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    製造靜電夾頭之方法
    214.
    发明专利
    製造靜電夾頭之方法 审中-公开
    制造静电夹头之方法

    公开(公告)号：TW201310573A

    公开(公告)日：2013-03-01

    申请号：TW101117173

    申请日：2012-05-15

    Applicant: 荷蘭TNO自然科學組織公司 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

    Inventor： 德 史萊德 愛得溫 ,  TE SLIGTE, EDWIN ,  克斯得 諾伯特斯 班內迪特斯 ,  KOSTER, NORBERTUS BENEDICTUS

    IPC: H01L21/683

    Abstract: 本發明係有關於一種製造靜電夾頭之方法。此方法包括：藉由平版印刷以提供一基底基體(110)，基底基體具有形成於一絕緣層(20)上之一靜電夾頭結構；提供具有一腔結構之一平坦載具，腔結構係覆蓋平坦載具之整個平坦表面；形成一堆疊之基底基體於平坦載具上；施加一真空壓力至基底基體及平坦載具之堆疊以真空吸除腔結構中之氣體且藉此壓迫基底基體及平坦載具而達彼此間抵靠；藉由施加真空壓力拉引一黏著劑進入腔結構以形成基底基體及平坦載具之一接合堆疊；以及完成堆疊。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明系有关于一种制造静电夹头之方法。此方法包括：借由平版印刷以提供一基底基体(110)，基底基体具有形成于一绝缘层(20)上之一静电夹头结构；提供具有一腔结构之一平坦载具，腔结构系覆盖平坦载具之整个平坦表面；形成一堆栈之基底基体于平坦载具上；施加一真空压力至基底基体及平坦载具之堆栈以真空吸除腔结构中之气体且借此压迫基底基体及平坦载具而达彼此间抵靠；借由施加真空压力拉引一黏着剂进入腔结构以形成基底基体及平坦载具之一接合堆栈；以及完成堆栈。

    光伏裝置及其製造方法
    215.
    发明专利
    光伏裝置及其製造方法 审中-公开
    光伏设备及其制造方法

    公开(公告)号：TW201306284A

    公开(公告)日：2013-02-01

    申请号：TW101117965

    申请日：2012-05-21

    Applicant: 荷蘭TNO自然科學組織公司 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

    Inventor： 楊 愛德華 威廉 愛爾伯特 ,  YOUNG, EDWARD WILLEM ALBERT

    IPC: H01L31/042 ,  H01L31/18

    CPC classification number: H02S40/00 ,  H01L27/301 ,  H01L31/0504 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

    Abstract: 一種光伏裝置之一疊層係包含第一電極層(40)、第二電極層(60)、及配置於第一電極層和第二電極層間之光敏層(50)。第一電極層(40)包括至少一電性支援層(41)，係具有具第一結構之電性導電電極線(42A、42B)及具第二結構且寬於上述電極線(42A、42B)之電性導電集極線(44A、44B)。電極線(42A、42B)及集極線(44A、44B)係被設置於電性支援層之平面中。光伏裝置具有複數之光伏模組(A、B…)，係分別包括上述疊層之各自橫向部分。一橫向部分包括第一電極層部分(40A、40B)，係具有第一電極層(40)之電性支援層部分(41A、41B)、包括第二電極層(60)之第二電極層部分(60A、60B)、以及包括光敏層50之光敏層部分(50A、50B)。電性支援層部分(41A、41B)包括具第一結構之一個別部分、以及與第一結構之上述個別部分電性連接且具第二結構之一個別部分。該等光伏模組係以串列連接被配置，其中，透過前後互隨的第一個光伏模組之第一電極層部分(40A)之一集極線(44A)與上述前後互隨的第二個光伏模組(B)之一第二電極層部分(60B)之間的電性連接，用以耦接上述前後互隨之光伏模組。設置至少一條件式電性旁路元件(30)，用以與電性支援層(41)相靠。條件式電性旁路元件具有第一及一第二端(31、32)，各自連接至互異且相鄰電性支援層部分(41A、41B)之各集極線(44A、44B)。條件式電性旁路元件(30)具有一條件式電性導電通道(35)，係介於上述第一及上述第二端之間。

