公开(公告)号：WO2010021816A1

公开(公告)日：2010-02-25

申请号：PCT/US2009/052004

申请日：2009-07-28

Applicant: THE BOEING COMPANY ,  SAYYAH, Keyvan ,  HAYES, Robert, R.

Inventor： SAYYAH, Keyvan ,  HAYES, Robert, R.

IPC: G02F1/225 ,  G02F1/03

CPC classification number: G02F1/0316 ,  G02F1/2255 ,  G02F2201/07 ,  G02F2202/10 ,  G02F2203/21

Abstract: There is provided a lithium niobate modulator structure (30) for mitigating DC bias drift comprising a highly doped semiconductor layer (44, 54) patterned above an optical waveguide (34) having one or more DC sections (38, 40) and an RF section (42), wherein a metal layer or contact (50) is in contact with a portion of the semiconductor layer (44, 54) and a buffer layer (46) is deposited in the RF section (42). There is also provided a method of making a lithium niobate electro-optical modulator having the aforementioned structure.

Abstract translation: 提供了一种用于减轻DC偏置漂移的铌酸锂调制器结构（30），其包括在具有一个或多个DC部分（38,40）的光波导（34）上图案化的高掺杂半导体层（44,54）和RF部分 （42），其中金属层或触点（50）与半导体层（44,54）的一部分接触，并且缓冲层（46）沉积在RF部分（42）中。 还提供了制备具有上述结构的铌酸锂电光调制器的方法。

公开(公告)号：WO2009022360A1

公开(公告)日：2009-02-19

申请号：PCT/IT2007/000586

申请日：2007-08-14

Applicant: SELEX SISTEMI INTEGRATI S.P.A. ,  PIERNO, Luigi ,  DISPENZA, Massimiliano

Inventor： PIERNO, Luigi ,  DISPENZA, Massimiliano

IPC: G02F1/313 ,  G02F1/03

CPC classification number: G02F1/3137 ,  G02F1/0316 ,  G02F2201/07 ,  G02F2203/21

Abstract: Disclosed herein is a digital electro-optical switch (1) comprising: - an electro-optical substrate (3); - a Y-shaped optical waveguide (2) formed in the substrate (3) and including an input branch (4) configured to be connected to an input optical waveguide, and two output branches (5) configured to be connected to respective output optical waveguides; and - electrically conductive electrodes (6, 7) formed on the substrate (3) and including an inner electrode (7) arranged between the output branches (5), substantially at a branching area of the optical waveguide (2), and two outer electrodes (6) arranged outside the output branches (5), on opposite sides of the inner electrode (7), the outer electrodes (6) being electrically operable to make the electro-optical switch (1) operative between a first switching state wherein transmission of optical energy is enhanced between the input branch (4) and a first one of the output branches (5), and substantially inhibited in a second one of the output branches (5), and a second switching state wherein transmission of optical energy is enhanced between the input branch (4) and the second output branch (5), and substantially inhibited in the first output branch (5); and - an optically transparent, electrically conductive film (9) arranged between each electrode (6, 7) and the substrate (3).

Abstract translation: 本文公开了一种数字电光开关（1），包括： - 电光基板（3）; - 形成在所述基板（3）中并且包括被配置为连接到输入光波导的输入分支（4）的Y形光波导（2），以及两个输出分支（5），被配置为连接到相应的输出光学 波导; 以及 - 形成在所述基板（3）上并且包括布置在所述输出分支（5）之间的大体在所述光波导（2）的分支区域处的内部电极（7）的导电电极（6,7）和两个外部 布置在输出分支（5）的外部，在内部电极（7）的相对侧上的电极（6），外部电极（6）可电动操作以使电光开关（1）在第一切换状态 在输入分支（4）和输出分支（5）中的第一输出分支（5）之间增强了光能的传输，并且在输出分支（5）中的第二输出分支（5）中基本上被抑制，以及第二切换状态，其中光能量的传输 在输入分支（4）和第二输出分支（5）之间增强，并且在第一输出分支（5）中基本上被禁止; 以及 - 布置在每个电极（6,7）和所述基板（3）之间的光学透明的导电膜（9）。

