公开(公告)号：CN107532879A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680021702.5

申请日：2016-04-28

Applicant: 特鲁塔格科技公司

Inventor： S.埃琴 ,  H.芬克尔斯泰恩

IPC: G01B9/02 ,  G01B9/00 ,  G01J3/00 ,  G01J3/26

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01B7/14 ,  G01B7/30 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/26 ,  G02B26/001

Abstract: 用于可调谐光学滤波器的设备包括衬底、一个或多个压电晶体、底部反射镜和顶部反射镜。所述一个或多个压电晶体放置在衬底上。所述一个或多个压电晶体具有压电晶体厚度。底部反射镜放置在衬底上。底部反射镜具有比压电晶体厚度大的底部反射镜厚度。顶部反射镜放置在底部反射镜上。顶部反射镜附连到所述一个或多个压电晶体。

公开(公告)号：CN103424865B

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201310175617.2

申请日：2013-05-13

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 广久保望

IPC: G02B26/00 ,  G02B5/28 ,  G01N21/45

CPC classification number: G02B5/28 ,  G01J3/26 ,  G01J3/45 ,  G02B26/001

Abstract: 本发明提供了光模块、电子设备、食物分析装置、分光照相机、以及波长可变干涉滤波器的驱动方法。该光模块具备波长可变干涉滤波器以及控制施加给静电致动器部的电压的电压控制部，该波长可变干涉滤波器具备相互相对的反射膜、以及具有第一静电致动器及第二静电致动器且用于改变反射膜间间隙的静电致动器部，电压控制部具备对第一静电致动器施加偏压的偏压驱动部、间隙检测器以及对第二静电致动器施加与检测出的间隙量相对应的反馈电压的反馈控制部。

公开(公告)号：CN107110706A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580072516.X

申请日：2015-11-04

Applicant: 光谱引擎股份公司

Inventor： 亚尔科·安蒂拉 ,  尤拉·坎托加维 ,  亚斯·马科耶恩

IPC: G01J3/06 ,  G01J3/26 ,  G01J3/32 ,  G01N21/25 ,  G02B5/28 ,  G02F1/21

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/26 ,  G01J3/32 ,  G02B5/28

Abstract: 本发明涉及一种光学测量方法，其包括以下步骤：用光照射对象(OBJ1)，接收来自所照射的对象(OBJ1)至可调谐的法布里‑珀罗干涉仪(100)的光(LBJ1)，改变所述法布里‑珀罗干涉仪(100)的反射镜间隙(dFP)，以及检测在不同的间隙长度(dFP)下通过所述法布里‑珀罗干涉仪的反射镜间隙(dFP)的信号(LB3)。根据本发明，在不同的间隙长度(dFP)下以不同的时间长度执行所述检测。

公开(公告)号：CN107086224A

公开(公告)日：2017-08-22

申请号：CN201710075799.4

申请日：2017-02-13

Applicant: 唯亚威解决方案股份有限公司

Inventor： G.J.奥肯菲斯

IPC: H01L27/146

CPC classification number: G01J1/0414 ,  G01J1/0488 ,  G01J1/0492 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/26 ,  G01J2003/1226 ,  G01J2003/2806 ,  H01L27/14605 ,  H01L27/1462 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/1464 ,  H01L27/14685

Abstract: 一种制造传感器装置。根据示例，第一反射镜层可以形成在基底上。第一组间隔层可以沉积在第一反射镜层上以定位在第一组感测元件上方，并且第二组间隔层可以沉积在第一反射镜层上以定位在第二组感测元件上方，其中第二组间隔层与第一组间隔层不同。此外，第二反射镜层可以形成在所沉积的第一组间隔层和所沉积的第二组间隔层上方。

公开(公告)号：CN107076610A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580045060.8

申请日：2015-06-17

Applicant: 光谱引擎股份公司

Inventor： 亚尔科·安蒂拉

IPC: G01J3/12 ,  G01J3/02 ,  G01J3/28 ,  G02F1/21 ,  G02B26/00 ,  G02B5/20

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/0227 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/28 ,  G01J3/45 ,  G01J9/0246 ,  G01J2003/2879 ,  G02B5/20 ,  G02F1/21

Abstract: 一种用于确定法布里‑珀罗干涉仪(100)的光谱标定数据(λcal(Sd),Sd,cal(λ))的方法，其包括：通过采用陷波滤波器(60)对输入光(LB1)进行滤波而形成光谱陷波(NC2)，使得所述光谱陷波(NC2)对应于所述陷波滤波器(60)的透射率陷波(NC1)，所述通过改变所述法布里‑珀罗干涉仪(100)的镜间隙(dFP)，并且通过提供表示所述镜间隙(dFP)的控制信号(Sd)，来测量所述光谱陷波(NC2)的光谱强度分布(M(Sd))，以及所述通过使测量的光谱强度分布(M(Sd))与所述陷波滤波器(60)的光谱透射率(TN(λ))相匹配，来确定所述光谱标定数据(λcal(Sd),Sd,cal(λ))。

公开(公告)号：CN106932095A

公开(公告)日：2017-07-07

申请号：CN201710211992.6

申请日：2017-04-01

Applicant: 中国电子科技集团公司信息科学研究院

Inventor： 张东亮 ,  胡小燕 ,  刘大川 ,  林霄 ,  王伟平 ,  丁子瑜 ,  刘杰 ,  王志强

IPC: G01J3/26 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/0229 ,  G01J2003/1213

