公开(公告)号：JP6255022B2

公开(公告)日：2017-12-27

申请号：JP2015531562

申请日：2013-09-12

Applicant: フォルシュングスフェアブント ベルリン エー ファウForschungsverbund Berlin e.V. ,  フォルシュングスフェアブント ベルリン エー ファウForschungsverbund Berlin e.V.

Inventor： マーティン マイヴァルト， ,  マーティン マイヴァルト， ,  ベルント スンプフ， ,  ベルント スンプフ，

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G02B27/1006 ,  G01J3/427 ,  G01J3/44 ,  G01J2003/4424 ,  G01N21/65 ,  G01N2021/399 ,  G01N2201/0221 ,  G01N2201/024 ,  G02B27/09 ,  G02B27/1086 ,  G02B27/141

公开(公告)号：JP6057430B2

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：JP2013171366

申请日：2013-08-21

Applicant: 国立大学法人徳島大学

Inventor： 出口 祥啓 ,  神本 崇博

IPC: G01N21/39 ,  G01N21/3504

CPC classification number: G01N21/61 ,  G01J3/427 ,  G01J3/4338 ,  G01J5/0014 ,  G01J5/601 ,  G01K11/00 ,  G01K11/18 ,  G01N21/3151 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/39 ,  G01N2021/399

公开(公告)号：JP2015102545A

公开(公告)日：2015-06-04

申请号：JP2014224369

申请日：2014-11-04

Applicant: アジレント・テクノロジーズ・インク ,  AGILENT TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： マイケル ボールズ ,  マイケル ロン ハマー

IPC: G01N21/01

CPC classification number: G01J3/427 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/10 ,  G01J3/12 ,  G01J3/36 ,  G01J3/42 ,  G01J2003/1876

Abstract: 【課題】異なる実験で異なる光の波長および/または光の波長範囲が必要な場合、光源を、適切な特徴を有する別の光源に物理的に交換しなければならない。このプロセスは一般に非効率で時間がかかり、複雑さとコストが増すのに対して、信頼性が低下する。 【解決手段】光学吸収分光システム(100、400)は、第1および第2の光源と、ダイクロイック・ビームコンバイナと、波長選択モジュールとを含む。第1光源(111、411)は第1波長範囲内の第1波長を有する第1光(113、413)を放射し、第2光源(112、412)は第1波長範囲とは異なる第2波長範囲内の第2波長を有する第2光(114、414)を放射する。ダイクロイック・ビームコンバイナ(115、415)は所定の第1反射率/透過率遷移領域を含み、第1光の第1部分を透過するとともに、第2光の第2部分を反射して、結合光(116、416a)を提供するように構成されている。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：为了解决当不同的实验需要不同的光波长和/或光波长范围的问题时，用具有适当特性的另一个光源物理地替换光源的过程通常是低效和耗时的，增加的复杂性 并降低可靠性的成本。解决方案：光吸收光谱系统（100,400）包括第一和第二光源，二向色光束组合器和波长选择模块。 第一光源（111,411）发射具有在第一波长范围内的第一波长的第一光（113,413），并且第二光源（112,412）发射具有第二波长在第二波长范围内的第二光（114,414） 波长范围与第一波长范围不同。 二向色光束组合器（115,415）包括预定的第一反射/透射过渡区域，并且被配置为透射第一光的第一部分并且反射第二光的第二部分以提供组合光（116,416a） 。

公开(公告)号：JPWO2012160856A1

公开(公告)日：2014-07-31

申请号：JP2013516233

申请日：2012-03-08

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 土基　博史 ,  博史 土基 ,  亨 志牟田 ,  亨 志牟田

IPC: A61B5/0245

CPC classification number: G01J1/44 ,  A61B5/02433 ,  A61B5/14552 ,  A61B5/6826 ,  A61B5/6829 ,  A61B5/7203 ,  G01J3/427 ,  G01J2001/444 ,  G01N21/256 ,  G01N21/3151

