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公开(公告)号：CN1133871C
公开(公告)日：2004-01-07
申请号：CN01112690.6
申请日：2001-04-20
Applicant: 上海爱普特仪器有限公司
Abstract: 一种同轴多激光光源，包括多台激光器，其特点是N(N≥2)束激光按波长递减(或递增)顺序排列，并垂直入射于一主光轴，在该主光轴上对应于上述N束激光的入射点分别设置反射镜1和N-1块(2…N)分色片，分色片(i)对激光束(1)至激光束(i-1)全透，对激光束(i)全反，然后激光束1至激光束i都沿主光轴完全同轴前进，最终构成N束同轴多激光光源。
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公开(公告)号：CN1375691A
公开(公告)日：2002-10-23
申请号：CN02111141.3
申请日：2002-03-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种多光谱成像基因芯片扫描仪,主要用于对荧光标记的基因生物芯片杂交后的检测。包括激光束经过线形整形器整形后,透过带狭缝反射镜呈现在被测芯片上是一条线状激光束。由被测芯片反馈的光信号经过带狭缝反射镜的反射后经过照相光学系统成像在狭缝光栏处。当用多波长的激光束激发时,从狭缝光栏之后再经过第一成像透镜、色散元件和第二成像透镜后射到面阵或线阵的电荷耦合器的探测器上。与在先技术相比,本发明不仅简化了扫描方向,节约了检测时间,同时提高了检测的分辨率和精度。
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公开(公告)号：CN1317685A
公开(公告)日：2001-10-17
申请号：CN00105041.9
申请日：2000-04-09
Applicant: 冯劲松
Inventor： 冯劲松
IPC: G01J3/443
Abstract: 本发明公开了一种原子内部电子旋转运动瞬时速度和轨道半径的测量方法。其方法是用光源照射试样产生发射光谱，经照明系统、分光系统、接收测量系统，测量和纪录光谱线波长数据，将其实测的光谱线波长数据(λ实)代入公式R实=φ(λ实·n)计算出里德伯常数(R实)的实测值，将实测的里德伯常数(R实)代入宇宙相对论里德伯常数定律(注明：由冯劲松研究发现，为纪念科学家里德伯先生而命名)公式(一)：计算原子内电子的旋转运动瞬时速度：将R实代入宇宙相对论里德伯常数定律公式(二)：计算原子内电子的运动轨道半径。(式中Z：原子核电荷数)。
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公开(公告)号：CN1316641A
公开(公告)日：2001-10-10
申请号：CN01112690.6
申请日：2001-04-20
Applicant: 上海爱普特仪器有限公司
Abstract: 一种同轴多激光光源，包括多台激光器，其特点是N(N≥2)束激光按波长递减(或递增)顺序排列，并垂直入射于一主光轴，在该主光轴上对应于上述N束激光的入射点分别设置反射镜1和N－1块(2…N)分色片，分色片(i)对激光束(1)至激光束(i－1)全透，对激光束(i)全反，然后激光束1至激光束i都沿主光轴完全同轴前进，最终构成N束同轴多激光光源。
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公开(公告)号：CN1299045A
公开(公告)日：2001-06-13
申请号：CN00135189.3
申请日：2000-12-27
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 一种预测由GaAs/AlGaAs量子阱材料形成的红外探测器红外响应波长的设备和方法,主要是采用共焦激光荧光探测系统获得量子阱材料的量子阱子带跃迁和势垒带间跃迁的两种荧光光谱,通过计算机拟合势垒荧光峰并给出势垒组分,进而拟合势阱荧光峰,给出势阱宽度,再计算出量子阱红外探测器响应波长。其优点是无需制备成器件、直接在相应材料的非接触式测量基础上即可完成红外响应波长的预测,而且结果相当准确。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119124028B
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202411586792.5
申请日：2024-11-08
Applicant: 上海车仪田科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种抗干扰集成式刻蚀终点检测设备，包括：用于收集刻蚀腔体内光学信号的信号收集模块；分别用于在不同工艺场景下接收并处理光学信号的干涉终点检测功能模块和光学发射光谱终点检测功能模块，其中干涉终点检测功能模块包括用于在第一工艺场景下为检测提供光源的氙灯光源，用于为氙灯光源供电的升压供电模块。本发明通过集成OES与IEP功能并进行抗干扰设计形成一个整机，同时进行干涉终点检测与光学发射光谱终点检测，实现了一台设备通过集成双检测功能进行刻蚀终点的精准检测。本发明还缩小了单一功能设备所占用的较大分散空间，最小化集成体积提高了空间利用率。
