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    Durable graphite connector and its manufacturing method
    191.
    发明专利
    Durable graphite connector and its manufacturing method 审中-公开
    耐久石墨连接器及其制造方法

    公开(公告)号：JP2007335831A

    公开(公告)日：2007-12-27

    申请号：JP2006323722

    申请日：2006-11-30

    Applicant: Momentive Performance Materials Inc ,  モーメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・インク

    Inventor： LONGWORTH DOUGLAS A ,  HEIL TIMOTHY J ,  LU ZHONG-HAO ,  LIU XIANG

    IPC: H01L21/02 ,  C04B41/89 ,  C23C16/46 ,  H05B3/02 ,  H05B3/14 ,  H05B3/74

    CPC classification number: H01L21/68714 ,  C04B41/009 ,  C04B41/52 ,  C04B41/89 ,  H05B3/145 ,  H05B3/265 ,  C04B41/4531 ,  C04B41/5001 ,  C04B41/5063 ,  C04B41/5064 ,  C04B41/522 ,  C04B35/522

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To extend the life of a graphite component such as a connection post for heater and further improve strength thereof without damaging characteristics inherent in a graphite such as superior electrical conductivity and thermal shock resistance.
    SOLUTION: The graphite component of an article is coated with a pyrolytic graphite (pG), so that mechanical strength is higher than an uncoated graphite component at least by 25%. In use application of connector such as a heater used for a semiconductor process assembly, a pG coating constituent is over-coated with at least a protective layer 9 of electric insulating material. In such a case, a part of the pG coating graphite component is exposed to form an electric connection part to the assembly (not coated with the protective layer).
    COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题：延长诸如加热器连接柱的石墨部件的寿命，并且进一步提高强度，而不损害诸如优异的导电性和耐热冲击性的石墨中固有的特性。

    解决方案：制品的石墨组分涂覆有热解石墨（pG），使得机械强度高于未涂覆的石墨组分至少25％。 在使用诸如用于半导体工艺组件的加热器之类的连接器的使用中，pG涂层组分至少覆盖有电绝缘材料的保护层9。 在这种情况下，pG涂层石墨部件的一部分被暴露以形成到组件的电连接部件（未涂覆保护层）。 版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

    シリコーンポリマーおよびそれを含む組成物
    196.
    发明专利
    シリコーンポリマーおよびそれを含む組成物 审中-公开

    公开(公告)号：JP2021518466A

    公开(公告)日：2021-08-02

    申请号：JP2020550659

    申请日：2019-03-14

    Applicant: モメンティブ パフォーマンス マテリアルズ インコーポレイテッド ,  Momentive Performance Materials Inc.

    Inventor： アップクッタン,ヴィヌ・クリシュナン ,  ダッタ,プラナベシュ ,  ナイク,サンディープ ,  ザクセナ,アヌブハヴ ,  高梨 正則

    IPC: C08K3/013 ,  C08L83/14

    Abstract: (A)式(I) M 1 a M 2 b M 3 c D 1 d D 2 e D 3 f T 1 g T 2 h T 3 i Q j のシリコーンポリマー、 ここで M 1 =R 1 R 2 R 3 SiO 1/2 M 2 =R 4 R 5 R 6 SiO 1/2 M 3 =R 7 R 8 R 9 SiO 1/2 D 1 =R 10 R 11 SiO 2/2 D 2 =R 12 R 13 SiO 2/2 D 3 =R 14 R 15 SiO 2/2 T 1 =R 16 SiO 3/2 T 2 =R 17 SiO 3/2 T 3 =R 18 SiO 3/2 Q=SiO 4/2 ここで R 1 、R 2 、R 3 、R 5 、R 6 、R 8 、R 9 、R 10 、R 11 、R 13 、R 15 、R 16 は、水素、C1−C60の脂肪族または芳香族基、またはC1−C60のアルコキシ基から独立して選択され、 R 4 、R 12 、R 17 は、C1−C10のアルキル、C1−C10のアルコキシ、またはR 19 −A−R 20 −から独立して選択され、ここでAは、芳香族基、縮合芳香族基、不飽和脂環式基、不飽和複素環式基、またはそれらの2つ以上の組み合わせから選択される不飽和環状部分を含む基から選択され、R 19 は、−H、C1−C10のアルキル、アリル、ビニル、アルコキシ、アリルオキシ、ビニルオキシ、アクリレート、またはメタクリレートから選択され、そしてR 20 は二価の有機基から選択され、 R 7 、R 14 、R 18 は、水素、またはOR 22 、または不飽和一価ラジカル、または酸素、窒素、硫黄などのヘテロ原子を含むラジカル、またはオルガノシラン基を含むラジカルから独立して選択され、そして 下付き文字a、b、c、d、e、f、g、h、i、jはゼロまたは正であって、2≦a+b+c+d+e+f+g+h+i+j≦1000、b+e+h>0およびc+f+i≧0の制限を受ける、ならびに B)熱伝導性充填剤、を含む組成物が提供される。 【選択図】なし

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