VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM EINSTELLEN EINES DRUCKS IN EINER KAVITÄT EINER MIKROFLUIDISCHEN VORRICHTUNG
    280.
    发明公开
    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM EINSTELLEN EINES DRUCKS IN EINER KAVITÄT EINER MIKROFLUIDISCHEN VORRICHTUNG 审中-公开
    方法和装置,用于设定压力空腔中的微流体装置

    公开(公告)号:EP2933223A3

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:EP15162971.4

    申请日:2015-04-09

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren (100) zum Einstellen eines Druckes in einer mikrofluidischen Vorrichtung. Das Verfahren (100) weist einen Schritt (110) des Bereitstellens eines Schichtstapels aus einem ersten Substrat und einem zweiten Substrat auf. Hierbei ist zwischen dem ersten Substrat und dem zweiten Substrat zumindest eine Kavität angeordnet, in der zumindest ein Druckeinstellmaterialkörper angeordnet ist. Dabei ist zumindest das erste Substrat für Lichtenergie in einem Wellenlängenbereich transparent ausgeführt. Auch weist das Verfahren (100) einen Schritt (120) des Einkoppelns von Lichtenergie in dem Wellenlängenbereich durch das erste Substrat hindurch in den zumindest einen Druckeinstellmaterialkörper innerhalb der zumindest einen Kavität auf, um ein Druckeinstellmaterial des zumindest einen Druckeinstellmaterialkörpers zu aktivieren, um einen Druck in der zumindest einen Kavität unter Verwendung des Druckeinstellmaterials physikochemisch einzustellen.

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