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公开(公告)号：CN119630957A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202380054754.2
申请日：2023-05-15
Applicant: 康特勒斯创新有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种用于激光诱导等离子体光谱分析的光谱仪系统(201)，包括用于发射激光束(205)的激光束源(209)和用于将激光束(205)聚焦到样品上的聚焦光学器件(211)。等离子体激发区域形成为使得位于等离子体激发区域中的样品(7)的表面导致激光诱导等离子体(3)的形成。光谱仪系统(201)还包括用于捕获等离子体光的探测单元(221)。探测单元(221)包括多个物镜(225A、225B、225C、225D)。每个物镜(225A、225B、225C、225D)都配设有探测锥(235)，探测锥在与激光束(205)的重叠区域中构成等离子体探测区域(239)，使得当在一个等离子体探测区域(239)中形成激光诱导等离子体(3)时，等离子体光的测量分量能够由相应的物镜(225A、225B、225C、225D)捕获到。等离子体探测区域(239)共同构成探测单元(221)的视野区域(241)。光谱仪系统(201)还包括样品容器(203)、样品容器支架(271、271’)和用于对由探测单元(221)探测到的等离子体光的测量分量进行光谱分析的光学光谱仪(213)。样品容器支架构造成用于使样品容器(203)移动，使得例如在用于光谱分析的测量过程中样品(7)的表面的多个部段能够被定位在等离子体激发区域中。
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公开(公告)号：CN114096815B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202080050610.6
申请日：2020-07-30
Applicant: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
Abstract: 一种用于感应耦合等离子体炬箱(40)的滑动门组合件(50)降低了与热相关伤害的风险，且便于所述炬箱的处理。所述门组合件(50)包含门和引导机构(6)，所述引导机构用于允许所述门沿所述炬箱(40)的开口(45)在第一方向上移动以便能够打开和关闭所述炬箱，并且允许所述门在大体上垂直于所述第一方向的第二方向上移动，以便在关闭所述炬箱时将所述门或其至少一部分朝向所述开口移动。所述门可包含与外门板相互连接的内门板，使得仅所述内门板在所述第二方向上朝向所述炬箱(40)的所述开口(45)移动以将其紧密关闭，同时所述外门板可在操作期间维持安全温度。
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公开(公告)号：CN119354929A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411566113.8
申请日：2024-11-05
Applicant: 江汉大学
Abstract: 本发明公开了一种基于色散和频带宽压缩的飞秒激光和频光谱检测装置，激光器产生的飞秒红外激光分束为第一分束光和第二分束光，第一分束光转换为飞秒中红外光；第二分束光转换为皮秒绿光，皮秒绿光经过第一光阑后经行程调节反射单元与前述的倍频/差频模块产生的波长可调谐的飞秒中红外光同时聚焦到y切石英晶体的一点，y切石英晶体产生本征和频信号，本征和频信号经过石英玻璃片后与y切石英晶体出射的皮秒绿光、飞秒中红外光共同聚焦在待测样品表面的一点，产生样品和频信号，本征和频信号以及样品和频信号共线传入光谱仪中。本发明采用一种简单直接的光谱带宽压缩方法，显著降低了复杂性，压缩了绿光的光谱带宽，实现了和频光谱的检测。
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公开(公告)号：CN113661387B
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202080027167.0
申请日：2020-04-08
Applicant: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
Abstract: 一种用于光谱仪的等离子体源室(10)，包含用于容纳等离子体源(31)的内壳体(11)和容纳所述内壳体的外壳体(12)。所述外壳体(12)包含在第一壁中的至少一个外进气口开口(21)以及在第二壁中的至少一个外排气口开口(22)。所述内壳体的壁和所述外壳体的壁界定了间隙(25)，从而允许第一空气流(1)穿过所述内壳体和所述外壳体之间的所述间隙(25)从所述至少一个外进气口开口(21)到所述至少一个外排气口开口(22)。所述内壳体(11)包含在第一壁中的至少一个内进气口开口(23)和在第二壁中的至少一个内排气口开口(24)，以允许第二空气流(2)穿过所述内壳体从所述至少一个内进气口开口到所述至少一个内排气口开口。因此，实现了对等离子体源室外表面的改进冷却。
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