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    재정규화 가능성을 보존하는 생산 샘플 성형
    191.
    发明公开
    재정규화 가능성을 보존하는 생산 샘플 성형 审中-实审
    生产样品形状保持了正常的可靠性

    公开(公告)号：KR1020160140805A

    公开(公告)日：2016-12-07

    申请号：KR1020167029977

    申请日：2015-03-26

    Applicant: 케이엘에이-텐코 코포레이션

    Inventor： 플리할마틴 ,  자인안키트 ,  렌넥마이클

    IPC: H01L21/66 ,  G01N21/93 ,  G01N21/95

    CPC classification number: G01N21/93 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/063 ,  G01N2201/12 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

    Abstract: 결함샘플을생성하기위한방법및 시스템이제공된다. 하나의방법은적어도하나의결함속성의값에서최대다이버시티(most diversity)를갖는웨이퍼상에서의결함의세트를식별하는단계와, 세트에서상이한결함에대한상이한타일(tile)을생성하는단계를포함한다. 타일은다른결함의적어도하나의속성에대한값보다이의대응하는결함의적어도하나의속성에대한값에더 가까운웨이퍼상에서검출된모든결함의적어도하나의속성에대한모든값의일부를정의한다. 또한, 본방법은, 웨이퍼상에서의결함을적어도하나의속성의값에기초하여상이한타일에대응하는샘플빈(sample bin)으로분리하는단계를포함한다. 본방법은, 둘이상의샘플빈의각각으로부터결함(들)을무작위로선택하는단계와, 무작위로선택된결함을포함하는웨이퍼에대하여결함샘플을안출하는단계를포함한다.

    Abstract translation: 提供了生成缺陷样本的方法和系统。 一种方法包括识别在具有至少一个缺陷属性值的多样性最大的晶片上检测到的一组缺陷，并为该组中的不同缺陷生成不同的瓦片。 瓦片定义了在晶片上检测到的所有缺陷的至少一个属性的所有值的一部分，其比其它缺陷的至少一个属性的值更接近于其相应缺陷的至少一个属性的值。 另外，该方法包括：基于它们的至少一个属性值，从两个或多个样本仓中的每一个中随机选择缺陷，将晶片上的缺陷分离成与不同瓦片对应的样品仓，并创建 用于晶片的缺陷样品，其包括随机选择的缺陷。

    균일한 내부 전반사 조명에 의한 바이오칩 측정 장치 및방법
    192.
    发明授权
    균일한 내부 전반사 조명에 의한 바이오칩 측정 장치 및방법 失效
    用于测量具有均匀内照射反应的生物钟的装置和方法

    公开(公告)号：KR100768038B1

    公开(公告)日：2007-10-17

    申请号：KR1020060103330

    申请日：2006-10-24

    Applicant: 한국전기연구원

    Inventor： 강욱 ,  배수진 ,  파파얀게리브이

    IPC: G01N33/53 ,  G01N33/48 ,  G01N33/50 ,  G01N29/00

    CPC classification number: G01N21/6452 ,  G01N21/648 ,  G01N2201/063

    Abstract: A device and a method for measuring fluorescence emitted from a bio chip are provided to more efficiently measure when the fluorescence information of the bio chip is to be measured in a wide field by securing the brightness of light uniformly in a wide area using a diffusion plate. A device for measuring fluorescence emitted from a bio chip(11) in which at least one bio-sample is arranged on one side of a thin parallel hexahedral shaped substrate(12) comprises a biochip holder for supporting the bio chip; an excited light supplying portion(10) which allows the light to be entered into a lateral side of the substrate and totally reflected inside of the substrate to reach near the bio-sample; a diffusion plate(21) placed between the lateral side of the substrate and the excited light supplying portion to induce the diffusion of the light entered into the substrate, thereby allowing the total reflected light entered into the substrate to form an uniform evanescent field(17) in a wide range; and a fluorescence detection portion(18) acquiring fluorescence generated from the bio sample by the evanescent field and then detecting it. A method for measuring fluorescence emitted from a bio chip comprises the steps of: (a) fixing a bio sample at a focal point position and visual field of an objective lens; (b) entering an excited light into a lateral side of the substrate to be total reflected and progressed; (c) detecting emitted fluorescence from the bio sample existing in evanescent field of the totally reflected excited light; and (d) analyzing an image by the detected fluorescence.

