주변-임계 반사 분광 장치, 시스템, 및 방법
    192.
    发明公开
    주변-임계 반사 분광 장치, 시스템, 및 방법 无效
    周期性反射光谱仪器,系统和方法

    公开(公告)号:KR1020130042659A

    公开(公告)日:2013-04-26

    申请号:KR1020137008315

    申请日:2010-04-07

    Abstract: 샘플의 임계 각도에 배향된 분광 장치는 샘플의 분광 특성을 검지하는 것으로 기재되어 있는데, 여기서 분광 장치는 샘플의 임계 각도에서 또는 그 부근에서의 입사 각도의 위치에서 샘플에 도입된 전자기 방사선으로 샘플을 여기시키도록 구성된 전자기 방사선 소스와, 상기 전자기 방사선 소스 및 샘플과 통신하고 상기 전자기 방사선을 내부적으로 반사하도록 구성된 고굴절율을 갖는 투과 크리스탈과, 상기 투과 크리스탈과 샘플 사이의 임계 각도 또는 그 근처의 입사 각도의 위치에서 샘플에 전자기 방사선을 도입하도록 구성된 반사기와, 상기 샘플로부터의 전자기 방사선을 검지하기 위한 검지기로 구성되어 있다. 또한, 본 발명에는 주변-임계 반사 분광 장치가 통합되어 있는 키트, 시스템 및 방법이 제공된다.

    적외선 써모파일 검출기를 포함하는 모니터링 시스템
    193.
    发明公开
    적외선 써모파일 검출기를 포함하는 모니터링 시스템 无效
    包含红外热敏探测器的监测系统

    公开(公告)号:KR1020060064689A

    公开(公告)日:2006-06-13

    申请号:KR1020067007696

    申请日:2004-09-10

    Abstract: The present invention relates to a semiconductor processing system that employs infrared-based thermopile detector for process control, by analyzing a material of interest, based on absorption of infrared light at a characteristic wavelength by such material. Specifically, an infrared light beam is transmitted through a linear transmission path from an infrared light source through a sampling region containing material of interest into the thermopile detector. The linear transmission path reduces the risk of signal loss during transmission of the infrared light. The transmission path of the infrared light may comprise a highly smooth and reflective inner surface for minimizing such signal loss during transmission.

    Abstract translation: 本发明涉及一种采用基于红外线热电堆检测器进行过程控制的半导体处理系统,通过基于这种材料对特征波长的红外光的吸收,分析感兴趣的材料。 具体地说,将红外光束从红外光源通过包含感兴趣的材料的采样区域传送到热电堆检测器的线性传输路径。 线性传输路径降低了红外光传输期间信号丢失的风险。 红外光的传输路径可以包括高度平滑和反射的内表面,用于在传输期间最小化这种信号损失。

    2파장 순간영상 동시측정시스템
    194.
    实用新型
    2파장 순간영상 동시측정시스템 失效
    2同时测量2个波长的力矩图像的系统

    公开(公告)号:KR2020000015808U

    公开(公告)日:2000-08-16

    申请号:KR2019990000483

    申请日:1999-01-18

    Inventor: 남기중 이성풍

    CPC classification number: G01J3/427 G01J3/021 G01J2003/4275 G01N21/314

    Abstract: 본고안은다른파장대역에서각기다른정보의빛을발광하는영상신호를측정하는시스템에관한것으로서, 더욱자세하게는 2영상측정광학시스템을부착한하나의카메라를이용하여동일한영상에서다른파장대의정보를방출하는현상으로부터동시에두 파장대역의영상정보를획득할수 있도록하는 2파장순간영상동시측정시스템에관한것이다. 본고안의일 실시예에의한 2파장순간영상동시측정시스템에의하면, 1개의광학시스템과 1대의카메라를이용하여 2파장의순간영상정보를얻도록함으로써시스템의구성을단순화하여기술적인어려움을최소화하고데이터의정확도를높일수 있을뿐만아니라정보를얻는데걸리는시간과경비를대폭적으로줄일수 있는효과가있다.

    DISPOSITIF DE DETECTION MULTISPECTRALE AMELIORE
    198.
    发明公开
    DISPOSITIF DE DETECTION MULTISPECTRALE AMELIORE 审中-公开
    改进的多光谱检测装置

    公开(公告)号:EP3318853A1

    公开(公告)日:2018-05-09

    申请号:EP17199519.4

    申请日:2017-11-01

    Abstract: Le dispositif de détection multispectrale comporte des premier et deuxième photodétecteurs (1a, 1b) sensibles à deux longueurs d'onde différentes. Les deux photodétecteurs sont connectés à deux condensateurs d'intégration de deux circuits de lecture différents. Deux circuits de remise à zéro (5a, 5b) sont configurés de manière à initialiser séparément les deux condensateurs d'intégration (3a, 3b). Un premier circuit de synchronisation (7a) est connecté au premier circuit de lecture (2a) et aux générateurs de signal de synchronisation et de signal d'horloge (8, 9). Le premier circuit de synchronisation (7a) est configuré de manière à
    o définir la trame par détection d'un front montant du signal de synchronisation (SYNC),
    o compter le nombre d'occurrences d'un front descendant du signal d'horloge (CLK),
    o initier ou arrêter une phase d'acquisition de données lorsque le nombre d'occurrences de fronts descendant est égal à une valeur seuil enregistrée dans un registre (10) du premier circuit de synchronisation (7a).

    Abstract translation: 多光谱检测装置包括对两个不同波长敏感的第一和第二光电检测器(1a,1b)。 两个光电检测器连接到两个不同读取电路的两个集成电容器。 两个复位电路(5a,5b)被配置为分别初始化两个积分电容器(3a,3b)。 第一同步电路(7a)连接到第一读取电路(2a)以及定时信号和时钟信号发生器(8,9)。 第一同步电路(7a)被配置为通过检测同步信号(SYNC)的上升沿来定义帧,o计数时钟信号的下降沿的出现次数( CLK),o当下降沿的出现次数等于存储在第一同步电路(7a)的寄存器(10)中的阈值时,启动或停止数据采集阶段。

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