Abstract:
Ein 3DBildeszeugungssystem bei dem von einer Lichtquelle (45') ein gepulster Strahl ausgesendet wird, von einem Objekt (44) reflektiert, und anschliessend zeitlich getaktet in einem multispektralen Bildsensor (40) aufgenommen wird. Aus der kombinierten Antwort bei verschiedenen Wellenlängen kann aus der Zeit messung und den 2D Bild aufnahmen ein 3D-Bild des Objektes erzeugt werden. Der multispektrale Bildsensor ist einem zweidimensionalen Array aus Superpixel ausgestattet wobei jeder Superpixel wenigstens fünf Sensorelemente aufweist mit jeweils einem Pixelsensor, einer Filterstruktur mit wenigstens einer strukturierten Schicht aus Metall oder polykristallinem Halbleitermaterial, die ansprechend auf elektromagnetische Strahlung eines Wellenlängenbereichs eine höhere Transmission durch die Filterstruktur zu dem Pixelsensor ergibt als für den Wellenlängenbereich umgebende Wellenlängen, wobei die wenigstens fünf Sensorelemente gemeinsam auf einem Halbleitersubstrat integriert sind und paarweise auf unterschiedliche Wellenlängenbereiche ausgelegt sind.
Abstract:
Ein 3DBildeszeugungssystem bei dem von einer Lichtquelle (45') ein gepulster Strahl ausgesendet wird, von einem Objekt (44) reflektiert, und anschliessend zeitlich getaktet in einem multispektralen Bildsensor (40) aufgenommen wird. Aus der kombinierten Antwort bei verschiedenen Wellenlängen kann aus der Zeit messung und den 2D Bild aufnahmen ein 3D-Bild des Objektes erzeugt werden. Der multispektrale Bildsensor ist einem zweidimensionalen Array aus Superpixel ausgestattet wobei jeder Superpixel wenigstens fünf Sensorelemente aufweist mit jeweils einem Pixelsensor, einer Filterstruktur mit wenigstens einer strukturierten Schicht aus Metall oder polykristallinem Halbleitermaterial, die ansprechend auf elektromagnetische Strahlung eines Wellenlängenbereichs eine höhere Transmission durch die Filterstruktur zu dem Pixelsensor ergibt als für den Wellenlängenbereich umgebende Wellenlängen, wobei die wenigstens fünf Sensorelemente gemeinsam auf einem Halbleitersubstrat integriert sind und paarweise auf unterschiedliche Wellenlängenbereiche ausgelegt sind.
Abstract:
A device to illuminate a object, to excite its fluorescence light emission, and detect the emitted fluorescence spectrum, comprising: at least one illumination system (13), adapted to receive light from a light source (11), to select at least one wavelength bands of light spectrum of the source (11), to illuminate a object (15) with light filtered in that way (14); and a detection system (17), adapted to detect fluorescence light (16) emitted by the object (15), to select at least one wavelength bands of fluorescence, light spectrum (16), to record the spectrum of the filtered light; characterized in that said illumination system (13) comprises: at least one first dispersive element (41), at least one focusing optics (43), at least one spatial fitter of excitation (44), at least one collimating optics (45) and at least one second dispersive element (47), wherein said detection system (17) comprises: at least one dispersive element (81), at least one focusing optics (83), at least one spatial filter of detection (84), at least one imaging optics (85) and at least one light detector (87).
Abstract:
The present subject matter relates to methods of high-speed analysis of product samples during production of the product. Light is directed to a portion of a product under analysis and reflected from or transmitted through the product toward optical detectors. Signals from the optical detectors are compared to determine characteristics of the product under analysis. Temperature within the monitoring system may be monitored in order to provide compensation for the signals produced by the optical detectors. The products under analysis may be stationary, moved by an inspection point by conveyor or other means, or may be contained within a container, the container including a window portion through which the product illuminating light may pass.
