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公开(公告)号：JP2017512998A
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：JP2016558733
申请日：2015-03-11
Applicant: カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
Inventor： ヴィルズィング アンドレーアス , ヴィルズィング アンドレーアス
CPC classification number: G03F7/70191 , G01J4/00 , G01M11/0285 , G03F7/70566 , G03F7/70591 , G03F7/7085
Abstract: 本発明は、偏光パラメータを測定するための測定装置に関する。光学系(50)の偏光パラメータを測定するための測定系(10)は、光放射(14)を供給するための照明系(12)と、前記照明系と前記光学系との間に配置される測定マスク(22)であって、該測定マスクの複数のフィールド点(26)に配置される測定構造体(24)を備える測定マスク(22)と、光放射のビーム経路に配置され、フィールド点依存方法で光放射の偏光状態を変化させることにより、フィールド点の1つが第1の偏光状態にある光放射(14−1)で照射されると同時に、別のフィールド点が第2の偏光状態にある光放射(14−2)で照射されるように構成された偏光変化装置(28)と、前記光学系との相互作用後に、光放射を検出するように構成された検出モジュール(32)と、を備える。【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017501385A
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：JP2016527442
申请日：2014-10-29
Applicant: ユニバーシティー コート オブ ザ ユニバーシティー オブ セイント アンドリューズUniversity Court Of The University Of St Andrews , ユニバーシティー コート オブ ザ ユニバーシティー オブ セイント アンドリューズUniversity Court Of The University Of St Andrews
Inventor： ドラキア キシャン , ドラキア キシャン , マジル マイケル , マジル マイケル , メッツガー クラウス , メッツガー クラウス
CPC classification number: G01J9/0246 , G01J1/4257 , G01J3/0205 , G01J4/00 , G01J2001/0481 , G01J2009/0257
Abstract: 光を散乱させることでランダム化させ、スペックルパターンを生成するための、複数のランダムに配置された散乱体を有するランダマイザと、前記スペックルパターンを検出して光の少なくとも1つの特性及び/又は光の少なくとも1つの特性における変化を求めるための検出器と、備える光学系。【選択図】図1
Abstract translation: 由散射光，用于产生斑点图案的随机，布置在多个的光的随机的，至少一个特征的具有随机化散射通过检测散斑图案和/或 检测器，并且包括用于在光的至少一个属性确定的变化的光学系统。 点域1
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公开(公告)号：JP2016533496A
公开(公告)日：2016-10-27
申请号：JP2016524862
申请日：2014-06-20
Applicant: ユニベルシテ ドゥ ストラスブール , ユニベルシテ ドゥ ストラスブール , サントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェサイアンティフィク(セエヌエールエス) , サントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェサイアンティフィク(セエヌエールエス)
Inventor： ザラット ジハード , ザラット ジハード , トルジンスキ マルク , トルジンスキ マルク , ラルマン アレク , ラルマン アレク , アンリッシュ クリスチャン , アンリッシュ クリスチャン
CPC classification number: G01N21/23 , G01J4/00 , G01N21/21 , G01N2201/0636 , G01N2201/0683 , G02B5/3016 , G02B5/3083 , G02B27/0025 , G02B27/286
Abstract: 本発明は、対象物体の測定点の偏光状態を分析及び/または生成するためのデバイスに関し、本デバイスは、入射光波において、所定の方向に直線偏光された光ビームを選択するのに好適な偏光子と、該光ビームを通過させるのに好適な第1の複屈折素子と、第1の素子と同一であり、該光ビームを通過させるのに好適な第2の複屈折素子であって、該光ビームが次に、該物体に向かって直接的または間接的に方向付けられて、反射ビームの形態で反射される、第2の複屈折素子とを含む。加えて、1つ以上の光学素子から成る光学アセンブリは、第1の素子と第2の素子との間の光路に位置し、本光学アセンブリは、奇数の鏡、または奇数の2分の1波長板、または奇数の組み合わされた鏡及び2分の1波長板から成る。
Abstract translation: 本发明涉及一种装置，用于分析和/或生成的对象，该装置中，入射光波，用于在预定的方向上选择直线偏振光束的优选偏振的测量点的偏光状态 和儿童，适于使所述光束的第一双折射元件是相同的第一元件，适合于使所述光束的第二双折射元件， 光束然后包括直接或间接地向所述的面向对象的，被反射在反射光束的形式，并且第二双折射元件。 此外，光学组件包括一个或多个光学元件，位于第一元件和第二元件，所述光学组件，奇数反射镜或奇数的半波长之间的光路， 板或由奇数组合反射镜和半波片的。
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公开(公告)号：JP2015503750A
公开(公告)日：2015-02-02
申请号：JP2014550274
申请日：2012-04-06
Applicant: ジェイ・エイ・ウーラム・カンパニー・インコーポレイテッドJ.A.Woollam Co.,Inc. , ジェイ・エイ・ウーラム・カンパニー・インコーポレイテッドJ.A.Woollam Co.,Inc.
