公开(公告)号：TWI616941B

公开(公告)日：2018-03-01

申请号：TW102135334

申请日：2013-09-30

Applicant: 荷蘭TNO自然科學組織公司 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Inventor： 凡涅爾 馬汀K P ,  VAN NEER, MARTIN K. P. ,  湯普拉斯 卡林 ,  TEMPELAARS, KARIN ,  凡路肯 琳達B ,  VAN LEUKEN, LINDA B.

IPC: H01L21/304

CPC classification number: B32B7/12 ,  B32B7/14 ,  B32B37/0046 ,  B32B37/12 ,  B32B38/0008 ,  B32B39/00 ,  B32B2037/1253 ,  B32B2307/546 ,  B32B2310/0831 ,  B32B2311/00 ,  B32B2457/00 ,  B32B2457/20 ,  H01L21/6835 ,  H01L2221/68318 ,  H01L2221/6835 ,  H01L2221/68381 ,  H01L2221/68395 ,  Y10T156/1052 ,  Y10T428/24851

公开(公告)号：TW201802892A

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：TW106111299

申请日：2017-03-31

Applicant: 愛美科公司 ,  IMEC VZW ,  荷蘭應用科學研究院 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Inventor： 那格 曼喬 ,  NAG, MANOJ

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L29/78648 ,  H01L29/42384 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/7869

Abstract: 本發明提供一種一完全自對準雙閘極金屬氧化物半導體薄膜電晶體的製造方法。該方法包括：在一基板之一前側上提供定界一閘極區域之一第一閘極電極；提供一第一閘極介電層；提供一圖案化金屬氧化物半導體層；提供一第二閘極介電層；提供一第二閘極導電層；提供一光阻層；圖案化該光阻層；圖案化該第二閘極導電層，藉此形成一第二閘極電極；及圖案化該第二閘極介電層。圖案化該光阻層包括：執行一背側照明步驟、一前側照明步驟及一光阻劑顯影步驟，其中該背側照明步驟包括使用該第一閘極電極作為一遮罩而自該基板之一背側照明該光阻層，且其中前側照明步驟包括使用僅在一邊緣部分中曝露該閘極區域中之該光阻層之一遮罩而自該前側照明該光阻層。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种一完全自对准双闸极金属氧化物半导体薄膜晶体管的制造方法。该方法包括：在一基板之一前侧上提供定界一闸极区域之一第一闸极电极；提供一第一闸极介电层；提供一图案化金属氧化物半导体层；提供一第二闸极介电层；提供一第二闸极导电层；提供一光阻层；图案化该光阻层；图案化该第二闸极导电层，借此形成一第二闸极电极；及图案化该第二闸极介电层。图案化该光阻层包括：运行一背侧照明步骤、一前侧照明步骤及一光阻剂显影步骤，其中该背侧照明步骤包括使用该第一闸极电极作为一遮罩而自该基板之一背侧照明该光阻层，且其中前侧照明步骤包括使用仅在一边缘部分中曝露该闸极区域中之该光阻层之一遮罩而自该前侧照明该光阻层。

公开(公告)号：TWI593118B

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：TW102115340

申请日：2013-04-30

Applicant: 愛美科公司 ,  IMEC ,  荷蘭應用自然科學研究組織 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Inventor： 牧樂 羅伯特 ,  MUELLER, ROBERT

IPC: H01L29/786 ,  H01L21/28

CPC classification number: H01L29/7869 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/78618

公开(公告)号：TW201723486A

公开(公告)日：2017-07-01

申请号：TW105126117

申请日：2016-08-16

Applicant: 荷蘭TNO自然科學組織公司 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Inventor： 沙地海恩瑪納尼 哈美德 ,  SADEGHIAN MARNANI, HAMED

