01N2201/025 , G01N2201/061
Abstract: 本发明提供一种能够简化检查系统结构的检查系统。检查系统10具有运送并检查样本的检查装置20和检查装置30。检查装置20具有主控制部件25,该主控制部件25用于向检查装置20和检查装置30分配样本、并控制分配给检查装置20的样本的运送作业,检查装置30具有从属控制部件35,该从属控制部件35用于控制主控制部件25分配给检查装置30的样本的运送作业。本发明还提供一种利用具有运送并检查样本的第一检查装置和第二检查装置的检查系统的检查方法。
-
-
-
-
-
-
-
-
-