Inventor： エム． ハージンガー，クレイグ , エム． ハージンガー，クレイグ
IPC: G01N21/21 , G01J4/04 , G01N21/3581
CPC classification number: G01J4/00 , G01N21/211 , G01N21/3581
Abstract: 【課題】テラヘルツ周波数帯域で動作するエリプソメーターである。【解決手段】基本的で好ましいシステムであるこのエリプソメーターの実施例は、順次、後進波発振器(BWO);第1の回転可能なワイヤーグリッド偏光子(WGP1);第1の回転子(RE1)(回転型ワイヤーグリッド偏光子(RWGP));サンプル(S)を支持するためのステージ(STG);第2の回転子(RE2)(第1(RP)、第2(RM1)、第3(RM2)、そして第4(RM3)反射素子を備えて構成される回転型遅延子(RRET));第2の回転可能なワイヤーグリッド偏光子(WGP2);そしてゴーレイセル検出器(DET)を備えている。【選択図】図1
Abstract translation: 本发明是一个椭偏仪在太赫兹频带中操作。 A是椭偏仪的一个基本的，优选的系统实施例是按顺序向后波振荡器（BWO）;第一可旋转线栅偏振器（WGP1）;所述第一转子（RE1） （旋转线栅偏振器（RWGP））;用于支撑（S）（STG）试样台;一第二转子（RE2）（1（RP），第二（RM1），第三（ RM2），以及4（RM3）可旋转的反射元件延迟器（RRET）），被配置;第二可旋转线栅偏振器（WGP2）;和包括格雷细胞检测器（DET） 那里。 点域1
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公开(公告)号：JP5461020B2
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：JP2009014240
申请日：2009-01-26
Applicant: 株式会社堀場製作所
Inventor： 悟 田中
IPC: G01N21/21
CPC classification number: G01J4/00 , G01N21/211
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2013165961A
公开(公告)日：2013-08-29
申请号：JP2013008622
申请日：2013-01-21
Inventor： MAKIHIRA TOMOYUKI , IWASE YOSHIHIKO , SATO MAKOTO , MIYATA KAZUHIDE , ARAHATA HIROYUKI , TOMITA RITSUYA , KIBE DAISUKE
CPC classification number: G01B9/02011 , A61B3/0008 , A61B3/102 , A61B3/1225 , A61B3/14 , G01B9/02091 , G01B2290/70 , G01J4/00
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a control apparatus and a control method capable of performing calibration of the polarization state.SOLUTION: A control apparatus includes an irradiation unit configured to irradiate a measurement object with a measuring beam, a restriction unit configured to restrict the measuring beam from being incident on the measurement object and to reflect or scatter the measuring beam, and a polarization control unit configured to control, based on the measuring beam reflected or scattered by the restriction unit, polarization of the measuring beam.
Abstract translation: 要解决的问题：提供能够执行偏振状态的校准的控制装置和控制方法。解决方案：控制装置包括被配置为用测量光束照射测量对象的照射单元，被配置为限制测量对象的限制单元 测量光束入射到测量对象上并反射或散射测量光束;以及偏振控制单元，被配置为基于由限制单元反射或散射的测量光束来控制测量光束的偏振。
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公开(公告)号：JPWO2010052934A1
公开(公告)日：2012-04-05
申请号：JP2010536704
申请日：2009-11-09
Applicant: 株式会社ニコン
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01J4/00 , G01N21/21 , G01N21/95607
Abstract: 評価装置(1)において、検光子(42)の透過軸の方位が偏光子(32)の透過軸に対して90度±3度の傾斜角度となるように検光子(42)を回転させて、それぞれの条件で撮像カメラ(44)がウェハ(10)の正反射像を撮像し、画像処理部(50)は、撮像カメラ(44)により撮像された2枚のウェハ(10)の画像に基づいて、繰り返しパターンの形状を評価してドーズ不良およびフォーカス不良を検出するようになっている。
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公开(公告)号：JP4791752B2
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：JP2005122311
申请日：2005-04-20
Applicant: 日本分光株式会社
Abstract: A near-field polarized-light measurement apparatus 10 comprises a near-field probe 14, an analyzer 18, a detector 22, and an analyzer-rotating unit 20. The near-field probe 14 has at a tip thereof an opening smaller than the wavelength of light used for measurement and generates linearly polarized near-field light from the opening and irradiates a sample with the near-field light. The detector 22 detects light transmitted through the sample via the analyzer 18. The analyzer-rotating unit 20 rotates the analyzer 18 about an optical axis to vary the angle of a transmission axis thereof. And optical rotation of the sample is measured by rotating the analyzer 18 with the analyzer-rotating unit 20.
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公开(公告)号：JP4579423B2
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：JP2000617398
申请日：2000-05-03
Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション
Inventor： チェン，キシング , ニコナハッド，メールダッド , リー，シング
IPC: G01N21/21 , G01B11/06 , G01J3/447 , G01J4/00 , G01J4/04 , G01N21/00 , G01N21/27 , G01N21/41 , G01N21/47 , H01L21/66
CPC classification number: G01N21/211 , G01B11/065 , G01J4/00
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公开(公告)号：JP2009236900A
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：JP2009014240
申请日：2009-01-26
Applicant: Horiba Ltd , 株式会社堀場製作所
Inventor： TANAKA SATORU
IPC: G01N21/21
CPC classification number: G01J4/00 , G01N21/211
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To allow comparison of data measured under different conditions and very simple setting of an initial value of fitting data by even an inexperienced worker such as a beginner.
SOLUTION: A spectroscopic ellipsometer includes a reference data storage section D1 storing reference data to be compared with measured data, a conversion operation section 73 converting the measured data or the reference data into comparable data so that the measured data are compared with the reference data, and a comparison and determination section 74 comparing the measured data and the reference data made comparable by the conversion operation section with each other and determining a degree of coincidence therebetween.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPITAbstract translation: 要解决的问题：允许比较在不同条件下测量的数据，并且即使是没有经验的工作人员（如初学者）也可以非常简单地设置拟合数据的初始值。 解决方案：分光椭偏仪包括存储要与测量数据进行比较的参考数据的参考数据存储部分D1，转换操作部分73将测量数据或参考数据转换成可比较的数据，使得测量数据与 参考数据以及比较确定部分74将测量数据和由转换操作部分可比较的参考数据彼此进行比较并确定它们之间的一致程度。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT
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