Abstract:
In a spectrometer, preferably in a spectrometric microscope, input light is provided from a light source to a specimen via a source objective element (e.g., a Schwarzchild objective), and the aperture of the light source is matched to the aperture of the source objective element to maximize light throughput to the specimen. The light from the specimen is then collected at a collector objective element and delivered to a camera element, which in turn provides the light to a photosensitive detector. The apertures of the camera element and the collector objective element are also matched to maximize light throughput from the specimen to the detector. As a result, light loss from vignetting effects is reduced, improving the intensity and uniformity of illumination and the sensitivity and accuracy of spectral measurements.
Abstract:
Ein Messsystem zur fotoelektrischen Abtastung von Messstellen eines Messobjekts umfasst einen Beleuchtungskanal (21-24) zur Beaufschlagung des in einer Messebene (MP) angeordneten Messobjekts (M) mit Beleuchtungslicht und einen Messkanal (11-13) zum Auffangen und zur fotoelektrischen Wandlung des von den Messstellen des Messobjekts M zurückgeworfenen Messlichts. Der Beleuchtungskanal und/oder der Messkanal ist dafür ausgebildet, die Reflexionseigenschaften der Messstellen in mehreren Wellenlängenbändern zu erfassen. Der Beleuchtungskanal (21-24) weist einen von einer elektronischen Steuerungseinheit (40) gesteuerten spatialen Lichtmodulator (23) zur Erzeugung eines räumlichen Beleuchtungsmusters auf, welches die selektive Beaufschlagung von interessierenden Messstellen (25) des Messobjekts (M) mit Beleuchtungslicht bewirkt. Die Steuerungseinheit (40) ist mit Bildverarbeitungsfunktionalitäten ausgestattet und dazu ausgebildet, aus Bilddaten des Messobjekts (M) für den Anwendungszweck geeignete Messstellen (25) zu lokalisieren und entsprechende Beleuchtungsmuster zur selektiven Beleuchtung der Messstellen zu berechnen. Alternativ kann die Steuerungseinheit (40) Beleuchtungsmuster auch aufgrund von Positionsdaten von interessierenden Messstellen (25) berechnen und den spatialen Lichtmodulator (23) zur Erzeugung der berechneten Beleuchtungsmuster ansteuern. Der Messkanal weist eine bildgebende Abtasteinrichtung (11) für das Messobjekt (M) auf, welche Abtasteinrichtung Bilddaten des Messobjekts erzeugt und der Steuerungseinheit (40) zur Berechnung von Beleuchtungsmustern zuführt. Die spatial intensitätsmässig modulierten Beleuchtungsmuster erlauben eine optische Isolation der interessierenden Messstellen und dadurch die Elimination von optischen Übersprecheffekten. Dadurch ist das Messsystem zur präzisen spektralen Ausmessung von sehr kleinen, innerhalb des Messobjekts verteilten Messstellen geeignet.
Abstract:
A method and a low-cost, robust and simple system for remote sensing and analyzing properties of targets as a means to detect and identify them is introduced. The system can be highly portable but is usable in fixed locations or combination thereof. An aspect of the method and system includes the capability to distribute, modulate, aperture and spectrally analyze radiation emitted or absorbed by a volumetric target chemical species (solid, liquid or gas) or a target surface. Radiation is first collected by a single light gathering device (20), such as a lens, telescope, or mirror and then distributed to multiple detectors (8) through spectrally discriminating components (9) and if desired through apertures to achieve this desired detection and identification.
Abstract:
A spectrograph with a first concave spectrographic diffraction grating (16) is positioned to receive light from the input light source (12) is configured to provide a diffracted light output dispersing the components of the input light source in a first direction. The dispersion forms the input light into an intermediate spectrum. The intermediate spectrum is formed in a focal surface by the once diffracted light. A slit (18) is substantially positioned on the focal surface. A second concave diffraction grating (20) is positioned to receive once diffracted light from the slit and configured to provide a twice diffracted light output, the second concave diffraction grating dispersing the components of the input light source in a second direction. The second direction is different from the first direction, the dispersion forming the input light into an output spectrum.
Abstract:
Low aberration relay systems modified to perform as spatial filters in reflectometer, spectrophotometer, ellipsometer, polarimeter and the like systems.