改进的带宽估算法
    202.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100588896C

    公开(公告)日:2010-02-10

    申请号:CN200480017992.3

    申请日:2004-06-14

    Inventor: R·J·拉法克

    Abstract: 揭示了一种测量激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计量方法与装置,包括:提供第一和第二输出的光学带宽监视器,第一输出代表指示激光器发射光带宽的第一参数,第二输出代表指示激光器发射光带宽的第二参数;和利用把第一和第二输出用作多变量方程组成部分以计算实际带宽参数的实际带宽计算装置,所述方程用光学带宽监视器专用的预定校正变量。该实际带宽参数包括激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)或谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。带宽监视器包括一标准具,第一输出代表该标准具在FWXM的光学输出的至少一个干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX’),第二输出代表第二FWX″M或EX″′中的至少一个,其中X≠X″,X’≠X″′。预算的校正变量用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出,与校正谱第一和第二输出的出现相关。实际带宽参数值从以下式算出:估算的实际带宽参数=K×W1+L×W2+M,其中W1=代表FWXM或EX’的第一测量输出,W2是代表FWX″M或EX″′的第二测量输出。该装置与方法可在激光面印术光源和/或集成电路石印机中实施。

    红外线光谱仪及应用于其的元件组合及制造系统与方法

    公开(公告)号:CN100570334C

    公开(公告)日:2009-12-16

    申请号:CN200510076490.4

    申请日:2005-06-17

    Applicant: 曹美为

    Inventor: 曹美为

    Abstract: 一种红外线光谱仪及应用于其的元件组合及制造系统与方法,包括一入射狭缝、一准直镜、一光栅、一聚焦镜以及一第一聚焦面。通过此狭缝部分辐射沿着一光径行进,通过狭缝部分辐射会被准直镜反射到光栅上,接着此光栅反射部分辐射到聚焦镜,而后该聚焦镜会反射与聚焦部分辐射在第一聚焦面及二维数组侦测器上。二维数组侦测器中每一行均对应到波长范围为4.5微米或4.5微米以上的波长,此二维数组包括复数行,全部对应到横跨波长范围为4.5微米或4.5微米以上的复数个波长,且在此二维数组侦测器上每一对相邻的行均对应到波长差相等的两波长。入射狭缝、准直镜、光栅、聚焦镜及第一聚焦面置放于一等于或小于192立方英吋的体积内。

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