公开(公告)号：WO2006095776A1

公开(公告)日：2006-09-14

申请号：PCT/JP2006/304482

申请日：2006-03-08

Applicant: 日本電信電話株式会社 ,  都築 健 ,  菊池 順裕 ,  山田 英一

Inventor： 都築 健 ,  菊池 順裕 ,  山田 英一

IPC: G02F1/025

CPC classification number: G02F1/025 ,  G02F2201/07 ,  G02F2202/102

Abstract: 　ｎ－ｉ－ｎ構造半導体光変調器の特長を生かしつつ、安定動作可能で、かつ、電界に対する耐圧特性の優れた半導体光変調器を提供する。ｎ型ＩｎＰクラッド層（１１）と、電気光学効果を有する半導体コア層（１３）と、ｐ－ＩｎＡｌＡｓ層（１５）と、ｎ型ＩｎＰクラッド層（１６）とを順次積層して形成された導波路構造を備える。ｐ－ＩｎＡｌＡｓ層（１５）の電子親和力は、ｎ型ＩｎＰクラッド層（１６）の電子親和力よりも小さい。このような構成の導波路構造において、ｎ型ＩｎＰクラッド層（１１）と半導体コア層（１３）との間にノンドープＩｎＰクラッド層（１２）を、半導体コア層（１３）とｐ－ＩｎＡｌＡｓ層（１５）との間にノンドープＩｎＰクラッド層（１４）をそれぞれ設けても良い。

Abstract translation: 提供了能够执行稳定操作并且具有优异的场电阻同时呈现n-i-n结构半导体光调制器的特性的半导体光调制器。 半导体光调制器包括具有n型InP覆盖层（11），具有电光效应的半导体芯层（13），p-InAlAs层（15）和n型InP覆层的波导结构 层（16），其被连续地覆盖。 p-InAlAs层（15）的电子亲和力小于n型InP包层（16）的电子亲和力。 在具有这种结构的波导结构中，可以在n型InP覆盖层（11）和半导体芯层（13）之间布置非掺杂InP覆盖层（12），并且布置非掺杂物 InP覆层（14）在半导体芯层（13）和p-InAlAs层（15）之间。

公开(公告)号：WO2004046797A1

公开(公告)日：2004-06-03

申请号：PCT/US2003/037027

申请日：2003-11-18

Applicant: LUMERA CORPORATION ,  BINTZ, Louis, J. ,  DINU, Raluca ,  JIN, Danliang

Inventor： BINTZ, Louis, J. ,  DINU, Raluca ,  JIN, Danliang

IPC: G02F1/065

CPC classification number: G02F1/065 ,  G02F2201/07

Abstract: Electro-optic waveguide devices are disclosed that includes (a) an electro-optic polymer core and (b) at least one additional polymer clad or polymer buffer clad. Several embodiments comprise an electro-optic polymer core (35), a first polymer clad (40) in proximity to the electro-optic polymer core, a first polymer buffer clad (50) in proximity to the first polymer clad, and a second polymer clad (45) in proximity to the electro-optic polymer core. Another embodiment comprises an electro-optic polymer core and a polymer buffer clad (55). Another embodiment, wherein the polymer buffer clad comprises an organically modified sol-gel. Additionally, a method for fabricating polymer waveguide devices is disclosed.

Abstract translation: 公开了电光波导器件，其包括（a）电光聚合物芯和（b）至少一种另外的聚合物包覆或聚合物缓冲包层。 几个实施例包括电光聚合物芯（35），靠近电光聚合物芯的第一聚合物包层（40），靠近第一聚合物包层的第一聚合物缓冲包层（50）和第二聚合物 包覆（45）靠近电光聚合物芯。 另一实施例包括电光聚合物芯和聚合物缓冲包层（55）。 另一个实施方案，其中聚合物缓冲包覆包含有机改性的溶胶 - 凝胶。 另外，公开了一种制造聚合物波导器件的方法。

公开(公告)号：WO2003060605A1

公开(公告)日：2003-07-24

申请号：PCT/US2002/039192

申请日：2002-12-09

Applicant: CODEON CORPORATION ,  BURNS, William, K. ,  HESS, Larry, A. ,  AGARWAL, Vishal

Inventor： BURNS, William, K. ,  HESS, Larry, A. ,  AGARWAL, Vishal

IPC: G02F1/225

CPC classification number: G02F1/035 ,  G02F1/225 ,  G02F2201/07 ,  G02F2203/21

Abstract: An optical waveguide device including an electro-optical crystal substrate (10) having a top surface and a bottom surface; an optical waveguide path (14a, 14b) formed within a surface of the electro-optical crystal substrate; at least one electrode (12a, 12b, 13) positioned above the optical waveguide path for applying an electric field to the optical waveguide path; and a silicon titanium oxynitride layer (16) and a connecting layer (17) for interconnecting the silicon titanium oxynitride layer to another surface of the electro-optical crystal substrate that is opposite to the surface in which the optical waveguide path is formed.

