化学机械抛光浆料组合物、及其制备方法和应用方法

    公开(公告)号:CN101535441A

    公开(公告)日:2009-09-16

    申请号:CN200680056303.9

    申请日:2006-11-29

    Inventor: 郑载薰 李仁庆

    CPC classification number: C09K3/1463 C09G1/02 H01L21/3212

    Abstract: 本文提供了化学机械抛光(CMP)浆料及其制造方法。本发明实施方式包括CMP浆料,该浆料包括:(a)金属氧化物;(b)pH调节剂;(c)氟化表面活性剂;和(d)季铵表面活性剂。在某些实施方式中,氟化表面活性剂是非离子型全氟烷基磺酰化合物。本文还提供了抛光多晶硅表面的方法,包括向多晶硅表面提供根据本发明一个实施方式的浆料组合物,并实施CMP工艺从而抛光多晶硅表面。

    大理石碎片及其制备方法以及使用该大理石碎片的人造大理石

    公开(公告)号:CN101500960A

    公开(公告)日:2009-08-05

    申请号:CN200680055426.0

    申请日:2006-12-26

    Inventor: 孙窓浩 赵成祐

    Abstract: 本发明披露了通过固化含有丙烯酸类交联单体以及粘合剂的树脂组合物而形成的大理石碎片,其中,所述粘合剂选自由卤化氨基甲酸酯丙烯酸酯、卤化环氧丙烯酸酯、及其混合物组成的组。包含本发明的大理石碎片的人造大理石可具有与合成石类似的外观和纹理,同时还可具有良好的热加工性及成型性,这些都是丙烯酸类人造大理石的优点。

    用于滤色片的具有良好抗剥离性的感光树脂组合物及利用其制成的滤色片

    公开(公告)号:CN101464631A

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200810183586.4

    申请日:2008-12-18

    Abstract: 本发明涉及一种用于滤色片的感光树脂组合物,其具有优异的抗剥离性且可由碱性水溶液显影,以及一种由该感光树脂组合物形成的滤色片。该感光树脂组合物包括:(A)含羧基的丙烯基粘合剂树脂;(B)由化学式1表示的含双键的丙烯基羧酸酯树脂;(C)丙烯基光聚合单体;(D)光聚合引发剂;(E)染料;以及(F)溶剂。该感光树脂组合物具有优异的抗剥离性,并因此可在当在TFT阵列基板上形成滤色片以保证高长宽比时使用。在上述化学式1中,R1为氢或甲基,R2是氢、羟基、C1到C10烷基、或-CO-R5-COOH,其中R5是衍生自酸酐的一个部分,R3是R6COO-,其中R6是芳基,R4是R7COO-,其中R7是烷基,5≤m≤50,1≤n≤20,且10≤o≤100。

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