3D -Bilderzeugungssystem mit Multispektralsensor

    公开(公告)号:EP2226648A2

    公开(公告)日:2010-09-08

    申请号:EP10164790.7

    申请日:2009-02-25

    Abstract: Ein 3DBildeszeugungssystem bei dem von einer Lichtquelle (45') ein gepulster Strahl ausgesendet wird, von einem Objekt (44) reflektiert, und anschliessend zeitlich getaktet in einem multispektralen Bildsensor (40) aufgenommen wird. Aus der kombinierten Antwort bei verschiedenen Wellenlängen kann aus der Zeit messung und den 2D Bild aufnahmen ein 3D-Bild des Objektes erzeugt werden.
    Der multispektrale Bildsensor ist einem zweidimensionalen Array aus Superpixel ausgestattet wobei jeder Superpixel wenigstens fünf Sensorelemente aufweist mit jeweils einem Pixelsensor, einer Filterstruktur mit wenigstens einer strukturierten Schicht aus Metall oder polykristallinem Halbleitermaterial, die ansprechend auf elektromagnetische Strahlung eines Wellenlängenbereichs eine höhere Transmission durch die Filterstruktur zu dem Pixelsensor ergibt als für den Wellenlängenbereich umgebende Wellenlängen, wobei die wenigstens fünf Sensorelemente gemeinsam auf einem Halbleitersubstrat integriert sind und paarweise auf unterschiedliche Wellenlängenbereiche ausgelegt sind.

    Abstract translation: 传感器(10)具有设置有像素传感器(14-1,14-2)的传感器元件(11-1,11-2) 光电二极管。 滤波器结构(12-1,12-2)具有由互补MOS工艺的金属或多晶半导体材料制成的结构化层,以产生比通过响应的波长区域周围的波长更高的透过滤光器结构到像素传感器的透射 到波长区域的电磁辐射即光。 传感器元件集成在半导体衬底(16)上并被配置在不同的波长区域上。 还包括以下独立权利要求:(1)包括多光谱图像传感器和源的系统(2)通过互补MOS处理制造图像传感器的方法。

    MULTI-SPECTRAL LIGHT SOURCE ILLUMINATION AND FLUORESCENCE DETECTION
    274.
    发明公开
    MULTI-SPECTRAL LIGHT SOURCE ILLUMINATION AND FLUORESCENCE DETECTION 审中-公开
    多光谱光源照明和荧光检测

    公开(公告)号:EP2225599A2

    公开(公告)日:2010-09-08

    申请号:EP08852322.0

    申请日:2008-11-21

    Abstract: A device to illuminate a object, to excite its fluorescence light emission, and detect the emitted fluorescence spectrum, comprising: at least one illumination system (13), adapted to receive light from a light source (11), to select at least one wavelength bands of light spectrum of the source (11), to illuminate a object (15) with light filtered in that way (14); and a detection system (17), adapted to detect fluorescence light (16) emitted by the object (15), to select at least one wavelength bands of fluorescence, light spectrum (16), to record the spectrum of the filtered light; characterized in that said illumination system (13) comprises: at least one first dispersive element (41), at least one focusing optics (43), at least one spatial fitter of excitation (44), at least one collimating optics (45) and at least one second dispersive element (47), wherein said detection system (17) comprises: at least one dispersive element (81), at least one focusing optics (83), at least one spatial filter of detection (84), at least one imaging optics (85) and at least one light detector (87).

    Abstract translation: 一种照明物体,激发其荧光发射并检测所发射的荧光光谱的装置,包括:至少一个照明系统(13),适于接收来自光源(11)的光,以选择至少一个波长 (11)的光谱带,用以这种方式(14)过滤的光照亮物体(15); 和检测系统(17),其适于检测由所述物体(15)发射的荧光光(16),以选择荧光光谱(16)的至少一个波段以记录所述滤光的光谱; 其特征在于所述照明系统(13)包括:至少一个第一色散元件(41),至少一个聚焦光学器件(43),至少一个激励空间拟合器(44),至少一个准直光学器件(45)和 至少一个第二色散元件(47),其中所述检测系统(17)包括:至少一个色散元件(81),至少一个聚焦光学器件(83),至少一个空间滤波器(84),至少一个 一个成像光学器件(85)和至少一个光检测器(87)。

    SPECTROSCOPE WITH VIGNETTING REDUCTION
    276.
    发明公开
    SPECTROSCOPE WITH VIGNETTING REDUCTION 审中-公开
    活动减少的光谱

    公开(公告)号:EP2062017A2

    公开(公告)日:2009-05-27

    申请号:EP07814512.5

    申请日:2007-08-28

    Inventor: DECK, Francis J.