Abstract translation: 一种光波导装置，具有上表面和底面的电光晶体基板10，该光电晶体基板10形成在电光晶体基板的表面内的至少一个电极12a，12b，13的光波导路径14a，14b， 用于向光波导路径施加电场的光波导路径和硅氮氧化钛层16和连接层17，用于将硅氧氮化钛层与电光晶体基板的与其中表面相反的另一表面相互连接 形成光波导路径。

公开(公告)号：WO01061401A1

公开(公告)日：2001-08-23

申请号：PCT/JP2001/001120

申请日：2001-02-16

IPC: G02F1/035 ,  G02F1/21 ,  G02F1/225

CPC classification number: G02F1/035 ,  G02F1/225 ,  G02F2001/212 ,  G02F2201/07 ,  G02F2203/07

Abstract: An optical waveguide is formed on a substrate of a material having an electro-optic effect. An intermediate layer is formed on a major surface thereof. A metal-mounted polarizer is provided on the intermediate layer above the optical waveguide. A signal electrode and a grounding electrode are formed on the substrate or a buffer layer. The intermediate layer is made of a dielectric having a composition AO>x 2 y z x>1, 0>y>3, 0>z>2) In another mode, an optical waveguide and buffer layer are formed on a substrate of a material having an electro-optic effect, the buffer layer is partly removed by nonreactive dry-etching to form a first opening, a metal-mounted polarizer is formed in the first opening, and a signal electrode serving as a modulating electrode and a grounding electrode are formed on the buffer layer.

Abstract translation: 在具有电光效应的材料的基板上形成光波导。 在其主表面上形成中间层。 在光波导上方的中间层上设置金属安装的偏振器。 在基板或缓冲层上形成信号电极和接地电极。 中间层由具有组成AO> x <，B> 2 和CO> z <的电介质（其中X表示二价元素，Y是三价元素，Z是四价元素，O氧 ，0> x> 1,0> y> 3,0> z> 2）在另一种模式中，在具有电光效应的材料的衬底上形成光波导和缓冲层，缓冲层部分 通过非反应性干蚀刻去除以形成第一开口，在第一开口中形成金属安装的偏振器，并且在缓冲层上形成用作调制电极的信号电极和接地电极。

公开(公告)号：WO01057586A1

公开(公告)日：2001-08-09

申请号：PCT/GB2001/000403

申请日：2001-02-01

IPC: G02F1/035 ,  G02F1/21 ,  G02F1/225 ,  G02F1/313

CPC classification number: G02F1/0356 ,  G02F1/035 ,  G02F1/225 ,  G02F1/3136 ,  G02F2001/212 ,  G02F2201/07 ,  G02F2201/121

Abstract: The present invention relates to an optical component, such as, for example, a Mach-Zehnder modulator, in which the ground electrodes are formed directly on a surface of a substrate, that is, without the intermediary of conventional buffer layers. Forming the optical component without a dielectric layer between the ground electrodes and the substrate allows a reduction in the voltage required to drive a modulator, such as, for example, V pi , to be realised.

Abstract translation: 本发明涉及一种光学元件，例如马赫 - 曾德尔（Mach-Zehnder）调制器，其中接地电极直接形成在基板的表面上，即没有常规缓冲层的介质。 在接地电极和衬底之间形成没有介电层的光学部件允许实现驱动调制器（例如V pi）所需的电压的降低。

公开(公告)号：WO01029593A1

公开(公告)日：2001-04-26

申请号：PCT/US1999/026662

申请日：1999-11-10

IPC: C30B15/00 ,  C30B33/00 ,  G02B6/12 ,  G02B6/134 ,  G02F1/035

CPC classification number: G02F1/035 ,  C30B15/00 ,  C30B29/30 ,  C30B33/00 ,  G02B6/1345 ,  G02B2006/12169 ,  G02F2201/066 ,  G02F2201/07 ,  G02F2202/20 ,  Y10S117/91

