公开(公告)号：EP0283773A3

公开(公告)日：1990-02-07

申请号：EP88103116.5

申请日：1988-03-02

Applicant: KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH

Inventor： Ehrfeld, Wolfgang, Dr. ,  Moser, Herbert, Dr. ,  Münchmeyer, Dietrich, Dr.

IPC: H01J43/10 ,  H01J9/12 ,  H01J43/22

CPC classification number: H01J43/06 ,  H01J9/12 ,  H01J2201/32 ,  H01J2201/3425

Abstract: Die Erfindung betrifft einen Sekundärelektronenvervielfacher mit diskreten Dynoden. Der Erfindung liegt die Aufgabe zu­grunde, gegenüber dem aufgezeigten Stand der Technik einen Mikro-Sekundärelektronenvervielfacher und Arrays davon zu schaffen die einen äußerst geringen Platzbedarf, eine hohe Zeitauflösung, eine große Empfindlichkeit und eine hohe Flexibilität bei der Formgebung aufweisen. Die Aufgabe wir dadurch gelöst, daß die Dynoden mikrostrukturiert und auf einer isolierenden Substratplatte, die mit elektrischen Leiterbahnen zum Anschluß der Dynoden versehen ist, angebracht ist.

公开(公告)号：EP0266867A3

公开(公告)日：1989-07-26

申请号：EP87307299.5

申请日：1987-08-18

Applicant: Litton Systems, Inc.

Inventor： Wilcox, Richard E.

IPC: H01J43/24

CPC classification number: H01J43/246 ,  C03B37/15 ,  G02B6/08 ,  H01J9/125 ,  H01J2201/32

Abstract: An improved microchannel plate (22) is shown fabricated from tubes formed from at least two types of cladding glass (56,58) and a core glass (54); including a first cladding (56) of partial acid resistant glass and a second, super cladding (58) of high acid resistant glass. The first cladding (56) may surround a hollow core that forms a passage or it may surround a core (54) of low acid resistant glass which is removed by an acid bath to form the passage (32). The second cladding (58) surrounds the first, while the opening of the passage surrounded by the first cladding (56) is tapered by an acid etch that does not affect the second cladding (58). Thus, the ratio of the open area of the passages to their end surface area is controlled only by the removal of the first cladding.

公开(公告)号：EP0266867A2

公开(公告)日：1988-05-11

申请号：EP87307299.5

申请日：1987-08-18

Applicant: Litton Systems, Inc.

Inventor： Wilcox, Richard E.

IPC: H01J43/24

CPC classification number: H01J43/246 ,  C03B37/15 ,  G02B6/08 ,  H01J9/125 ,  H01J2201/32

Abstract: An improved microchannel plate (22) is shown fabricated from tubes formed from at least two types of cladding glass (56,58) and a core glass (54); including a first cladding (56) of partial acid resistant glass and a second, super cladding (58) of high acid resistant glass. The first cladding (56) may surround a hollow core that forms a passage or it may surround a core (54) of low acid resistant glass which is removed by an acid bath to form the passage (32). The second cladding (58) surrounds the first, while the opening of the passage surrounded by the first cladding (56) is tapered by an acid etch that does not affect the second cladding (58). Thus, the ratio of the open area of the passages to their end surface area is controlled only by the removal of the first cladding.

Abstract translation: 示出了由至少两种类型的包层玻璃（56,58）和芯玻璃（54）形成的管制造改进的微通道板（22）。 包括耐酸耐光玻璃的第一包层（56）和耐高温玻璃的第二超级包层（58）。 第一包层（56）可以围绕形成通道的中空芯部，或者可以围绕通过酸浴除去以形成通道（32）的低耐酸玻璃的芯部（54）。 第二包层（58）围绕第一包层，而由第一包层（56）围绕的通道的开口通过不影响第二包层（58）的酸蚀刻而变细。 因此，仅通过去除第一包层来控制通道的开口面积与其端面面积的比率。

公开(公告)号：EP0230694A1

公开(公告)日：1987-08-05

申请号：EP86202323.1

申请日：1986-12-18

Applicant: PHILIPS COMPOSANTS ,  Philips Electronics N.V.

Inventor： Eschard, Gilbert

IPC: H01J43/22 ,  H01J9/12

CPC classification number: H01J43/22 ,  H01J9/12 ,  H01J2201/32 ,  H01J2201/3425

Abstract: Multiplication électronique par émission secondaire.
Elément multiplicateur (10) d'électrons à émission secondaire composé, d'une part, d'une première plaque métallique (11) percée d'au moins un trou (12) multiplicateur, présentant une ouverture (13) d'entrée et une ouverture (14) de sortie, et, d'autre part, une deuxième plaque métallique (16), parallèle à la première (11), percée d'au moins un trou (17) auxilliaire disposé en regard de l'ouverture (14) de sortie du trou multiplicateur (12), la deuxième plaque (16) étant portée à un potentiel électrique (VI), supérieur au potentiel électrique (VO) de ladite première plaque. Les ouvertures (13, 14) sont telles que la projection droite (18) de l'ouverture (14) de sortie du trou multiplicateur (12) sur un plan parallèle à la première plaque métallique (11) est au moins partiellement située à l'extérieur de la projection correspondante (19) de l'ouverture (13) d'entrée.
Application aux tubes photomultiplicateurs.

公开(公告)号：EP0154796A2

公开(公告)日：1985-09-18

申请号：EP85101037.1

申请日：1985-02-01

Applicant: KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH

Inventor： Becker, Erwin, Prof. Dr. ,  Ehrfeld, Wolfgang, Dr. ,  Becker, Frank, Dr.

IPC: H01J9/12 ,  H01J43/24

CPC classification number: H01J43/246 ,  H01J9/125 ,  H01J2201/32

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung geschichteter Vielkanalplatten mit Dynoden aus Metall für die Verstärkung optischer Bilder oder anderer flächenhafter Signalverteilungen mittels Sekundärelektronenvervielfachung sowie deren Verwendung so hergestellter Vielkanalplatten. Die Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, daß

a) zunächst eine Negativform der herzustellenden geschichteten Vielkanalplatten erzeugt wird, in dem in eine Platte durch partielles Bestrahlen und partielles Entfernen dieses Materials unter Ausnutzung der durch die Bestrahlung erzeugten unterschiedlichen Materialeigenschaften senkrecht oder schräg zur Plattenoberfläche die gitterförmigen Freiräume eingearbeitet werden, daß
b) in die gitterförmigen Freiräume der Negativform unter Verwendung der mit ihr verbundenen Metallelektrode die Dynodenschichten galvanisch abwechselnd mit elektrisch leitenden oder isolierenden Zwischenschichten erzeugt werden, worauf
c) die Negativform entfernt wird, und im Falle der Erzeugung elektrisch leitender Zwischenschichten diese entfernt oder in einen elektrischen Isolator umgewandelt werden.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于与用于光学图像或其它面信号分布的二次电子倍增的手段扩增由金属制成的倍增电极的制造层状多通道板的方法，以及它们的使用如此制得的多通道板。 本发明的目的在于，第一实现）所产生的层状多通道板的负形式产生，其中在由局部照射并通过照射产生的垂直或倾斜于面板表面部分除去利用不同的材料性质这种材料的板，格状 间隙中是b并入）倍增电极是阴模的格子状的自由空间，通过使用电性导电的或绝缘层交替地产生其相关联的金属电极，接着c）中，阴模被去除，并且在形成导电中间层，这些的情况下 被去除或转化为电绝缘体。