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公开(公告)号：CN102150020A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200980135964.4
申请日：2009-09-12
Applicant: NXP股份有限公司
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/021 , G01J3/0259 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 本发明公开了一种集成电路(100)，其包括：衬底(110)，其承载有多个光敏元件(112)；以及闪耀光栅(120)，包括多个衍射元件(122)，用于将入射光(150)的相应光谱分量(123-125)衍射至相应的光敏元件(112)上，所述闪耀光栅(120)包含多个叠层，这些叠层中的至少一些包括第一部分，例如金属部分所述第一部分排列为使得每一个衍射元件(122)具有堆叠的第一部分的阶梯剖面，其中较高层的第一部分横向地延伸超过所述阶梯剖面中较低层的第一部分。
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公开(公告)号：CN101509869B
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN200910103384.9
申请日：2009-03-13
Applicant: 重庆大学
Abstract: 一种基于可编程微镜阵列的可见-近红外光谱探测方法，包括光源、样品池、色散元件，成像装置、可编程微镜阵列、单点可见光探测器和单点近红外探测器；光源发出的光经样品池入射到色散元件上，色散后的各波长光经成像透镜后平行入射到可编程微镜阵列上，可见光波段和近红外波段分别对应于微镜阵列的可见光微镜阵列单元和近红外光微镜阵列单元，通过施加驱动电压对可见光和近红外光阵列单元同时进行调制，使可见光按时间次序进入见光探测器，同时近红外光按时间次序进入红外光探测器，即得到物质的可见光和近红外光的光谱信息。本仪器具有价格低廉、体积小、响应速度快、便携使用、可同时实现可见光波段和近红外波段探测等优点。
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公开(公告)号：CN102027341A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200980117279.9
申请日：2009-05-07
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor： 柴山胜己
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0256 , G01J3/0262 , G01J3/0286 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G02B5/1814 , G02B5/1861 , G02B7/008
Abstract: 在分光模块(1)中，因为光检测元件(5)被安装于中间基板(81)，所以能够防止介于基板(2)的前表面(2a)与中间基板(81)之间的光学树脂剂(63)进入到光检测元件(5)的光通过孔(50)内。因此，能够防止折射和散射等的发生并能够使光(L1)恰当地入射到基板(2)以及分光部(4)。而且，因为中间基板(81)的体积比基板(2)的体积小，所以中间基板(81)在分光模块(1)的环境温度发生变化时，在比基板(2)更加接近于光检测元件(5)的状态下发生膨胀·收缩。因此，与光检测元件(5)被安装于基板(2)的情况相比，能够可靠地防止起因于分光模块(1)的环境温度的变化而使光检测元件(5)的凸块连接发生破裂折断。
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公开(公告)号：CN101819384A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN201010116824.7
申请日：2010-02-09
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： H·A·J·克瑞姆 , A·G·M·基尔斯 , H·P·M·派勒曼斯
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G01N21/956 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G01J3/4412 , G01N21/4788 , G01N21/9501 , G03F7/70191 , G03F7/70633 , G03F9/7049 , G03F9/7065 , G03F9/7088 , G03F9/7092
Abstract: 本发明提供一种检验设备、光刻设备、光刻处理单元以及检验方法。对于角度分解光谱测量，使用具有四个扇形的照射轮廓的辐射束。第一和第三扇形被照射，而第二和第四扇形没有被照射。因此，最终的光瞳面被分成四个扇形，并且仅零级衍射图案出现在第一和第三扇形中，而仅第一级衍射图案出现在第二和第三扇形中。
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公开(公告)号：CN101231384B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200810033888.3
申请日：2008-02-26
Applicant: 上海激光等离子体研究所
CPC classification number: G02B27/0927 , G01J3/18 , G01J2003/1213 , G01J2003/1282 , G02B19/0023 , G02B19/0052 , G02B27/0944 , G02B27/0983 , G02B27/30 , H01S3/005
Abstract: 本发明涉及一种用于啁啾脉冲放大(CPA)系统的自准直平面调制光谱调制整形装置。包括自准直平面调制CTSI光谱分解系统和CTSI光谱合成系统，包括光阑和平面光谱调制反射镜构成光谱调制系统；利用CTSI光谱分解系统先将激光啁啾脉冲真实展开到光谱面，再利用光谱调制系统在像平面上进行光谱调制，然后利用CTSI光谱合成系统将调制后光谱无畸变的还原为调制后的啁啾脉冲，达到光谱调制整形目的。本发明所用光学元件易于加工，且具有结构紧凑，占用空间少，价格较低等特点；本装置可根据需要设计为各种型式的光谱整形调制装置；可对一般激光脉冲实现光谱调制和光谱整形，尤其适用于几个纳米带宽的大能量高功率CPA系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101641580A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200880000511.6
申请日：2008-06-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor： 柴山胜己
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/024 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/18
Abstract: 本发明涉及一种分光器，其在以封装件(3)的内壁面(27、29、28)限制本体部(4)朝背面(4b)的平行方向及垂直方向移动的状态下，以封装件(3)直接支撑分光模块，由此在谋求小型化的情形下，也可确实地支撑分光模块(2)，并充分确保封装件(3)的入射口(22a)、分光模块(2)的分光部(6)以及光检测元件(7)彼此的位置精度。另外，通过将导线(23)埋入封装件(3)中并以导线导出部(26)予以导出及支撑，在以引线接合法电连接导线(23)与光检测元件(7)时，可使封装件(3)的导线导出部(26)本身扮演基座的角色，并防止分光模块(2)的破损及移位等。
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公开(公告)号：CN101636645A
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200880000512.0
申请日：2008-06-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/18 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0259 , G01J3/0291
Abstract: 在与衍射层(8)一体地形成的周缘部(11)的平面(11a)形成有对准标记(12a、12b、12c、12d)，在将透镜部(7)安装于基板(2)时，通过相对于基板(2)对这些对准标记(12a、12b、12c、12d)进行对位，从而能够相对于光检测元件(4)的光检出部(4a)正确地对准衍射层(8)，不受例如透镜部(7)的曲率半径的误差等的影响。尤其是，通过在平面(11a)形成对准标记(12a、12b、12c、12d)，从而能够通过图像识别来正确地检测该对准标记(12a、12b、12c、12d)的位置，于是能够进行正确的对准。
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公开(公告)号：CN101542252A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200880000510.1
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/04 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块(1)具有：本体部(2)，使光(L1、L2)透过；分光部(3)，对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光，并向前面(2a)侧反射；光检测元件(4)，具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41)，通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9)；以及底填充材料(12)，填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧，并使光(L1、L2)透过。光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42)，在光检测元件(4)中的本体部(2)侧的后面(4a)，以包围光通过孔(42)的光出射开口(42b)的方式形成有积存部(43)。
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公开(公告)号：CN101542249A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200880000507.X
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/04 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块(1)具有：本体部(2)，使光(L1、L2)透过；分光部(3)，对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光，并向前面(2a)侧反射；光检测元件(4)，具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41)，通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9)；以及底填充材料(12)，填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧，并使光(L1、L2)透过。光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42)，光通过孔(42)的光入射开口(42a)的一部分被光透过板(16)覆盖。
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