一种抗干扰集成式刻蚀终点检测设备

    公开(公告)号:CN119124028B

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202411586792.5

    申请日:2024-11-08

    Abstract: 本发明提供了一种抗干扰集成式刻蚀终点检测设备,包括:用于收集刻蚀腔体内光学信号的信号收集模块;分别用于在不同工艺场景下接收并处理光学信号的干涉终点检测功能模块和光学发射光谱终点检测功能模块,其中干涉终点检测功能模块包括用于在第一工艺场景下为检测提供光源的氙灯光源,用于为氙灯光源供电的升压供电模块。本发明通过集成OES与IEP功能并进行抗干扰设计形成一个整机,同时进行干涉终点检测与光学发射光谱终点检测,实现了一台设备通过集成双检测功能进行刻蚀终点的精准检测。本发明还缩小了单一功能设备所占用的较大分散空间,最小化集成体积提高了空间利用率。

    一种可调角度的单色仪型凹面全息光栅、光谱仪及方法

    公开(公告)号:CN119860843A

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202510147800.4

    申请日:2025-02-11

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明属于ICP光谱分析技术领域,尤其涉及一种可调角度的单色仪型凹面全息光栅、光谱仪及方法;所述全息光栅中伺服电机与丝杆机构连接,能够驱动丝杆机构的丝杆转动,光杆轴承连接在连接块上,连接块固定在丝杆机构活动端,单色仪型凹面全息光栅本体连接在移动底座上,光杆一端与单色仪型凹面全息光栅本体接触,另一端配合在光杆轴承内;本发明采用2片DMD与单色仪型凹面全息光栅实现空间成像光谱分析的方式,第一片DMD实现ICP等离子炬的空间位置选择,单色仪型全息光栅实现高效率、结构简单的旋转光栅式分光,选用第二片DMD作为可调宽度的出射狭缝对所选波段进行精细分光,从而实现系统对ICP等离子炬的空间成像光谱分析。

    一种联合滤光片多光谱成像传感器及方法

    公开(公告)号:CN119860842A

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202510088948.5

    申请日:2025-01-21

    Abstract: 一种联合滤光片多光谱成像传感器及方法。涉及传感器技术领域,具体涉及联合滤光片多光谱成像技术领域。其有效解决了现有技术无法兼顾宽范围和高精度的光谱调节问题,提高了多光谱谱段选取和弱小目标探测识别的精度。所述成像传感器包括:成像传感器、优化后的多光谱滤光片阵列和优化后的液晶可调谐滤光片;所述成像方法包括如下步骤:目标背景图像射入联合滤光片多光谱传感器,得到N个波段的窄波段光和待调谐的光;将N个波段的窄波段光和待调谐的光转化为图像信号;恢复三维光谱图象,粗探测联合滤光片多光谱传感器;精调节联合滤光片多光谱传感器;光谱成像。

    一种用于太赫兹时域光谱系统的光功率自适应调节方法及装置

    公开(公告)号:CN113670849B

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202110927145.6

    申请日:2021-08-13

    Abstract: 本发明公开了一种用于太赫兹时域光谱系统的光功率自适应调节装置及方法,其包括飞秒激光器、发射电控可调衰减器、探测电控可调衰减器、发射光分路器、探测光分路器和电控可调衰减器电源控制单元,光功率转换输送模块、主控MCU和上位机PC;主控MCU采集、解析光功率转换输送模块发来的光功率信号,与对应发射端光功率阈值或探测端光功率阈值进行对比,向电控可调衰减器电源控制单元输出对应脉冲占空比信号,电控可调衰减器电源控制单元基于接收的脉冲占空比信号向发射电控可调衰减器和探测电控可调衰减器输出电压。其通过主控MCU和电控可调衰减器电源控制单元的协同作用,实现EVOA的自适应调整,调试简易、响应速度快、控制精度高、成本低。

    基于位置调控目标重建的分布式偏振探测系统与方法

    公开(公告)号:CN119845418A

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202510345835.9

    申请日:2025-03-24

    Abstract: 本发明公开了一种基于位置调控目标重建的分布式偏振探测系统与方法,属于分布式偏振协同探测和光电成像领域,分布式偏振探测系统包括照明装置、多参量辅助探测载物台和长波红外偏振探测装置,长波红外偏振探测装置具有三个子偏振探测装置,该方法基于分布式偏振探测系统进行实施,通过基于位置调控目标重建的分布式偏振探测系统能够在同一时间采集三个不同方位的偏振信息,提高单一角度下伪装/类似目标的识别能力和避免因时间延迟导致的误差。合理分布探测位置所获取的偏振信息相互补充、偏振图像相互融合,有效地从散射光中提取目标信号分析干扰光和目标反射光的偏振特性差异,有助于提高偏振成像的分辨率、对比度和探测距离。

    分光测定装置及分光测定方法
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119836563A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202380063914.X

    申请日:2023-07-12

    Abstract: 分光测定装置中的解析部使用第1修正系数,以第1放大器的线性特性与基准线性特性一致的方式修正第1电信号。解析部使用第2修正系数,以第2放大器的线性特性与基准线性特性一致的方式修正第2电信号。解析部基于修正后的第1电信号产生第1光谱数据,基于修正后的第2电信号产生第2光谱数据。解析部基于第1光谱数据及第2光谱数据,产生被测定光的光谱数据。

    一种光谱模块及光谱仪
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109084896B

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN201810844983.5

    申请日:2018-07-27

    Abstract: 本发明公开了一种光谱模块,包括座体、狭缝结构、光栅结构、DMD数字微镜结构及光电转换器,狭缝结构、光栅结构、DMD数字微镜结构及光电转换器分别固定于座体,入射光经狭缝结构进入光谱模块,经光栅结构分光后,不同波长的光被分开并依次折射到DMD数字微镜结构,DMD数字微镜结构驱动不同的镜片,将对应波长的光反射至光电转换器上,光电转换器检测入射光中不同波长光的含量,通过上述设计,整个光谱模块结构简单、组装及维修拆卸方便。

    基于光栅分束器干涉仪的超宽二维视场超高光谱分辨率成像光谱仪

    公开(公告)号:CN119803665A

    公开(公告)日:2025-04-11

    申请号:CN202411986297.3

    申请日:2024-12-31

    Abstract: 本发明公开了一种基于光栅分束器干涉仪的超宽二维视场超高光谱分辨率成像光谱仪,属于光谱成像技术领域,该成像光谱仪包括:第一微透镜阵列、第二微透镜阵列、光栅分束器干涉仪和探测器,光栅分束器干涉仪包括:第一凹面反射镜、第二凹面反射镜、固定平面镜、移动角反射镜和平面透射光栅;第一微透镜阵列用于通过多根光纤将入射光传输至用于准直的第二微透镜阵列,每列第一微透镜排布在不同竖直面内的圆弧上、每行第一微透镜排布在不同水平面内的圆弧上,可获得二维超宽视场。本发明在光栅分束器干涉仪中使用平面透射光栅,有利于节约成本,使用移动角反射镜作为移动部件,有效消除了扫描过程中动镜倾斜与横移对采样干涉图的影响。

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