    Abstract: In a spectrometer, preferably in a spectrometric microscope, input light is provided from a light source to a specimen via a source objective element (e.g., a Schwarzchild objective), and the aperture of the light source is matched to the aperture of the source objective element to maximize light throughput to the specimen. The light from the specimen is then collected at a collector objective element and delivered to a camera element, which in turn provides the light to a photosensitive detector. The apertures of the camera element and the collector objective element are also matched to maximize light throughput from the specimen to the detector. As a result, light loss from vignetting effects is reduced, improving the intensity and uniformity of illumination and the sensitivity and accuracy of spectral measurements.

    Abstract translation: 在光谱仪中,优选在光谱测定显微镜中,通过光源物镜元件(例如Schwarzchild物镜)从光源向样品提供输入光,并且光源的孔径与源物镜的孔径相匹配 元素以最大化样本的光通量。 然后将来自样品的光线收集在收集器物镜元件处并传送到相机元件,相机元件又将光线提供给光敏检测器。 摄像机元件和收集器物镜元件的孔径也相匹配,以最大限度地提高从样品到检测器的光通量。 因此,渐晕效应引起的光损失降低,从而提高了照明的强度和均匀性以及光谱测量的灵敏度和准确性。

    Spektrales Messsystem mit spatialem Lichtmodulator
    277.
    发明公开
    Spektrales Messsystem mit spatialem Lichtmodulator 有权
    光谱测量系统与spatialem光调制器

    公开(公告)号:EP2034286A8

    公开(公告)日:2009-05-06

    申请号:EP07115905.7

    申请日:2007-09-07

    Inventor: Ehbets, Peter

    Abstract: Ein Messsystem zur fotoelektrischen Abtastung von Messstellen eines Messobjekts umfasst einen Beleuchtungskanal (21-24) zur Beaufschlagung des in einer Messebene (MP) angeordneten Messobjekts (M) mit Beleuchtungslicht und einen Messkanal (11-13) zum Auffangen und zur fotoelektrischen Wandlung des von den Messstellen des Messobjekts M zurückgeworfenen Messlichts. Der Beleuchtungskanal und/oder der Messkanal ist dafür ausgebildet, die Reflexionseigenschaften der Messstellen in mehreren Wellenlängenbändern zu erfassen. Der Beleuchtungskanal (21-24) weist einen von einer elektronischen Steuerungseinheit (40) gesteuerten spatialen Lichtmodulator (23) zur Erzeugung eines räumlichen Beleuchtungsmusters auf, welches die selektive Beaufschlagung von interessierenden Messstellen (25) des Messobjekts (M) mit Beleuchtungslicht bewirkt. Die Steuerungseinheit (40) ist mit Bildverarbeitungsfunktionalitäten ausgestattet und dazu ausgebildet, aus Bilddaten des Messobjekts (M) für den Anwendungszweck geeignete Messstellen (25) zu lokalisieren und entsprechende Beleuchtungsmuster zur selektiven Beleuchtung der Messstellen zu berechnen. Alternativ kann die Steuerungseinheit (40) Beleuchtungsmuster auch aufgrund von Positionsdaten von interessierenden Messstellen (25) berechnen und den spatialen Lichtmodulator (23) zur Erzeugung der berechneten Beleuchtungsmuster ansteuern. Der Messkanal weist eine bildgebende Abtasteinrichtung (11) für das Messobjekt (M) auf, welche Abtasteinrichtung Bilddaten des Messobjekts erzeugt und der Steuerungseinheit (40) zur Berechnung von Beleuchtungsmustern zuführt.
    Die spatial intensitätsmässig modulierten Beleuchtungsmuster erlauben eine optische Isolation der interessierenden Messstellen und dadurch die Elimination von optischen Übersprecheffekten. Dadurch ist das Messsystem zur präzisen spektralen Ausmessung von sehr kleinen, innerhalb des Messobjekts verteilten Messstellen geeignet.

    DOUBLE GRATING THREE DIMENSIONAL SPECTROGRAPH
    279.
    发明授权
    DOUBLE GRATING THREE DIMENSIONAL SPECTROGRAPH 有权
    三维DOPPELGITTERSPEKTROGRAPH

    公开(公告)号:EP1436575B1

    公开(公告)日:2008-11-12

    申请号:EP02778234.1

    申请日:2002-09-06

    Inventor: XIAO, Jian Ming

    CPC classification number: G01J3/04 G01J3/0229 G01J3/18

    Abstract: A spectrograph with a first concave spectrographic diffraction grating (16) is positioned to receive light from the input light source (12) is configured to provide a diffracted light output dispersing the components of the input light source in a first direction. The dispersion forms the input light into an intermediate spectrum. The intermediate spectrum is formed in a focal surface by the once diffracted light. A slit (18) is substantially positioned on the focal surface. A second concave diffraction grating (20) is positioned to receive once diffracted light from the slit and configured to provide a twice diffracted light output, the second concave diffraction grating dispersing the components of the input light source in a second direction. The second direction is different from the first direction, the dispersion forming the input light into an output spectrum.

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