    Abstract in simplified Chinese: 一种光伏设备之一叠层系包含第一电极层(40)、第二电极层(60)、及配置于第一电极层和第二电极层间之光敏层(50)。第一电极层(40)包括至少一电性支持层(41)，系具有具第一结构之电性导电电极线(42A、42B)及具第二结构且宽于上述电极线(42A、42B)之电性导电集极线(44A、44B)。电极线(42A、42B)及集极线(44A、44B)系被设置于电性支持层之平面中。光伏设备具有复数之光伏模块(A、B…)，系分别包括上述叠层之各自横向部分。一横向部分包括第一电极层部分(40A、40B)，系具有第一电极层(40)之电性支持层部分(41A、41B)、包括第二电极层(60)之第二电极层部分(60A、60B)、以及包括光敏层50之光敏层部分(50A、50B)。电性支持层部分(41A、41B)包括具第一结构之一个别部分、以及与第一结构之上述个别部分电性连接且具第二结构之一个别部分。该等光伏模块系以串行连接被配置，其中，透过前后互随的第一个光伏模块之第一电极层部分(40A)之一集极线(44A)与上述前后互随的第二个光伏模块(B)之一第二电极层部分(60B)之间的电性连接，用以耦接上述前后互随之光伏模块。设置至少一条件式电性旁路组件(30)，用以与电性支持层(41)相靠。条件式电性旁路组件具有第一及一第二端(31、32)，各自连接至互异且相邻电性支持层部分(41A、41B)之各集极线(44A、44B)。条件式电性旁路组件(30)具有一条件式电性导电信道(35)，系介于上述第一及上述第二端之间。

    原子力顯微術系統、方法以及電腦程式產品
    218.
    发明专利
    原子力顯微術系統、方法以及電腦程式產品 审中-公开
    原子力显微术系统、方法以及电脑进程产品

    公开(公告)号：TW201910938A

    公开(公告)日：2019-03-16

    申请号：TW107122129

    申请日：2018-06-27

    Applicant: 荷蘭商荷蘭TNO自然科學組織公司 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

    Inventor： 納法洛帕瑞德斯 維爾雷塔 ,  NAVARRO PAREDES, VIOLETA ,  馬他夏米 阿伯亞斯 ,  MOHTASHAMI, ABBAS ,  沙地海恩瑪納尼 哈美德 ,  SADEGHIAN MARNANI, HAMED

    IPC: G03F9/00 ,  G01Q60/42 ,  H01L21/027

    Abstract: 本發明係有關於一種製造一半導體元件之方法，該方法包含使用一原子力顯微鏡操控一基材之一表面，該原子力顯微鏡包含一探針，該探針包含一懸臂與一探針尖，該基材包含嵌入至該表面下方之至少一或多個裝置特徵。該方法包含：成像該等嵌入式裝置特徵，以及識別該原子力顯微鏡之該探針尖之一位置係對準該特徵；以及以橫向於該表面之方式位移該探針尖俾施加一應力以實施該表面操控步驟，例如接點孔。藉著經由該探針尖施加一聲音信號至該基材及自該基材獲得一聲音信號來實施成像，包含不同頻率之一第一與一第二信號成分。該成像與表面操控係使用該相同探針與探針尖來實施。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明系有关于一种制造一半导体组件之方法，该方法包含使用一原子力显微镜操控一基材之一表面，该原子力显微镜包含一探针，该探针包含一悬臂与一探针尖，该基材包含嵌入至该表面下方之至少一或多个设备特征。该方法包含：成像该等嵌入式设备特征，以及识别该原子力显微镜之该探针尖之一位置系对准该特征；以及以横向于该表面之方式位移该探针尖俾施加一应力以实施该表面操控步骤，例如接点孔。借着经由该探针尖施加一声音信号至该基材及自该基材获得一声音信号来实施成像，包含不同频率之一第一与一第二信号成分。该成像与表面操控系使用该相同探针与探针尖来实施。

    外差式原子力顯微術裝置、方法以及微影製程系統
    219.
    发明专利
    外差式原子力顯微術裝置、方法以及微影製程系統 审中-公开
    外差式原子力显微术设备、方法以及微影制程系统