Abstract: 光センサ装置(1)は、2波長の光を所定周波数(f)で点滅発光して生体(B)に照射する発光器(2)と、生体(B)からの光を受光する受光器(7)とを備える。受光器(7)は、各波長に対応した第1,第2の検出信号(S1),(S2)を出力する。第1,第2の検出信号(S1),(S2)は、フィルタ回路(9)によって所定周波数(f)の信号を振幅変調した変調信号(S1m),(S2m)を抽出する。変調信号(S1m),(S2m)は、後段増幅器(10)で変調信号(S1M),(S2M)に増幅された後に、ADコンバータ(14)によってデジタル信号に変換され、演算処理部(15)に取り込まれる。演算処理部(15)は、デジタル信号化した変調信号(S1M),(S2M)を用いて、第1,第2の検出信号(S1),(S2)の直流成分(S1d),(S2d)と交流成分(S1a),(S2a)を演算する。

公开(公告)号：JP2013029603A

公开(公告)日：2013-02-07

申请号：JP2011164537

申请日：2011-07-27

Applicant: Seiko Epson Corp ,  セイコーエプソン株式会社

Inventor： YOSHIZAWA TAKAHIKO

IPC: G02B5/28 ,  A61B5/1455 ,  G01J3/26 ,  G01J3/36 ,  G01N21/27 ,  H01L27/14

CPC classification number: G01J3/427 ,  B81C1/00007 ,  B81C1/00126 ,  B81C1/0015 ,  G01J3/0278 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/513

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture a micro tilt structure.SOLUTION: A method of manufacturing a tilt structure includes: a step (a) of forming a sacrificial film on the upper side of a substrate; a step (b) of forming a first film on the upper side of the sacrificial film; a step (c) of forming a second film which includes a first portion connected to the substrate, a second portion connected to the first film and a third portion located between the first portion and the second portion; and a step (d) of removing the sacrificial film; and a step (e) of bending the third portion of the second film after the process (d) and then tilting the first film to the substrate.

Abstract translation: 要解决的问题：制造微倾斜结构。 解决方案：制造倾斜结构的方法包括：在衬底的上侧形成牺牲膜的步骤（a）; 在牺牲膜的上侧形成第一膜的步骤（b）; 形成第二膜的步骤（c），其包括连接到所述基板的第一部分，连接到所述第一膜的第二部分和位于所述第一部分和所述第二部分之间的第三部分; 和去除牺牲膜的步骤（d）; 和在步骤（d）之后弯曲第二薄膜的第三部分，然后将第一薄膜倾斜到基底上的步骤（e）。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2012057623A

公开(公告)日：2012-03-22

申请号：JP2011198124

申请日：2011-09-12

Applicant: General Electric Co ,  ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ

Inventor： BADAMI VIVEK VENUGOPAL ,  HOYTE SCOTT MORDIN ,  MITRA CHAYAN ,  BANERJEE AYAN

IPC: F02C7/00 ,  F01D25/00 ,  G01J5/58 ,  G01K1/14 ,  G01K11/12

CPC classification number: G01K13/02 ,  G01J3/108 ,  G01J3/427 ,  G01K11/12 ,  G01K2013/024

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To measure a hot gas temperature in a gas turbine using a tunable diode laser.SOLUTION: A combustion gas measurement apparatus mounted in the gas turbine (10) includes: a tunable diode laser (22) emitting (110) a laser beam passing through a combustion gas path (30) in the gas turbine (10); a controller (20) for the tunable diode laser to be tuned (100 and 102) so as to emit a first laser beam having a wavelength of 1,334 nanometer (nm) and a second laser beam having a wavelength of 1,380 nm or 1,391 nm; and a laser sensor (22) sensing (100) each radiation beam passing through the combustion gas (30) and generating an absorption signal (112) indicative of an absorption of the beam by the combustion gas at each of the wavelength. The controller (20) executes a program which is stored on a non-transitory storage medium and determines (114) a combustion gas temperature based on a ratio of the adoption signals for the first laser beam and the second laser beam.