Abstract: 本发明公开了一种可调谐MEMOS滤光片，包括：悬臂梁、可动镜面Si支撑结构、两层反射膜、F‑P腔和衬底；其中所述两层反射膜分别位于衬底上部和可动镜面Si支撑结构下部，用于形成F‑P腔，使得光在两层反射膜之间产生多次反射后选择出波长满足干涉极大条件的光谱，从而实现通带滤光的作用；所述悬臂梁位于衬底上方和所述可动镜面Si支撑结构侧边，在可动镜面Si支撑结构与衬底之间的静电力作用下产生弯曲变形，并与弹性恢复力达到平衡，导致可动镜面Si支撑结构可随着悬臂梁的弯曲变形而平行向下移动，从而调节所述F‑P腔的间距，以便调节光通带中心波长。此外还公开可调谐MEMOS滤光片的调谐控制器和封装结构。

公开(公告)号：CN104412080B

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201380018730.8

申请日：2013-04-04

Applicant: 德尔格制造股份两合公司

Inventor： R·布赫塔尔 ,  P·德雷耶 ,  L·福纳西罗

IPC: G01J3/26 ,  G01J3/42 ,  G01J3/433 ,  G01N21/3504

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01J3/26 ,  G01J3/42 ,  G01J3/433 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/0662 ,  G01N2201/068

Abstract: 本发明涉及接收液体吸收频谱用的装置，带有第一射线源(1)，它沿着第一光程(11)在第一频谱范围内发射射线；带有安排在第一光程(11)中的第一测量段(5)，沿过该测量段射线射过该液体；带有安排在第一光程(11)中的可调节的Fabry-Perot干涉计(7)，可以作为可移动带通滤波器在第一频谱范围内透射射线；并带有第一检测器(9；35)，在第一频谱范围内测量该射线的强度。按照本发明规定，该装置具有第一校准器(3)用以对射线进行频谱调制，它安排在第一光程值(17)，建立该Fabry-Perot(7)(干涉仪)是为了由Fabry-Perot干涉计(7)形成的带通滤波器可以这样地在第一频谱范围上移动，使得第一校准器(3)对射线的频谱调制可以作为射线强度的时间调制由第一检测器(9，35)测量。(11)上并在第一频谱范围内具有多个透射最大

公开(公告)号：CN104053974B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201380005481.9

申请日：2013-03-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 植松彰 ,  寺岛义幸 ,  佐藤阳一 ,  松尾笃

IPC: G01J1/06 ,  G01J3/26 ,  H01L27/14 ,  A61B5/0245 ,  A61B5/1455 ,  G01N21/27

CPC classification number: G01J1/06 ,  A61B5/02427 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/1455 ,  G01B11/26 ,  G01J1/0204 ,  G01J1/0437 ,  G01J1/0488 ,  G01J1/42 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/26 ,  G01J3/36 ,  G01J3/51 ,  G01J3/513 ,  H01L27/14625

Abstract: 提供抑制分光特性降低的光学传感器和电子设备等。光学传感器包括受光元件、使射入受光元件的受光区域的入射光中的特定波长的光透过的光学滤波器(140)、以及限制透过光学滤波器(140)的入射光的入射角度的角度限制滤波器(120)。在将角度限制滤波器(120)的限制角度设为θA、将从角度限制滤波器(120)的上表面到光学滤波器的上表面的高度设为RTP的情况下，若将对角度限制滤波器(120)的上表面的俯视观察中从光学滤波器(140)的端部到角度限制滤波器(120)的开口端部的距离设为交迭距离(OV)，则满足tan-1(OV/RTP)>θA。

公开(公告)号：CN106353298A

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201610670153.6

申请日：2016-08-15

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 陈玲玲 ,  李文环 ,  金怀洲 ,  袁琨 ,  刘开元 ,  金尚忠

IPC: G01N21/65 ,  G01N21/87

CPC classification number: G01N21/87 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/26 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65 ,  G01N2201/06113

Abstract: 本发明公开了一种拉曼光谱仪。包括激光器、透镜、二向色镜、共焦显微镜头、光学系统、法布里-珀罗可调滤波器、硅探测器；激光器发出的光线经过透镜后照射到所述二向色镜上，二向色镜将所述光线反射，经过反射后的光线经过共焦显微镜头照射到样品上，光线经样品后发生瑞利散射和拉曼散射，发生瑞利散射的散射光和发生拉曼散射后的散射光经共焦显微镜头后，再次射向二向色镜，二向色镜使散射光中的拉曼散射光透射、瑞利散射光和其他散杂光反射，经过二向色镜透射的拉曼散射光依次经过光学系统、法布里-珀罗可调滤波器，由硅探测器对经过法布里-珀罗可调滤波器的光线进行检测，得到光信号。本发明提供拉曼光谱仪具有体积小、成本低的优势。

公开(公告)号：CN106257247A

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201610416964.3

申请日：2016-06-14

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西村晃幸

IPC: G01J3/26 ,  G02B26/00

CPC classification number: G01J3/021 ,  G01J3/26 ,  G01J3/51 ,  G02B26/001 ,  G03G15/01 ,  G03G2215/00029 ,  H04N1/6033 ,  H04N1/6044

Abstract: 本发明提供能够快速进行测定的分光测定装置、图像形成装置及分光测定方法。打印机光射入的波长可变干涉滤波器；以及滑架移动单元(14)，使分光器(17)相对于测定对象沿X方向移动，波长可变干涉滤波器具有一对反射膜和改变一对反射膜之间的间隙尺寸的静电致动器，在分光器(17)通过滑架移动单元(14)在X方向上移动的期间，交替实施边减小反射膜之间的间隙尺寸边进行分光测定的第一分光测定处理与边增加间隙尺寸边进行分光测定的第二分光测定处理。(10)包括：分光器(17)，包括让来自测定对象的