    公开(公告)号：TW201840976A

    公开(公告)日：2018-11-16

    申请号：TW107101422

    申请日：2018-01-15

    Applicant: 荷蘭商荷蘭TNO自然科學組織公司 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

    Inventor： 馬他夏米 阿伯亞斯 ,  MOHTASHAMI, ABBAS ,  范艾斯 馬汀 H. ,  VAN ES, MAARTEN HUBERTUS ,  沙地海恩瑪納尼 哈美德 ,  SADEGHIAN MARNANI, HAMED

    IPC: G01N29/06 ,  G01Q60/32

    Abstract: 一種用以執行一樣品中的奈米結構之次表面偵測的方法使用一原子力顯微術系統，該系統包括一掃描頭具有一探針，該探針帶有一懸臂以及一設置在該懸臂上的探針尖端。該方法包括：使該探針尖端和該樣品在一或多個平行於該表面的方向上相對於彼此移動，以利用該探針尖端來掃描該表面；以及在掃描期間利用一尖端位置偵測器來監測該探針尖端相對於該掃描頭的運動以獲得一輸出信號。在該掃描期間當中，聲波振動藉由下列方式在該探針尖端中被誘發：對該探針施加至少一第一和一第二聲波輸入信號，該第一和第二聲波輸入信號分別包含一第一信號分量和一第二信號分量位在高於1 GHz且差值小於1 GHz之相互不同的頻率下，以及分析該輸出信號以對映至少位在該樣品之表面下方的次表面奈米結構。

    Abstract in simplified Chinese: 一种用以运行一样品中的奈米结构之次表面侦测的方法使用一原子力显微术系统，该系统包括一扫描头具有一探针，该探针带有一悬臂以及一设置在该悬臂上的探针尖端。该方法包括：使该探针尖端和该样品在一或多个平行于该表面的方向上相对于彼此移动，以利用该探针尖端来扫描该表面；以及在扫描期间利用一尖端位置侦测器来监测该探针尖端相对于该扫描头的运动以获得一输出信号。在该扫描期间当中，声波振动借由下列方式在该探针尖端中被诱发：对该探针施加至少一第一和一第二声波输入信号，该第一和第二声波输入信号分别包含一第一信号分量和一第二信号分量位在高于1 GHz且差值小于1 GHz之相互不同的频率下，以及分析该输出信号以映射至少位在该样品之表面下方的次表面奈米结构。

    高精密度掃描裝置
    220.
    发明专利
    高精密度掃描裝置 审中-公开
    高精密度扫描设备

    公开(公告)号：TW201819856A

    公开(公告)日：2018-06-01

    申请号：TW106136941

    申请日：2017-10-26

    Applicant: 荷蘭商荷蘭TNO自然科學組織公司 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

    Inventor： 戴克 艾伯特 ,  DEKKER, ALBERT ,  波納各特 安東 A. ,  BIJNAGTE, ANTON ADRIAAN

    IPC: G01C11/28

    Abstract: 一高精密度掃描裝置係包含一第一線性掃描器，用以沿著一第一線性掃描軸線提供掃描運動。第一線性掃描器係包含一第一基底框架，一第一掃描框架，二個相互平行第一壓電彎折板，及二個分別具有二個第一鉸鏈軸線之第一鉸鏈接頭。在二個第一壓電彎折板的同步壓電操作影響下，第一掃描框架沿著該第一線性掃描軸線相對於第一基底框架被同步地移動。該掃描裝置係為密實、尤其是在必須進行精密掃描運動之工作區域附近，俾使該裝置可在很小工作區域中操作。

    Abstract in simplified Chinese: 一高精密度扫描设备系包含一第一线性扫描仪，用以沿着一第一线性扫描轴线提供扫描运动。第一线性扫描仪系包含一第一基底框架，一第一扫描框架，二个相互平行第一压电弯折板，及二个分别具有二个第一铰链轴线之第一铰链接头。在二个第一压电弯折板的同步压电操作影响下，第一扫描框架沿着该第一线性扫描轴线相对于第一基底框架被同步地移动。该扫描设备系为密实、尤其是在必须进行精密扫描运动之工作区域附近，俾使该设备可在很小工作区域中操作。

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