Abstract translation: 要解决的问题：使用可调谐二极管激光器测量燃气轮机中的热气体温度。 安装在燃气轮机（10）中的燃烧气体测量装置包括：可调谐二极管激光器（22），其发射（110）通过燃气轮机（10）中的燃烧气体路径（30）的激光束， ; 用于要调谐的可调二极管激光器（100和102）以便发射波长为1334纳米（nm）的第一激光束和具有1380nm或1391nm波长的第二激光束的控制器（20）; 以及激光传感器（22），其感测（100）穿过所述燃烧气体（30）的每个辐射束并且产生表示在所述波长处的每一个处所述燃烧气体对所述束的吸收的吸收信号（112）。 控制器（20）执行存储在非暂时性存储介质上的程序，并且基于第一激光束和第二激光束的采用信号的比率确定（114）燃烧气体温度。 版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2011527006A

公开(公告)日：2011-10-20

申请号：JP2011516220

申请日：2009-06-10

Applicant: センセエアー アーベー

Inventor： ゲラン エヴァルト マーチン、ハンス

IPC: G01J3/36 ,  G01J3/26 ,  G01N21/35

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01J3/02 ,  G01J3/021 ,  G01J3/26 ,  G01J3/427 ,  G01J2003/1226 ,  G01J2003/1243 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

Abstract: An arrangement adapted for a spectral analysis, having a light transmitting means, a delimited space in the form of a cavity serving as a measuring cell and defining an optical measuring distance, a light sensing means for detecting radiation passing said optical measuring distance from said light transmitting means, and a unit, connected at least to said light sensing means and performing the spectral analysis. Beams of radiation from the light transmitting means are made to pass through an optical band-pass filter at different angles of incidence. The filter is structured so as to pass a wavelength in dependence of the angle of incidence. A first chosen wavelength component is separated from a second wavelength component, each being received in its opto-electric means. Said unit is adapted for detecting and calculating an occurring radiation intensity for each such wavelength component.

公开(公告)号：JP2010054436A

公开(公告)日：2010-03-11

申请号：JP2008221625

申请日：2008-08-29

Applicant: Topcon Corp ,  株式会社トプコン

Inventor： KUMAGAI KAORU ,  AKIYAMA SHUGO

IPC: G01N21/27 ,  G01N21/47

CPC classification number: G01N21/3563 ,  A01C21/007 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/108 ,  G01J3/427 ,  G01N21/359 ,  G01N2021/1797 ,  G01N2021/3181 ,  G01N2201/0627 ,  G01N2201/0691 ,  G01N2201/0694 ,  G01N2201/0696

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sensor apparatus for plants which simplifies the constitution, reduces an effect of a light quantity component due to a disturbance light, simplifies the constitution of an optical system, and correctly and accurately measures the reflectivity of an object whose growing condition is to be measured. SOLUTION: The sensor apparatus includes a light source section 4, comprising a first light-emitting section 9 for periodically emitting a light, and irradiating the object 3 whose growing condition is measured with a first measurement light P1, whose peak wavelength of the light emission intensity is a first wavelength; a second light-emitting section 10 for periodically emitting a light, and irradiating the object 3, whose growing condition is measured with a second measurement light P2, whose peak wavelength of a light emission intensity is a second wavelength; and a light-receiving section 6 for receiving the reflected light from the object 3, whose growing condition is to be measured; a control section for controlling the lights emitted from the first and second light-emitting sections 9, 10 at different timing, an integration-control section 24 for integrating a light reception signal from the light receiving section 6, and outputting an integration signal, and a calculation section 13 for calculating the reflectivity as the ratio of the light quantity of the reflection light to the light quantity of the respective measurement lights P1, P2, and obtaining information, on the growing condition of the object 3 whose growing condition is measured, based on the integration signal from the integration-control section 24. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：为了提供一种简化结构的植物传感器装置，降低了由于干扰光引起的光量分量的影响，简化了光学系统的结构，并且正确和准确地测量了反射率 一个要衡量生长条件的物体。 解决方案：传感器装置包括光源部分4，其包括用于周期性地发光的第一发光部分9，并且用第一测量光P1照射其生长条件测量的对象3，第一测量光P1的峰值波长 发光强度是第一波长; 用于周期性发光的第二发光部分10，并且用发光强度的峰值波长为第二波长的第二测量光P2测量其生长条件的对象物3; 以及受光部6，用于接收来自物体3的反射光，其生长条件将被测量; 控制部分，用于控制在不同时刻从第一和第二发光部分9,10发射的光;积分控制部分24，用于对来自光接收部分6的光接收信号进行积分，并输出积分信号，以及 计算部分13，用于计算反射率作为反射光的光量与各个测量光P1，P2的光量的比率，以及获得信息，关于生长条件被测量的对象3的生长条件， 基于集成控制部分24的积分信号。版权所有：（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JPS59159030A