IPC: G01Q60/24 ,  G01L1/10 ,  G01L25/00 ,  G06K11/00

CPC classification number: G01Q70/02 ,  G01Q70/06

Abstract: 本文件係描述一用以測量及/或修正一樣本的一表面上或下之表面形貌體及/或次表面形貌體之裝置。該系統係包含一樣本載體，一或多個頭，及一支撐結構。該支撐結構係包含一參考表面，其用以提供一定位參考物。該等頭係與該樣本載體及該支撐結構分離，且該裝置係進一步包含一揀取及放置操縱器，該揀取及放置操縱器係配置成將該等頭定位於各別工作位置。該操縱器係包含一握器及一致動器以供移動該握器，其中該致動器係配置成在一與該參考表面呈橫向的方向提供一動作。該握器係配置成自該橫向動作接合及釋放該等各別的頭。本文件亦描述一用以測量及/或修正一樣本的一表面上的表面形貌體之方法。

Abstract in simplified Chinese: 本文档系描述一用以测量及/或修正一样本的一表面上或下之表面形貌体及/或次表面形貌体之设备。该系统系包含一样本载体，一或多个头，及一支撑结构。该支撑结构系包含一参考表面，其用以提供一定位参考物。该等头系与该样本载体及该支撑结构分离，且该设备系进一步包含一拣取及放置操纵器，该拣取及放置操纵器系配置成将该等头定位于各别工作位置。该操纵器系包含一握器及一致动器以供移动该握器，其中该致动器系配置成在一与该参考表面呈横向的方向提供一动作。该握器系配置成自该横向动作接合及释放该等各别的头。本文档亦描述一用以测量及/或修正一样本的一表面上的表面形貌体之方法。

公开(公告)号：TWI567226B

公开(公告)日：2017-01-21

申请号：TW101128720

申请日：2012-08-09

Applicant: 荷蘭TNO自然科學組織公司 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Inventor： 納潘 雷蒙德 傑可比斯 威廉 ,  KNAAPEN, RAYMOND JACOBUS WILHELMUS ,  歐萊斯拉爵兒斯 路易 ,  OLIESLAGERS, RUUD ,  范 德 貝爾格 丹尼斯 ,  VAN DEN BERG, DENNIS ,  范 德 波爾 瑪提吉斯C ,  VAN DEN BOER, MATIJS C. ,  瑪斯 迪德里克 珍 ,  MAAS, DIEDERIK JAN ,  范 迪兒 當肯 傑克 可兒 強漢 ,  VAN DER DONCK, JACQUES COR JOHAN ,  盧傑朋 佛萊迪 ,  ROOZEBOOM, FREDDY

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/54

CPC classification number: C23C16/45589 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/4409 ,  C23C16/45517 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45536 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/45578 ,  C23C16/45587 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/4588 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545

公开(公告)号：TW201638613A

公开(公告)日：2016-11-01

申请号：TW105102683

申请日：2016-01-28

Applicant: 荷蘭TNO自然科學組織公司 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Inventor： 哈克瑪 史帝芬 ,  HARKEMA, STEPHAN

IPC: G02B5/02 ,  G02B5/30 ,  H01L51/52

CPC classification number: H01L51/5268 ,  G02B5/0242 ,  G02B5/3008 ,  G02B5/3083 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/5271 ,  H01L51/5275 ,  H01L51/56 ,  H01L2251/5369

Abstract: 本案係關於一種光學散射層，該光學散射層包含一雙折射基質材料及分散在該基質材料中之多個散射粒子。該等散射粒子具有一粒子折射率，該粒子折射率對於可見光而言匹配尋常折射率。藉由將該等散射粒子之該折射率與該雙折射基質材料之該等折射率中之一者進行匹配，獲得異向性的散射。

Abstract in simplified Chinese: 本案系关于一种光学散射层，该光学散射层包含一双折射基质材料及分散在该基质材料中之多个散射粒子。该等散射粒子具有一粒子折射率，该粒子折射率对于可见光而言匹配寻常折射率。借由将该等散射粒子之该折射率与该双折射基质材料之该等折射率中之一者进行匹配，获得异向性的散射。