Abstract: A method for fabricating ion exchange waveguides, such as lithium niobate or lithium tantalate waveguides in optical modulators includes ion exchanging the crystalline substrate (102) with a source of ions and annealing the substrate by pressurizing a gas atmosphere containing the lithium niobate or lithium tantalate substrate above normal atmospheric pressure, heating the substrate to a temperature ranging from about 150 degrees Celsius to about 1000 degrees Celsius, maintaining pressure and temperature to effect greater ion diffusion and limit exchange, and cooling the structure to an ambient temperature at an appropriate ramp down rate. In another aspect of the invention a powder (110) of the same chemical composition as the crystalline substrate (102) is introduced into the anneal process chamber (100) to limit the crystalline substrate from outgassing alkaline earth metal oxide during the anneal period. In yet another aspect of the invention an anneal container (100) is provided that allows for crystalline substrates (102) to be annealed in the presence of powder (110) without contaminating the substrate with the powder during the anneal process. Waveguides manufactured in accordance with the method exhibit superior drift performance.

Abstract translation: 用于制造光学调制器中的铌酸锂或钽酸锂波导之类的离子交换波导的方法包括使晶体衬底（102）与离子源离子交换，并通过加压含有铌酸锂或钽酸锂衬底 高于正常大气压力，将基底加热到约150摄氏度至约1000摄氏度的温度，保持压力和温度以实现更大的离子扩散和限制交换，并以适当的降低速率将结构冷却至环境温度 。 在本发明的另一方面，将与结晶基底（102）相同的化学成分的粉末（110）引入退火处理室（100），以在退火期间限制来自脱气碱土金属氧化物的结晶底物。 在本发明的另一方面，提供一种退火容器（100），其允许结晶衬底（102）在粉末（110）的存在下进行退火，而不会在退火过程中用粉末污染衬底。 根据该方法制造的波导显示出优异的漂移性能。

公开(公告)号：WO00063743A1

公开(公告)日：2000-10-26

申请号：PCT/US2000/009997

申请日：2000-04-15

IPC: G02F1/035 ,  G02F1/225 ,  G02B7/00

CPC classification number: G02F1/035 ,  G02F1/0356 ,  G02F1/2255 ,  G02F2201/07 ,  G02F2203/21

Abstract: An electro-optic device such as a Mach-Zehnder interferometer that includes a lithium niobate substrate having an optical waveguide that is formed in an upper surface of the substrate is described. The device includes a polymer buffer layer formed on the upper surface of the substrate. The polymer may be non-conductive or conductive. An electrode is formed on an upper surface of the buffer layer and is positioned to receive an RF signal that induces an electrical field in the optical waveguide. A conductive charge bleed-off layer may be formed between the buffer layer and the electrode in order to bleed-off pyroelectric charge. A semiconductor charge bleed-off layer may be formed between the substrate and the buffer layer.

Abstract translation: 描述了诸如马赫 - 策德尔干涉仪的电光装置，其包括具有形成在基板的上表面中的光波导的铌酸锂基板。 该器件包括形成在衬底的上表面上的聚合物缓冲层。 聚合物可以是非导电或导电的。 电极形成在缓冲层的上表面上并且被定位成接收在光波导中引起电场的RF信号。 可以在缓冲层和电极之间形成导电电荷泄漏层，以便排出热释电。 可以在衬底和缓冲层之间形成半导体电荷放出层。

公开(公告)号：WO1996002860A1

公开(公告)日：1996-02-01

申请号：PCT/US1994007839

申请日：1994-07-13

Applicant: GENERAL MICROWAVE ISRAEL CORPORATION

Inventor： GENERAL MICROWAVE ISRAEL CORPORATION

IPC: G02B06/10

CPC classification number: G02F1/0356 ,  G02F1/2255 ,  G02F2201/07 ,  G02F2201/127

Abstract: An improved high-speed external optical modulator (10), modulated by RF waves, which velocity matches the RF waves with the optical waves is disclosed. The apparatus includes a lithium niobate substrate (16) on which is formed an optical waveguide (18, 20), electrically floating electrodes (32, 33, 34), a low dielectric buffer layer (30) and electrodes carrying the modulated RF energy (22, 24). At least one floating electrode (32, 33, 34) may comprise a series of spaced electrode segments for enhanced performance at high frequencies.

Abstract translation: 公开了一种由RF波调制的改进的高速外部光调制器（10），该速度与RF波与光波匹配。 该装置包括铌酸锂衬底（16），其上形成有光波导（18,20），电浮动电极（32,33,34），低介电缓冲层（30）和承载调制RF能量的电极 22,24）。 至少一个浮动电极（32,33,34）可以包括一系列间隔开的电极段，用于在高频下增强性能。