公开(公告)日：1984-09-08

申请号：JP3362383

申请日：1983-02-28

Applicant: Shimadzu Corp

Inventor： IWAHASHI KENJI ,  IMAI SATORU ,  MIZUKAMI HARUO

IPC: G01J3/18 ,  G01J3/427 ,  G01N21/31

CPC classification number: G01N21/314 ,  G01J3/427

Abstract: PURPOSE:To make it possible to separate two wavelengths by one device, by using one common input slit for two diffraction gratings, which are independently rotated on the same axis, a collimator mirror, two telemeter mirrors corresponding to the two diffraction gratings, and two output slits. CONSTITUTION:Diffraction gratings G1 and G2 are independently rotated with a common axis X as a center. Light is inputted from an input slit S1. The light, which is inputted from the input slit S1, is made to be parallel flux by a collimator mirror M1. The light is inputted to the diffraction gratings G1 and G2. The light with one wavelength of the light inputted in the diffraction gratings G1 is reflected and diffracted and inputted to a telemeter mirror M2. The light is reflected by the M2, converged into an output slit S2, and inputted to a light detector PM1. The light with another wavelength of the light inputted to the diffraction grating G2 from the collimator mirror M1 is diffracted and inputted into a telemeter mirror M3. The light is reflected by the M3, converged into an output slit 3, and inputted to a light detector PM2.

Abstract translation: 目的：为了能够通过一个器件分离两个波长，通过使用一个共同的输入狭缝，两个衍射光栅独立地旋转在相同的轴上，准直镜，两个遥测镜对应于两个衍射光栅，两个 输出狭缝。 构成：衍射光栅G1和G2以公共轴X为中心独立旋转。 从输入狭缝S1输入光。 从输入狭缝S1输入的光由准直镜M1构成为平行磁通。 光被输入到衍射光栅G1和G2。 在衍射光栅G1中输入的光的一个波长的光被反射和衍射并输入到远程计镜M2。 光被M2反射，收敛到输出狭缝S2中，并输入到光检测器PM1。 从准直仪反射镜M1输入到衍射光栅G2的光的另一波长的光被衍射并输入到远程计镜M3中。 光被M3反射，会聚到输出狭缝3中，并被输入到光检测器PM2。

公开(公告)号：TWI346993B

公开(公告)日：2011-08-11

申请号：TW093128548

申请日：2004-09-21

Applicant: 尖端科技材料股份有限公司

Inventor： 約瑟 阿諾

IPC: H01L ,  G01R

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01J3/32 ,  G01J3/427 ,  G01N21/05 ,  G01N21/15 ,  G01N21/85 ,  G01N2021/151 ,  G01N2021/8411 ,  H01L21/67253

Abstract: 本發明係關於一種半導體製程系統，其使用以紅外線為主之熱電堆檢測器，用以藉由依據一感興趣之物質在一特性波長的紅外線光之吸收來分析此物質，以控制製程。特別地，一紅外線光束從一紅外線光源經由一線性傳輸路徑來傳送，以及經由一含有感興趣之物質的取樣區域傳送至該熱電堆檢測器。該線性傳輸路徑減少在該紅外線光之傳送期間信號損失之危險。該紅外線光之傳輸路徑可包含一高平滑及反射內表面，用以在傳送期間最小化此信號損失。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于一种半导体制程系统，其使用以红外线为主之热电堆检测器，用以借由依据一感兴趣之物质在一特性波长的红外线光之吸收来分析此物质，以控制制程。特别地，一红外线光束从一红外线光源经由一线性传输路径来发送，以及经由一含有感兴趣之物质的采样区域发送至该热电堆检测器。该线性传输路径减少在该红外线光之发送期间信号损失之危险。该红外线光之传输路径可包含一高平滑及反射内表面，用以在发送期间最小化此信号损失。