公开(公告)号：TWI554694B

公开(公告)日：2016-10-21

申请号：TW099119214

申请日：2010-06-14

Applicant: 荷蘭TNO自然科學組織公司 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Inventor： 瑞偉德 尼克 ,  RIJNVELD, NIEK ,  凡德度 托尼斯 可尼里斯 ,  VAN DEN DOOL, TEUNIS CORNELIS

IPC: F16F15/02

CPC classification number: F16F15/02 ,  G05D19/02

公开(公告)号：TW201607380A

公开(公告)日：2016-02-16

申请号：TW104120262

申请日：2015-06-24

Applicant: 荷蘭TNO自然科學組織公司 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Inventor： 克雷頓 伊夫 羅德淮克 瑪利亞 ,  CREYGHTON, YVES LODEWIJK MARIA ,  普特 鮑勒斯 威科布羅斯 喬治 ,  POODT, PAULUS WILLIBRORDUS GEORGE ,  希默 瑪索 ,  SIMOR, MARCEL ,  盧傑朋 佛萊迪 ,  ROOZEBOOM, FREDDY

IPC: H05H1/24 ,  C23C16/50 ,  H01J37/32

CPC classification number: C23C16/45514 ,  C23C16/45504 ,  C23C16/45536 ,  C23C16/4583 ,  C23C16/509 ,  C23C16/513 ,  H01J37/32348 ,  H01J37/32366 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32541 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32715 ,  H01J37/32825 ,  H01J2237/332 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412

Abstract: 一種電漿源具有一外表面，該外表面被一孔徑中斷，由該外表面遞送一常壓的電漿。一運輸機制運輸平行於該外表面的一基板，該基板靠近該外表面，使得來自常壓電漿的氣體可在該外表面與該基板之間形成一氣體軸承。該電漿源的一第一電極具有由該第一電極的一邊緣延伸的一第一與一第二表面，第一電極的該邊緣沿著該孔徑沿伸。該第一表面定義該孔徑一第一側上的該外表面。該第一與該第二表面之間的距離隨著距離該邊緣的距離增加而增加。至少部分被一介電層覆蓋的一第二電極，設置有面對該第一電極的該第二表面的該介電層，該第二電極大體上平行於該第一電極的該第二表面，在該介電層的該表面與該第一電極的該第二表面之間，在該孔徑的該第一側，留下一電漿啟動空間。一氣體入口供料到該電漿啟動空間，由該氣體入口通過該電漿啟動空間，提供氣流到該孔徑。在電漿啟動空間裡啟動的常壓電漿流到該孔徑，由該孔徑該氣 流與該基板的該表面進行反應。

Abstract in simplified Chinese: 一种等离子源具有一外表面，该外表面被一孔径中断，由该外表面递送一常压的等离子。一运输机制运输平行于该外表面的一基板，该基板靠近该外表面，使得来自常压等离子的气体可在该外表面与该基板之间形成一气体轴承。该等离子源的一第一电极具有由该第一电极的一边缘延伸的一第一与一第二表面，第一电极的该边缘沿着该孔径沿伸。该第一表面定义该孔径一第一侧上的该外表面。该第一与该第二表面之间的距离随着距离该边缘的距离增加而增加。至少部分被一介电层覆盖的一第二电极，设置有面对该第一电极的该第二表面的该介电层，该第二电极大体上平行于该第一电极的该第二表面，在该介电层的该表面与该第一电极的该第二表面之间，在该孔径的该第一侧，留下一等离子启动空间。一气体入口供料到该等离子启动空间，由该气体入口通过该等离子启动空间，提供气流到该孔径。在等离子启动空间里启动的常压等离子流到该孔径，由该孔径该气 流与该基板的该表面进行反应。

