显示装置的检查装置以及显示装置的检查方法

    公开(公告)号:CN105738380A

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201510997280.2

    申请日:2015-12-25

    Abstract: 本发明涉及显示装置的检查装置以及显示装置的检查方法。该显示装置的检查装置包括:第一照明单元,以第一入射角向所述显示装置提供第一入射光;第二照明单元,以第二入射角向所述显示装置提供第二入射光;第三照明单元,以第三入射角向所述显示装置提供第三入射光;以及缺陷检测器,接收从由所述显示装置以第一反射角反射的所述第一入射光获得的第一反射光、从由所述显示装置以第二反射角反射的所述第二入射光获得的第二反射光、以及从由所述显示装置以第三反射角反射的所述第三入射光获得的第三反射光中的至少一个,以检测所述显示装置的缺陷。

    一种检测光阻层阻挡能力的方法

    公开(公告)号:CN103887200A

    公开(公告)日:2014-06-25

    申请号:CN201410109564.9

    申请日:2014-03-24

    Inventor: 田慧

    Abstract: 本发明公开了一种检测光阻层阻挡能力的方法,包括:测试硅片表面的折射率作为初始折射率;在硅片上涂覆光刻胶,形成光阻层;对不同区域的光阻层采用不同的曝光时间进行曝光并显影,得到具有不同厚度的光阻层;测量不同区域上光阻层的厚度;以预设量在光阻层上进行离子注入;剥离硅片上的光阻层;测试不同厚度光阻层的硅片表面的折射率,并结合离子注入前的初始折射率值,从而判断不同厚度光阻层的阻挡能力,以确定适合离子注入的最佳光阻层厚度。上述方法只需要一个硅片就能得到不同厚度光阻层对离子注入的阻挡能力,不需浪费多个硅片,节约材料,不需要次级离子质谱测试就能找到最佳光阻层厚度,方法简单,同时降低检测成本。

    实时在线吸收检测系统
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102162791A

    公开(公告)日:2011-08-24

    申请号:CN201010580338.0

    申请日:2010-12-09

    CPC classification number: G01N21/85 G01N21/255 G01N2201/0683

    Abstract: 本发明提供了一种实时在线吸收检测系统,包括仅允许从透光通路进入第一光路的光源、沿第一光路设置的滤光片、偏振器、光束变换单元、分光器、样品单元、第一探测器以及沿第二光路设置的第二探测器,第一光路和第二光路在分光器处分开,该系统还包括控制模块,其与第一探测器和第二探测器耦联并通信,用于获得样品单元中待测样品的吸收率,其中偏振器允许光源发出的光束中的最大偏振分量经过,从而增加了入射到第一探测器和第二探测器上的光强。该系统采用低成本光源与滤光片结合来选择具有特定波长的测量用光束,从而克服了现有技术的吸收检测系统的连续光源与光栅结合来选择测量用光束而导致成本高的缺点。

    用于衰减入射光束的组件
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106463037A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201580025948.5

    申请日:2015-03-25

    Inventor: A·西门斯

    Abstract: 本发明涉及一种用于衰减有限扩散的入射光束的组件(100)。特别地,对于实现直接入射光的稳定衰减的目的,本发明解决方案提供了组件,该组件包括:光源(10),用于产生非偏振光束,该非偏振光优选为非偏振的单色光;有用光区域(50),来自光源(10)的非偏振光穿过该有用光区域(50)并且优选地以直线穿过;以及吸收设备(30),被布置在有用光区域(50)的下游,并且优选地在直接光束辐射方向的下游,以用于至少部分吸收入射光,所述吸收设备(30)包括被布置在光束方向上的至少一个偏振设备(31、32)。

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