    Abstract translation: 提供了一种用于测量从生物芯片发射的荧光的装置和方法，以更有效地测量何时通过使用扩散板将光的亮度均匀地确保在广泛的区域中来在宽的范围内测量生物芯片的荧光信息 。 一种用于测量从生物芯片（11）发射的荧光的装置，其中至少一个生物样品被布置在薄平行六面体形状的基板（12）的一侧上，包括用于支撑生物芯片的生物芯片保持器; 激励光供给部（10），其使光能够进入到所述基板的侧面，并全部反射到所述基板的内部，以到达所述生物样品的附近; 放置在基板的侧面和激发光供给部之间的扩散板（21），以引导入射到基板中的光的扩散，从而允许进入基板的全反射光形成均匀的渐逝场（17 ）; 以及荧光检测部分（18），其从所述ev逝场获取由所述生物样品产生的荧光，然后进行检测。 用于测量从生物芯片发射的荧光的方法包括以下步骤：（a）将物质样品固定在物镜的焦点位置和视场; （b）将激发的光进入基板的侧面，以被全面反射和进行; （c）检测来自存在于全反射激发光的消逝场中的生物样品的发射荧光; 和（d）通过所检测的荧光来分析图像。

    保留可重標準化性之製造樣本成型
    196.
    发明专利
    保留可重標準化性之製造樣本成型 审中-公开
    保留可重标准化性之制造样本成型

    公开(公告)号：TW201543416A

    公开(公告)日：2015-11-16

    申请号：TW104110115

    申请日：2015-03-27

    Applicant: 克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION

    Inventor： 普莉霍爾 馬丁 ,  PLIHAL, MARTIN ,  簡恩 安基特 ,  JAIN, ANKIT ,  里尼克 麥可 ,  LENNEK, MICHAEL

    IPC: G06T7/00 ,  G06T5/00

    CPC classification number: G01N21/93 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/063 ,  G01N2201/12 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

    Abstract: 本發明提供用於產生缺陷樣本之方法及系統。一種方法包含：識別在一晶圓上偵測到之在至少一缺陷屬性的值方面具有最大相異度之一組缺陷；及針對該組中之不同缺陷產生不同塊。該等塊針對在該晶圓上偵測到的所有缺陷定義該至少一屬性之所有值之一部分，與其他缺陷之該至少一屬性之該等值相比，該部分更接近其等相應缺陷之該至少一屬性之該等值。此外，該方法包含：基於該等缺陷之該至少一屬性之值將該晶圓上之該等缺陷分離至對應於該等不同塊之樣本分級器中；從該等樣本分級器之兩者或更多者之各者隨機選擇(諸)缺陷；及針對該晶圓形成包含該等隨機選擇的缺陷之一缺陷樣本。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供用于产生缺陷样本之方法及系统。一种方法包含：识别在一晶圆上侦测到之在至少一缺陷属性的值方面具有最大相异度之一组缺陷；及针对该组中之不同缺陷产生不同块。该等块针对在该晶圆上侦测到的所有缺陷定义该至少一属性之所有值之一部分，与其他缺陷之该至少一属性之该等值相比，该部分更接近其等相应缺陷之该至少一属性之该等值。此外，该方法包含：基于该等缺陷之该至少一属性之值将该晶圆上之该等缺陷分离至对应于该等不同块之样本分级器中；从该等样本分级器之两者或更多者之各者随机选择(诸)缺陷；及针对该晶圆形成包含该等随机选择的缺陷之一缺陷样本。

    拉曼光谱检测设备
    197.
    实用新型
    拉曼光谱检测设备 有权

    公开(公告)号：CN207779896U

    公开(公告)日：2018-08-28

    申请号：CN201721858230.7

    申请日：2017-12-26

    Applicant: 同方威视技术股份有限公司

    Inventor： 张建红 ,  王红球 ,  范锐 ,  刘海辉

    IPC: G01N21/65

    CPC classification number: G01N21/65 ,  G01J3/4412 ,  G01J5/0003 ,  G01N21/01 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/063 ,  G02B27/141 ,  G05B19/4065 ,  G05B2219/49353

    Abstract: 本实用新型的实施例提供了拉曼光谱检测设备。该拉曼光谱检测设备包括：光学装置，用于将所述激发光引导至样品和收集来自所述样品的光信号；光谱仪，用于对由光学装置收集的光信号进行分光以生成被检测的样品的拉曼光谱；以及安全监控器，被配置成在来自激光器的激发光照射样品期间监测样品的安全状态并提供表征样品是否由于激发光照射而受到损坏的安全指示信号。借助于根据上述实施例的拉曼光谱检测设备，能够防止在拉曼光谱检测过程中因为样品过热损毁而导致安全性问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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