公开(公告)号：TW201546456A

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：TW104113398

申请日：2015-04-27

Applicant: 荷蘭TNO自然科學組織公司 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Inventor： 沙地海恩瑪納尼 哈美德 ,  SADEGHIAN MARNANI, HAMED ,  卡美爾 葛利登F I ,  KRAMER, GEERTEN FRANS IJSBRAND ,  范登杜爾 登尼斯C ,  VAN DEN DOOL, TEUNIS CORNELIS

IPC: G01Q10/00

CPC classification number: G01Q10/06 ,  B82Y35/00

Abstract: 本發明係針對一種將一掃描顯微裝置之一探針的一探針端移向一樣品表面之方法。該掃描顯微裝置包含用於掃描該樣品表面以對映該樣品表面上之奈米結構的該探針。該探針之該探針端安裝於經配置成使該探針端與該樣品表面接觸的一懸臂上。該方法包含：藉由一控制器控制該裝置之一致動器系統以用於將該探針移至該樣品表面；及藉由該控制器接收指示該探針之至少一操作參數的一感測器信號，以用於提供回饋以執行該控制。該方法進一步包含：在該控制期間，在該樣品表面與該探針端之間維持一電場；及評估指示該至少一操作參數之該感測器信號以用於判定藉由該電場對該探針的一影響，以用於判定該樣品表面相對於該探針端之近接性。本發明進一步針對一種掃描顯微裝置，其包含用於掃描一樣品表面以對映其上之奈米結構的一探針。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系针对一种将一扫描显微设备之一探针的一探针端移向一样品表面之方法。该扫描显微设备包含用于扫描该样品表面以映射该样品表面上之奈米结构的该探针。该探针之该探针端安装于经配置成使该探针端与该样品表面接触的一悬臂上。该方法包含：借由一控制器控制该设备之一致动器系统以用于将该探针移至该样品表面；及借由该控制器接收指示该探针之至少一操作参数的一传感器信号，以用于提供回馈以运行该控制。该方法进一步包含：在该控制期间，在该样品表面与该探针端之间维持一电场；及评估指示该至少一操作参数之该传感器信号以用于判定借由该电场对该探针的一影响，以用于判定该样品表面相对于该探针端之近接性。本发明进一步针对一种扫描显微设备，其包含用于扫描一样品表面以映射其上之奈米结构的一探针。

公开(公告)号：TW201539823A

公开(公告)日：2015-10-16

申请号：TW104105823

申请日：2015-02-24

Applicant: 荷蘭TNO自然科學組織公司 ,  NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO ,  校際微電子研究中心 ,  IMEC VZW

Inventor： 吉林克 葛溫H ,  GELINCK, GERWIN HERMANUS ,  凡德蒲汀 巴斯 ,  VAN DER PUTTEN, BAS

IPC: H01L51/50 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L51/003 ,  H01L51/5253 ,  H01L2227/326 ,  H01L2251/5338

Abstract: 本發明係關於一用於製造一可撓電子元件之方法。該方法包含以下步驟：製備一黏附層於一硬質支撐板上；於該硬質支撐板上形成該可撓電子元件；以及由該硬質支撐件釋放該電子元件。該可撓電子元件包含一有機發光二極體，且該黏附層包含一鎳層。釋放該電子元件之步驟包含將包括該可撓電子元件之硬質支撐板浸入水中以使得水可以滲入該鎳層以釋放該可撓電子元件。本發明係進一步關於一用於製造一可撓電子元件之裝置，以及一使用上述之方法或裝置所製造之電子元件。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于一用于制造一可挠电子组件之方法。该方法包含以下步骤：制备一黏附层于一硬质支撑板上；于该硬质支撑板上形成该可挠电子组件；以及由该硬质支撑件释放该电子组件。该可挠电子组件包含一有机发光二极管，且该黏附层包含一镍层。释放该电子组件之步骤包含将包括该可挠电子组件之硬质支撑板浸入水中以使得水可以渗入该镍层以释放该可挠电子组件。本发明系进一步关于一用于制造一可挠电子组件之设备，以及一使用上述之方法或设备所制造之电子组件。